柔性显示面板制造技术

本实用新型专利技术提供一种柔性显示面板，包括柔性基底和设置于所述柔性基底之上的显示结构，所述柔性显示面板还包括可吸收激光的激光吸收层，所述激光吸收层设置于所述柔性基底和所述显示结构之间。上述柔性显示面板，由于包括激光吸收层，其可在激光剥离和激光退火过程中吸收穿过显示结构和柔性基底的激光，有效避免激光照射对显示结构的损害及显示性能的影响。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板
本技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性显示面板。
技术介绍
柔性显示技术近几年飞速发展，柔性显示面板从屏幕尺寸到显示质量都取得了很大进步。无论是濒临消失的阴极射线管(CathodeRayTube，CRT)，还是现今主流的液晶显示面板(LiquidCrystalDisplay，LCD)，本质上都属于传统的刚性显示面板。与传统的刚性显示面板相比，柔性显示面板具有诸多优点，如耐冲击，抗震能力强，重量轻，体积小，携带更加方便等。柔性显示面板的基底是柔性基底，而柔性基底易发生变形，故在柔性显示面板的制作过程中，柔性基底的定位、搬运、存储等均比较困难。柔性显示面板的制作方法，通常要先在玻璃基底上形成柔性基底，之后依次在柔性基底上形成缓冲层和各种显示结构，再用准分子激光从玻璃基底侧照射柔性基底，使柔性基底与玻璃基底间的附着力降低而与玻璃基底分开(即激光剥离)，形成独立的柔性显示基板。同时，柔性阵列基板中包括大量的薄膜晶体管，而低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS－TFT)是薄膜晶体管的一种重要类型，其有源区由多晶硅构成，有源区的制备方法是先形成非晶硅(α－Si)层，之后用准分子激光从远离玻璃基底的一侧照射非晶硅层，通过激光退火(ELA)方式使非晶硅熔融、成核、长大而转变为多晶硅(Poly－Si)，进而形成多晶硅的有源区。然而，在激光剥离过程中，可能有部分准分子激光穿过柔性基底照射到显示结构上则会对显示结构的性能造成影响；同样，激光退火过程中，可能有准分子激光穿过非晶硅层而照射到柔性基底上而对柔性基底的性能造成破坏如造成柔性基底碳化或与相邻层分离等。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要提供一种结构简单的柔性显示面板，其可防止激光剥离及激光退火时激光对柔性显示面板的损坏。本技术提供一种柔性显示面板，包括柔性基底和设置于所述柔性基底之上的显示结构，所述柔性显示面板还包括可吸收激光的激光吸收层，所述激光吸收层设置于所述柔性基底和所述显示结构之间。进一步地，所述激光吸收层为非晶硅激光吸收层。进一步地，所述显示结构包括由下而上依次设置的薄膜晶体管、阳极、像素层、以及阴极。进一步地，所述显示结构还包括缓冲层，所述缓冲层设置所述激光吸收层与所述薄膜晶体管之间。进一步地，所述薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、有源区、源极、漏极、层间介质层、以及平坦化层，所述有源区设置于所述缓冲层的上方，所述栅绝缘层设置于所述有源区和无所述有源区覆盖的所述缓冲层的上方，所述栅极设置于所述有源区所对应的所述栅绝缘层的上方，所述层间介质层设置于所述栅极和无所述栅极覆盖的所述栅绝缘层的上方，所述源极和所述漏极分别嵌设于所述有源区上方的所述层间介质层和所述平坦化层中，所述阳极设置于所述平坦化层的上方，所述阳极穿过所述平坦化层与所述漏极电性连接。进一步地，所述像素层包括红、绿、蓝像素。本技术实施例的技术方案带来的有益效果是：上述柔性显示面板，由于包括激光吸收层，其可在激光剥离和激光退火过程中吸收穿过显示结构和柔性基底的激光，有效避免激光照射对显示结构的损害及显示性能的影响。附图说明图1是本技术实施例的柔性显示面板的结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。图1是本技术实施例的柔性显示面板的结构示意图，请参见图1所示，本技术的柔性显示面板10形成在玻璃基板(未图示)上，所述柔性显示面板10包括柔性基底11、激光吸收层12、以及显示结构13。激光吸收层12设置于柔性基底11的上方，显示结构13设置于激光吸收层12的上方，即激光吸收层12设置于柔性基底11和显示结构13之间。柔性基底11是由柔性材料制成，柔性基底11可由聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯制成，但不限于此。显示结构13包括缓冲层131、薄膜晶体管132、阳极133、阴极(图未示)、以及设置于阳极133和阴极之间的像素层(图未示)，缓冲层131、薄膜晶体管132、阳极133、像素层、及阴极由下而上依次设置，缓冲层131设置于激光吸收层12的上方。薄膜晶体管132包括栅极1321、栅绝缘(GI)层1322、有源区1323、源极1324、漏极1325、层间介质(ILD)层1326、以及平坦化层1327。有源区1323设置于缓冲层131的上方，栅绝缘层1322设置于有源区1323和无有源区1323覆盖的缓冲层131的上方，栅极1321设置于有源区1323所对应的栅绝缘层1322的上方，层间介质层1326设置于栅极1321和无栅极1321覆盖的栅绝缘层1322的上方，源极1324和漏极1325分别嵌设于有源区1323上方的栅绝缘层1322和层间介质层1326中。阳极133设置于平坦化层1327的上方，阳极133穿过平坦化层1327与漏极1325电性连接。像素层包括红、绿、蓝像素。激光吸收层12设置于柔性基底11和显示结构13之间。激光吸收层12可为非晶硅(α－Si)激光吸收层制成，但不限于此。非晶硅对308nm准分子激光有很高的吸收系数，其可将激光剥离和激光退火过程中穿过有源区134和柔性基底11的激光吸收，避免激光照射对显示结构13的损害及显示性能的影响。同时，激光吸收层12具有较好的水、氧隔绝性能，可避免水汽、氧气等与显示结构13接触，起到保护显示结构13的作用。本技术实施例的技术方案带来的有益效果是：上述柔性显示面板10，由于包括激光吸收层12，其可在激光剥离玻璃基板时候和激光退火过程中吸收穿过显示结构13和柔性基底11的激光，有效避免激光照射对显示结构13的损害及显示性能的影响。在本技术中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。在本技术中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。在不冲突的情况下，本技术中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示面板(10)，包括柔性基底(11)和设置于所述柔性基底(11)之上的显示结构(13)，其特征在于：所述柔性显示面板(10)还包括可吸收激光的激光吸收层(12)，所述激光吸收层(12)设置于所述柔性基底(11)和所述显示结构(13)之间。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板(10)，包括柔性基底(11)和设置于所述柔性基底(11)之上的显示结构(13)，其特征在于：所述柔性显示面板(10)还包括可吸收激光的激光吸收层(12)，所述激光吸收层(12)设置于所述柔性基底(11)和所述显示结构(13)之间。2.如权利要求1所述的柔性显示面板(10)，其特征在于：所述激光吸收层(12)为非晶硅激光吸收层。3.如权利要求1所述的柔性显示面板(10)，其特征在于：所述显示结构(13)包括由下而上依次设置的薄膜晶体管(132)、阳极(133)、像素层、以及阴极。4.如权利要求3所述的柔性显示面板(10)，其特征在于：所述显示结构(13)还包括缓冲层(131)，所述缓冲层(131)设置所述激光吸收层(12)与所述薄膜晶体管(132)之间。5.如权利要求4所述的柔性显示面板(10)，其特征在于：所述薄膜晶体管(132)包括栅极(1321)、栅绝缘层(1322)、有源区(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，陈浩，魏博，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32