分步重复式压印装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可以抑制在压印时产生不良情况或模具破损的分步重复式压印装置。根据本发明专利技术，提供一种分步重复式压印装置，具备：载置工作台基材的工作台；构成为可以相对于所述工作台相对移动且以与所述工作台基材对置的方式保持挠性基材的定位机构；以及一边使所述挠性基材挠曲一边将所述挠性基材朝所述工作台基材按压的加压机构，所述工作台基材与所述挠性基材中的一方具有凹凸图案，所述工作台基材与所述挠性基材中的另一方具备转印所述凹凸图案的被转印树脂层，构成为通过所述加压机构一边使所述挠性基材挠曲一边朝所述工作台基材按压所述挠性基材，从而将所述凹凸图案转印到所述被转印树脂层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分步重复式压印装置以及方法
本专利技术涉及重复式压印装置以及方法。
技术介绍
压印技术是将具有微细图案的模具向基材上的液态树脂等树脂材料按压由此将模具的图案转印于树脂材料的微细加工技术。作为微细图案，存在从10nm数量级的纳米级别的图案到100μm左右的图案。可以在半导体材料、光学材料、存储介质、微型机械、生物、环境等各种领域中使用。然而，在表面具有纳米级别的微细的凹凸图案的模具由于在形成图案时花费时间所以非常昂贵。因此，在表面具有纳米级别的微细的凹凸图案的模具的大型化(大面积化)较困难。因此，在专利文献1中，一边以使加工区域不重叠的方式使模具的位置偏移一边重复进行使用小的模具的压印，从而可以进行大面积的压印(分步重复)。【现有技术文献】【专利文献】专利文献1：日本专利第4262271号
技术实现思路
【专利技术要解决的課題】在专利文献1的方法中，在将模具的凹凸图案沿垂直方向按压到转印材料之后的状态下将转印材料露光使之固化，从而形成具有反转了凹凸图案的反转图案的固化树脂层，然后，重复进行将模具沿垂直方向从固化树脂层取下这样的工序。在专利文献1的方法中，在将模具按压于转印材料时，在两者之间夹着空气，而无法适当地转印凹凸图案，存在若为了进行脱气而进行高压冲裁则模具或基材破损的忧虑。另外，当在形成固化树脂层后取下模具时，存在形成于固化树脂层的反转图案损伤的情况。进而，载置涂敷转印材料的基材的工作台上下面的平面度以及平行度的影响对转印精度较大地产生影响。上述问题随着模具的大型化而更加深刻。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，提供一种可以抑制产生压印不良情况或模具破损的分步重复式压印装置。【用于解决课题的技术手段】根据本专利技术，提供一种分步重复式压印装置，具备：载置工作台基材的工作台；构成为可以相对于上述工作台相对移动且以与上述工作台基材对置的方式保持挠性基材的定位机构；以及一边使上述挠性基材挠曲一边将上述挠性基材朝上述工作台基材按压的加压机构，上述工作台基材与上述挠性基材中的一方具有凹凸图案，上述工作台基材与上述挠性基材中的另一方具备转印上述凹凸图案的被转印树脂层，该分步重复式压印装置构成为通过上述加压机构一边使上述挠性基材挠曲一边朝上述工作台基材按压上述挠性基材，从而将上述凹凸图案转印到上述被转印树脂层。在本专利技术中，一边使保持于可以相对于工作台相对移动的定位机构的挠性基材挠曲，一边将挠性基材朝载置于工作台上的工作台基材按压，从而进行凹凸图案的转印。根据这种结构，容易进行挠性基材与工作台基材之间的脱气，且也容易在转印后使两者分离。并且，与专利文献1的方法相比，工作台的上下面的平面度以及平行度的影响较小。根据这种结构，模具的大型化较容易。以下，例示出本专利技术的各种实施方式。以下所示的实施方式可以相互组合。优选，上述加压机构构成为可以在上述挠性基材上移动。优选，上述定位机构构成为可以在与上述加压机构的移动方向大致垂直的方向上移动。优选，上述定位机构构成为可以在与上述加压机构的移动方向大致相同的方向上移动。优选，上述定位机构使用设置于上述工作台上的固定标记与设置于上述定位机构的移动标记来定位。优选，上述固定标记是设置于上述工作台上的多个方格。根据本专利技术另一观点，提供一种分步重复式压印方法，具备：转印工序，在该工序中，在使载置于工作台上的工作台基材、与以可以相对于上述工作台相对移动的方式被保持的挠性基材对置的状态下，一边使上述挠性基材挠曲一边将上述挠性基材朝上述工作台基材按压，从而将在上述工作台基材与上述挠性基材中的一方设置的凹凸图案转印到在上述工作台基材与上述挠性基材中的另一方设置的被转印树脂层；以及反复工序，在该工序中，使上述挠性基材移动而进行上述转印工序。优选，通过使加压机构在上述挠性基材上移动，而朝上述工作台基材按压上述挠性基材。优选，上述反复工序包含使上述挠性基材在与上述加压机构的移动方向大致垂直的方向上移动而进行上述转印工序的工序。优选，上述反复工序包含使上述挠性基材在与上述加压机构的移动方向大致相同的方向上移动而进行上述转印工序的工序。【附图说明】图1表示本专利技术的第1实施方式的分步重复式压印装置的结构，(a)为主视图，(b)为俯视图。图2为利用图1的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图3为利用图1的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图4为利用图1的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图5为利用图1的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图6表示本专利技术的第2实施方式的分步重复式压印装置的结构，(a)为主视图，(b)为俯视图。图7为利用图6的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图8为利用图6的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图9为利用图6的压印装置的分步重复式压印方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图10表示本专利技术的第3实施方式的分步重复式压印装置的结构，(a)为主视图，(b)为俯视图。图11为利用图10的压印装置的对位方法的说明图，(a)为主视图，(b)为俯视图。图12表示在11的状态下摄像部37a、37b进行摄像而得的图像，(a)～(b)表示修正前的状态，(c)～(d)表示倾斜修正后的状态，(e)～(f)表示长边方向位置修正后的状态。【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术的优选实施方式进行具体地说明。1.第1实施方式如图1所示，本专利技术的第1实施方式的分步重复式压印装置具备：载置工作台基材3的工作台1；构成为可以相对于工作台1相对移动且以与工作台基材3对置的方式保持挠性基材9的定位机构5；以及一边使挠性基材9挠曲一边将上述挠性基材朝工作台基材3按压的加压机构7。在本实施方式中，在挠性基材9的一部分的区域设置有凹凸图案10，在工作台基材3形成有转印凹凸图案10的被转印树脂层11。并且，构成为加压机构7一边使挠性基材9挠曲一边朝工作台基材3按压挠性基材9从而将凹凸图案10转印到被转印树脂层11。因此，具有凹凸图案10的挠性基材9作为压印用模具而发挥功能。更具体而言，定位机构5具备：保持挠性基材9的基端侧的基端保持部15；以及保持挠性基材9的前端侧的前端保持部25。基端保持部15具备：构成为可以沿工作台1的长边方向移动的长边方向驱动部15a；以及被长边方向驱动部15a支承且构成为可以沿工作台1的短边方向移动的短边方向驱动部15b。前端保持部25具备：构成为可以沿工作台1的长边方向移动的长边方向驱动部25a；被长边方向驱动部25a支承且构成为可以沿工作台1的短边方向移动的短边方向驱动部25b；以及被短边方向驱动部25b支承且构成为可以沿工作台1的高度方向移动的高度方向驱动部25c。挠性基材9的基端侧被短边方向驱动部15b支承从而可以在工作台1上进行二维移动。挠性基材9的前端侧被高度方向驱动部25c支承从而可以在工作台1上进行三维移动。此外，定位机构5的结构不限定于此处所示的结构，可以利用各种结构。例如，可以在基端保持部15也设置高度方向驱动部，使挠性基材9的基端侧支承于高度方向驱动部。在这种情本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分步重复式压印装置，其特征在于，具备：载置工作台基材的工作台；构成为可以相对于所述工作台相对移动且以与所述工作台基材对置的方式保持挠性基材的定位机构；以及一边使所述挠性基材挠曲一边将所述挠性基材朝所述工作台基材按压的加压机构，所述工作台基材与所述挠性基材中的一方具有凹凸图案，所述工作台基材与所述挠性基材中的另一方具备转印所述凹凸图案的被转印树脂层，所述分步重复式压印装置构成为：通过所述加压机构一边使所述挠性基材挠曲一边朝所述工作台基材按压所述挠性基材，从而将所述凹凸图案转印到所述被转印树脂层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.17 JP 2014-1472111.一种分步重复式压印装置，其特征在于，具备：载置工作台基材的工作台；构成为可以相对于所述工作台相对移动且以与所述工作台基材对置的方式保持挠性基材的定位机构；以及一边使所述挠性基材挠曲一边将所述挠性基材朝所述工作台基材按压的加压机构，所述工作台基材与所述挠性基材中的一方具有凹凸图案，所述工作台基材与所述挠性基材中的另一方具备转印所述凹凸图案的被转印树脂层，所述分步重复式压印装置构成为：通过所述加压机构一边使所述挠性基材挠曲一边朝所述工作台基材按压所述挠性基材，从而将所述凹凸图案转印到所述被转印树脂层。2.根据权利要求1所述的分步重复式压印装置，其特征在于，所述加压机构构成为可以在所述挠性基材上移动。3.根据权利要求2所述的分步重复式压印装置，其特征在于，所述定位机构构成为可以在与所述加压机构的移动方向大致垂直的方向上移动。4.根据权利要求2或3所述的分步重复式压印装置，其特征在于，所述定位机构构成为可以在与所述加压机构的移动方向大致相同的方向上移动。5.根据权利要求1～4中任一项所述的分步重复式压印装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫泽幸大，
申请(专利权)人：综研化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP