CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法技术

一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法,该结构包括驱动单元以及与驱动单元呈套接组合的驱动轴单元。驱动单元包括电机+减速器、电机座、直通接头和固定套。驱动轴单元包括驱动轴、压簧、锁钉和定心卡套。驱动轴前部穿入定心卡套内，定心卡套与驱动轴呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴后部穿入驱动单元的固定套和电机座内，并与电机+减速器的输出轴串接一体并锁定。本发明专利技术直接将伸缩式定心卡接功能与驱动单元融合，结构紧凑简练，方便卡接。驱动轴单元的四方匀性力传递及轴向滑动，可明显提升其卡接同心度。驱动单元引入气阻隔离功能确保了密封性。由上述几种措施的综合优势可有效便捷对清洗刷进行伸缩式定心卡接。

CMP cleaning device, cleaning brush drive shaft structure and using method

The utility model relates to a cleaning brush driving shaft structure of a CMP cleaning device and a method of using the same. The structure comprises a drive unit and a drive shaft unit which is sleeved and combined with the driving unit. The driving unit comprises an electric motor, a speed reducer, an electric motor seat, a through joint and a fixing sleeve. The drive shaft unit comprises a drive shaft, a press spring, a lock pin and a centering sleeve. The front drive shaft penetrates the centering card sleeve, centering clamping sleeve and the drive shaft is the shaft hole positioning sliding and positively quadrilateral shaft hole passes through the type of mixing power transmission, the drive shaft rear drive unit into the fixing sleeve and the motor seat, and motor and gear output shaft is connected and locked on. The invention directly combines the telescopic centering clamping function with the driving unit, and has compact and concise structure and is convenient for clamping. The uniform force transfer and axial sliding of the drive shaft unit can obviously improve the concentricity of the drive shaft. The drive unit introduces the gas resistance isolation function to ensure the tightness. The comprehensive advantages of the above measures can effectively and conveniently carry out telescopic centering and clamping of the cleaning brush.

【技术实现步骤摘要】
CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法
本专利技术涉及一种CMP后清洗设备中的清洗刷驱动轴结构，以及该驱动轴结构的使用方法。
技术介绍
CMP(chemicalmechanicalPolishing)后清洗设备,是在电子器件晶片表面进行高精度抛光处理后，进行表面精密清洗的设备。CMP后清洗工艺中，通过刷子结合喷剂介质进行擦洗，是清除晶片表面污染物的有效方式。目前可见的国外CMP后清洗设备原型机，驱动轴对清洗刷伸缩式卡接方式为：与清洗刷惰轴卡接及浸润通道成一体实现，造成结构复杂、功能过于集中，尤其与清洗刷伸缩式对接的驱动轴采用四方定位造成同心度偏值较大，对清洗刷卡接效果不好，清洗刷更换不方便。
技术实现思路
本专利技术提供一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法，要解决现有CMP后清洗设备的清洗刷驱动轴结构复杂、同心度偏值大、密封性不好，造成清洗刷卡接效果不好、清洗刷更换不方便的技术问题。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：这种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构，包括驱动单元以及与驱动单元呈套接组合的驱动轴单元。所述驱动单元包括电机+减速器、电机座、直通接头和固定套；所述固定套后部与电机座前部呈孔轴定位方式套接，电机座后部与电机+减速器呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头与电机座侧面呈螺纹方式旋接，直通接头引入大气并与电机座内腔相连通。所述驱动轴单元包括驱动轴、压簧、锁钉和定心卡套，驱动轴前部穿入定心卡套内，定心卡套与驱动轴呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴后部穿入驱动单元的固定套和电机座内，并与电机+减速器的输出轴串接一体并锁定。所述驱动轴前部为方形滑轴，驱动轴后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴，在方形滑轴与主轴之间带有开口朝前的压簧环槽。所述定心卡套由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔、与清洗刷滑动串接的方形孔a、与方形滑轴滑动串接的方形孔b。所述压簧套于驱动轴上，压簧后部定位于驱动轴的压簧环槽内，压簧前部定位于定心卡套上。所述锁钉与方形滑轴前端呈螺纹方式旋紧，锁钉头部在定心卡套的方形孔b前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。所述定心卡套外形为圆筒状。所述定心卡套后部还带有压簧卡口，压簧卡口套于压簧环槽外侧。所述压簧卡口内孔是与压簧环槽外形相适应的圆形孔。所述驱动轴的主轴外壁间隔开有环形槽。这种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构的使用步骤如下：步骤一：接通气源，经与电机座呈螺纹方式旋接的直通接头引入大气实现气密作用；步骤二：将驱动轴单元的定心卡套与清洗刷完成伸缩式定心卡接。本专利技术的有益效果如下：本专利技术的驱动单元能够同心联动驱动轴单元，并经直通接头引入大气起到气密作用。本专利技术的驱动轴单元的外部工作环境处于喷剂介质中，驱动轴单元可联动清洗刷旋转并提供可伸缩式定心卡接。驱动轴单元的驱动轴前部为方形滑轴，定心卡套通过方形孔b与方形滑轴滑动串接。弹簧轴向设置，且通过与驱动轴呈螺纹方式旋紧的锁钉使压簧的预紧力被施加，同时防止定心卡套被弹出。驱动轴单元的驱动轴与定心卡套呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力。本专利技术直接将伸缩式定心卡接功能与驱动单元融合，结构紧凑简练，方便卡接。驱动轴单元的四方匀性力传递及轴向滑动，可明显提升其卡接同心度。驱动单元引入气阻隔离功能确保了密封性。由上述几种措施的综合优势可有效便捷对清洗刷进行伸缩式定心卡接。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构轴测示意图。图2是本专利技术的结构剖面示意图。图3是驱动单元的剖面结构示意图。图4是驱动轴单元的剖面结构示意图。图5是驱动轴的结构示意图。图6是定心卡套的结构示意图。附图标记：1－驱动单元、2－驱动轴单元、3－电机+减速器、4－电机座、5－直通接头、6－固定套、7－驱动轴、7.1-方形滑轴、7.2-压簧环槽、7.3-主轴、8－压簧、9－锁钉、10－定心卡套、10.1-锥形孔、10.2-方形孔a、10.3-方形孔b、10.4-压簧卡口。具体实施方式实施例参见图1、图2所示，这种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构，包括驱动单元1以及与驱动单元1呈套接组合的驱动轴单元2。参见图3所示，所述驱动单元1包括电机+减速器3、电机座4、直通接头5和固定套6；所述固定套6后部与电机座4前部呈孔轴定位方式套接，电机座4后部与电机+减速器3呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头5与电机座4侧面呈螺纹方式旋接，直通接头5引入大气并与电机座4内腔相连通。参见图4所示，所述驱动轴单元2包括驱动轴7、压簧8、锁钉9和定心卡套10，驱动轴7前部穿入定心卡套10内，定心卡套10与驱动轴7呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴7后部穿入驱动单元1的固定套6和电机座4内，并与电机+减速器3的输出轴串接一体并锁定。参见图4、5所示，所述驱动轴7前部为方形滑轴7.1，驱动轴7后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴7.3，主轴7.3外壁可间隔开有环形槽。在方形滑轴7.1与主轴7.3之间带有开口朝前的压簧环槽7.2。参见图4、6所示，所述定心卡套10外形为圆筒状。定心卡套10由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔10.1、与清洗刷滑动串接的方形孔a10.2、与方形滑轴7.1滑动串接的方形孔b10.3。定心卡套10后部还带有压簧卡口10.4，压簧卡口10.4套于压簧环槽7.2外侧。压簧卡口10.4内孔是与压簧环槽7.2外形相适应的圆形孔。参见图4所示，所述压簧8套于驱动轴7上，压簧8后部定位于驱动轴7的压簧环槽7.2内，压簧8前部定位于定心卡套10上。所述锁钉9与方形滑轴7.1前端呈螺纹方式旋紧，锁钉9头部在定心卡套10的方形孔b10.3前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。这种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构的使用步骤如下：步骤一：接通气源，经与电机座4呈螺纹方式旋接的直通接头5引入大气实现气密作用；步骤二：将驱动轴单元2的定心卡套10与清洗刷完成伸缩式定心卡接。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构，其特征在于：包括驱动单元（1）以及与驱动单元（1）呈套接组合的驱动轴单元（2）；所述驱动单元（1）包括电机+减速器（3）、电机座（4）、直通接头（5）和固定套（6）；所述固定套（6）后部与电机座（4）前部呈孔轴定位方式套接，电机座（4）后部与电机+减速器（3）呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头（5）与电机座（4）侧面呈螺纹方式旋接，直通接头（5）引入大气并与电机座（4）内腔相连通；所述驱动轴单元（2）包括驱动轴（7）、压簧（8）、锁钉（9）和定心卡套（10），驱动轴（7）前部穿入定心卡套（10）内，定心卡套（10）与驱动轴（7）呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴（7）后部穿入驱动单元（1）的固定套（6）和电机座（4）内，并与电机+减速器（3）的输出轴串接一体并锁定；所述驱动轴（7）前部为方形滑轴（7.1），驱动轴（7）后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴（7.3），在方形滑轴（7.1）与主轴（7.3）之间带有开口朝前的压簧环槽（7.2）；所述定心卡套（10）由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔（10.1）、与清洗刷滑动串接的方形孔a（10.2）、与方形滑轴（7.1）滑动串接的方形孔b（10.3）；所述压簧（8）套于驱动轴（7）上，压簧（8）后部定位于驱动轴（7）的压簧环槽（7.2）内，压簧（8）前部定位于定心卡套（10）上；所述锁钉（9）与方形滑轴（7.1）前端呈螺纹方式旋紧，锁钉（9）头部在定心卡套（10）的方形孔b（10.3）前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。...

【技术特征摘要】
1.一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构，其特征在于：包括驱动单元（1）以及与驱动单元（1）呈套接组合的驱动轴单元（2）；所述驱动单元（1）包括电机+减速器（3）、电机座（4）、直通接头（5）和固定套（6）；所述固定套（6）后部与电机座（4）前部呈孔轴定位方式套接，电机座（4）后部与电机+减速器（3）呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头（5）与电机座（4）侧面呈螺纹方式旋接，直通接头（5）引入大气并与电机座（4）内腔相连通；所述驱动轴单元（2）包括驱动轴（7）、压簧（8）、锁钉（9）和定心卡套（10），驱动轴（7）前部穿入定心卡套（10）内，定心卡套（10）与驱动轴（7）呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴（7）后部穿入驱动单元（1）的固定套（6）和电机座（4）内，并与电机+减速器（3）的输出轴串接一体并锁定；所述驱动轴（7）前部为方形滑轴（7.1），驱动轴（7）后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴（7.3），在方形滑轴（7.1）与主轴（7.3）之间带有开口朝前的压簧环槽（7.2）；所述定心卡套（10）由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔（10.1）、与清洗刷滑动串接的方形孔a（10.2）、与方形滑轴（7.1）滑动串接的方形孔b（10.3）；...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶利权，费玖海，舒福璋，张继静，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11