准直评价装置和准直评价方法制造方法及图纸

第一反射部件(10)在透过第二反射部件(20)的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(11)反射，使该光中透过第一反射面(11)的光在第二反射面(12)反射，使这些反射光成分向相反方向射出。第二反射部件(20)在从第一反射部件(10)射出的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(21)反射，使该光中透过第一反射面(21)的光在第二反射面(22)反射，使这些反射光成分射出。利用在第一反射部件(10)的第一反射面(11)和第二反射部件(20)的第二反射面(22)反射的光(L

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】准直评价装置和准直评价方法
本专利技术涉及对光的准直(collimation)进行评价的装置和方法。
技术介绍
在各种各样的光学系统中，将从点光源(包括可以看做点光源的光源)射出的发散光变换成平行光(准直)的频率高。作为点光源，例如可以列举激光二极管、光纤射出端等。通过适当地设定点光源与准直光学系统之间的距离，能够利用准直光学系统将从点光源射出的发散光变换成平行光。在专利文献1、2中记载了对这样生成的平行光的平行度(准直的程度)进行评价的技术。其中，专利文献1所记载的技术使用具有相互不平行的第一反射面和第二反射面的共享板，能够对光的准直进行简便地评价。即，使用共享板的准直评价装置能够使在共享板的第一反射面反射的光和透过共享板的第一反射面而在第二反射面反射的光在屏(screen)上发生干涉，根据其屏上的干涉条纹的方位，对光的准直进行评价。其中，有时共享板也被称为共用板。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-336914号公报专利文献2：日本专利第4114847号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在上述那样的使用共享板的准直评价装置中，为了更高灵敏度地对屏上的干涉条纹的方位的变化进行检测，希望使共享板的厚度变大，还希望使共享板的2个反射面相互形成的角度(楔形角)变小。其中，因为对干涉条纹间隔有影响，所以在某种程度上利用适用于准直评价的干涉条纹间隔决定楔形角。因此，为了灵敏度的提高，使共享板的厚度变大。在共享板的2个反射面分别反射且到达屏的两个光成分之间产生光程差。共享板的厚度越大，其光程差越大。另一方面，能够在屏上对干涉条纹进行观测是与准直评价对象的光的可干涉距离(相干长度)相比，光程差短的情况。例如，从HeNe激光光源输出的CW激光的可干涉距离为100mm数量级。从固体激光光源输出的脉冲宽度40ns的脉冲激光的可干涉距离为数mm。另外，从光纤激光光源输出的脉冲宽度40ns的脉冲激光的可干涉距离为1mm以下。通常，对于从固体激光光源和光纤激光光源输出的短脉冲的激光，利用多纵模和频谱扩展，使可干涉距离变短。为了提高灵敏度而使共享板的厚度变大时，光程差会变大，不能进行与该光程差相比可干涉距离短的光的准直评价。这样，在目前使用共享板的准直评价装置中，对可干涉距离短的光的准直进行更高灵敏度地评价是困难的。本专利技术是为了解决上述问题而完成的专利技术，其目的在于，提供即使准直评价对象的光的可干涉距离短时也能够对该光的准直进行更高灵敏度地评价的装置和方法。解决课题的技术手段本专利技术的准直评价装置的特征在于，具有：(1)具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面的第一反射部件；和(2)具有使从第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面的第二反射部件，(3)根据利用在第一反射部件的第一反射面和第二反射部件的第二反射面反射的光以及在第一反射部件的第二反射面和第二反射部件的第一反射面反射的光形成的干涉条纹的方位，对入射光的准直进行评价。本专利技术的准直评价方法的特征在于，使用：(1)具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面的第一反射部件；和(2)具有使从第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面的第二反射部件，(a)对利用在第一反射部件的第一反射面和第二反射部件的第二反射面反射的光以及在第一反射部件的第二反射面和第二反射部件的第一反射面反射的光形成的干涉条纹进行观测，(b)根据所观测到的干涉条纹的方位，对入射光的准直进行评价。在上述的准直评价装置或准直评价方法中，准直评价对象的光首先向第一反射部件入射，其光的一部分在第一反射部件的第一反射面反射，透过该第一反射面的光在第一反射部件的第二反射面反射。在第一反射部件反射的光接着向第二反射部件入射，其光的一部分在第二反射部件的第一反射面反射，透过该第一反射面的光在第二反射部件的第二反射面反射。由于能够使这些反射光成分中在第一反射部件的第一反射面和第二反射部件的第二反射面反射的光L12与在第一反射部件的第二反射面和第二反射部件的第一反射面反射的光L21的光程差变得比可干涉距离小，因此能够对这2个光成分L12、L21所产生的干涉条纹进行观测。根据所观测到的干涉条纹的方位，能够对入射光的准直进行评价。专利技术的效果根据本专利技术，即使准直评价对象的光的可干涉距离短时，也能够对该光的准直进行更高灵敏度地评价。附图说明图1是表示比较例的准直评价装置100的结构的图。图2(a)～(c)是对在比较例的准直评价装置100的屏30上形成的干涉条纹进行说明的图。图3是表示第一实施方式的准直评价装置1的结构的图。图4是表示第二实施方式的准直评价装置2的结构的图。图5(a)～(c)是在第二实施方式的准直评价装置2的屏30上观察到的干涉条纹的照片。图6(a)～(c)是在第二实施方式的准直评价装置2的屏30上观察到的干涉条纹的照片。图7是表示第三实施方式的准直评价装置3的结构的图。图8是表示第四实施方式的准直评价装置4的结构的图。图9(a)、(b)是表示第五实施方式的准直评价装置5的结构的图。图10(a)、(b)是对第五实施方式的准直评价装置5的作用的一个例子进行说明的图。图11(a)、(b)是对第五实施方式的准直评价装置5的作用的一个例子进行说明的图。图12(a)、(b)是对第五实施方式的准直评价装置5的作用的另一个例子进行说明的图。图13(a)、(b)是对第五实施方式的准直评价装置5的作用的另一个例子进行说明的图。图14(a)～(c)是在第五实施方式的准直评价装置5的屏30上观察到的干涉条纹的照片。图15是表示第一实施方式的准直评价装置的第一变形例的结构的图。图16是表示第一实施方式的准直评价装置的第二变形例的结构的图。图17是表示第一实施方式的准直评价装置的第三变形例的结构的图。图18是表示第一实施方式的准直评价装置的第四变形例的结构的图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细的说明。其中，在附图的说明中，对相同的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。另外，在各图中，为了方便说明，表示了xyz正交坐标系。(比较例)图1是表示比较例的准直评价装置100的结构的图。比较例的准直评价装置100具有反射部件20、屏30和箱体40。反射部件20和屏30固定在箱体40。准直评价对象的光L0向准直评价装置100入射的方向与x轴平行。反射部件20是由具有相互相对的第一反射面21和第二反射面22的透明平板构成的共享板。该透明平板的材料例如是BK7或合成石英。以使与x轴平行地入射的光L0反射并使该反射光与z轴平行地射出的方式配置反射部件20。使第一反射面21和第二反射面22的平面度成为评价对象光的波长的数分之一左右。第一反射面21和第二反射面22相互不平行，沿着与y轴平行的方向，两个反射面之间的距离发生变化，形成数秒～数十秒左右的角度(楔形角)。屏30是以与x轴和y轴的两者平行的方式配置的磨砂玻璃板。在反射部件20的第一反射面21和第二反射面22上分别反射的反射光成分L1、L2向屏30入射。利用这2个光成分L1、L2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准直评价装置，其特征在于：具有：第一反射部件，具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；和第二反射部件，具有使从所述第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面，根据利用在所述第一反射部件的所述第一反射面和所述第二反射部件的所述第二反射面反射的光以及在所述第一反射部件的所述第二反射面和所述第二反射部件的所述第一反射面反射的光形成的干涉条纹的方位，对所述入射光的准直进行评价。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.30 JP 2014-1547791.一种准直评价装置，其特征在于：具有：第一反射部件，具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；和第二反射部件，具有使从所述第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面，根据利用在所述第一反射部件的所述第一反射面和所述第二反射部件的所述第二反射面反射的光以及在所述第一反射部件的所述第二反射面和所述第二反射部件的所述第一反射面反射的光形成的干涉条纹的方位，对所述入射光的准直进行评价。2.如权利要求1所述的准直评价装置，其特征在于：在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，起因于所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者中的所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行的干涉条纹的方位和起因于所述入射光的非平行性的干涉条纹的方位相互不同。3.如权利要求1或2所述的准直评价装置，其特征在于：所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者包含将相互相对的2个面作为所述第一反射面和所述第二反射面而具有的平板。4.如权利要求1或2所述的准直评价装置，其特征在于：所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者包含具有所述第一反射面的第一平板和相对于该第一平板并列配置且具有所述第二反射面的第二平板。5.如权利要求4所述的准直评价装置，其特征在于：所述第一平板与所述第二平板之间的间隔是可变的。6.如权利要求1～5中任一项所述的准直评价装置，其特征在于：在所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者中，所述第一反射面与所述第二反射面相互不平行，所述第一反射部件和所述第二反射部件的两者或任一者在与所述第一反射面或所述第二反射面大致垂直的轴的周围自如...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥间惇治，伊崎泰则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP