一种可接收移动排废口废液的封闭装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及生产过程中产生废液的收集装置，具体地说是一种可接收移动排废口废液的封闭装置，接液盒的两端分别转动连接有端部密封片，废液管固定板位于两端端部密封片之间，在废液管固定板上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块；废液管固定板两侧与每端端部密封片之间均设有多个限位密封片及多个转动密封片，每侧的各限位密封片与转动密封片均间隔布置，废液管固定板的两侧均通过下转动轴转动连接限位密封片，每端端部密封片的另一端均通过上转动轴转动连接限位密封片；废液管固定板及废液管夹紧块随废液管移动，并将相对转动转变为废液管夹紧块与废液管的同步水平移动。本发明专利技术可接收上方移动废液口的废液，避免废液挥发到工作腔体内。

Sealing device for receiving waste liquid of moving waste discharging port

The present invention relates to a collecting device of waste generated in the production process, in particular to a mobile device can receive a row of closed waste liquor, the two ends are respectively connected with the liquid box seal end, waste pipe between the fixed plate located at both ends of the end sealing piece, the waste pipe is installed on the fixed plate mobile waste waste pipe clamping clamping block; a plurality of limiting sealing pieces and a plurality of rotating sealing strips are respectively arranged between the sealing piece and fixed plate on both sides of each end part of the waste pipe, each side of the limiting seal and the rotating sealing piece are arranged at intervals, the waste pipe both sides of the fixed plate through rotation axis connection limit sealing plate, the other end seal each ends through the rotary shaft rotatably connected with the spacing seal plate; the fixed plate and the waste pipe waste pipe clamping block with the waste water pipe moving, and the relative rotation into waste liquid The horizontal movement of the pipe clamping block and the waste liquid pipe. The invention can receive the waste liquid from the upper mobile waste liquid and avoid the volatilization of the waste liquid into the working cavity.

【技术实现步骤摘要】
一种可接收移动排废口废液的封闭装置
本专利技术涉及生产过程中产生废液的收集装置，具体地说是一种可接收移动排废口废液的封闭装置。
技术介绍
目前，半导体行业中晶片湿法处理设备都涉及化学废液的排放。对于喷嘴较多的涂胶单元，经常将喷嘴设计成可以切换的结构。工作工程中，根据当前工艺所需的光刻胶，喷嘴切换结构将对应的喷嘴移动到胶臂可夹取的位置。喷嘴的切换导致其下方的排废口是移动的，而工作腔体下方的排废管是固定的，因此，以往固定的废液盒不再适用。若将固定废液盒的盒盖设有方形口供移动的排废口移动，又会有大量废液挥发到工作腔体中，影响工作环境与晶片质量。所以，需要一个既能过渡上方移动排废口与下方固定排废管、又能避免大量化学废液挥发到工作环境中的装置。
技术实现思路
为了解决喷嘴切换结构的移动废液口与下方固定排废管的连接问题，本专利技术的目的在于提供一种可接收移动排废口废液的封闭装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括接液盒、端部密封片、限位密封片、转动密封片、废液管固定板及废液管夹紧块，其中接液盒的两端分别设有端部密封片，两端所述端部密封片的一侧均转动连接在接液盒上，所述废液管固定板位于两端所述端部密封片之间，在该废液管固定板上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块；所述废液管固定板两侧与每端所述端部密封片之间均设有多个限位密封片及多个转动密封片，每侧的各限位密封片与转动密封片均间隔布置，所述废液管固定板的两侧均通过下转动轴转动连接限位密封片，每端所述端部密封片的另一端均通过上转动轴转动连接限位密封片，相邻的所述限位密封片与转动密封片之间通过所述上转动轴或下转动轴转动连接；所述废液管固定板及废液管夹紧块随所述废液管移动，进而带动所述限位密封片与转动密封片之间及端部密封片与限位密封片之间相对转动，并将相对转动转变为所述废液管夹紧块与所述废液管的同步水平移动。其中：所述限位密封片上设有限制端部密封片及转动密封片转动极限位置的凸起B，所述端部密封片及转动密封片的转动极限位置均为竖直方向或所述限位密封片上的凸起B与端部密封片或转动密封片相切；所述端部密封片分为中间部A及位于该中间部A两侧的圆柱A和圆柱B，所述圆柱B通过端部转动轴与接液盒转动连接，所述圆柱A通过上转动轴与限位密封片的一侧转动连接；所述中间部A为平板状，所述圆柱A的轴向中心线与圆柱B的轴向中心线分别位于中间部A的两侧，并与所述中间部A两侧表面共面；在所述圆柱B上设有限制端部密封片转动极限位置的凸起A；所述圆柱B的轴向长度与中间部A的长度相同，所述圆柱A的轴向长度小于中间部A的长度，并在所述圆柱A的两端与中间部A之间形成止口A；所述限位密封片分为中间部B及位于该中间部B两侧的铰接部A和铰接部B，所述铰接部A通过上转动轴与端部密封片或相邻一侧的转动密封片转动连接，所述铰接部B通过下转动轴与相邻另一侧的转动密封片或所述废液管固定板转动连接；所述铰接部A上设有凸起B，通过该凸起B与端部密封片或转动密封片的抵接，限制所述端部密封片或转动密封片的转动极限位置；所述中间部B为平板状，所述铰接部A和铰接部B的端面均为圆形，该铰接部A的圆心和铰接部B的圆心分别位于中间部B的两侧，并与所述中间部B两侧表面共面；所述限位密封片呈“工”字形，每一端的两侧分别为铰接部A及铰接部B；所述转动密封片分为中间部C及位于该中间部C两侧的圆柱C和圆柱D，所述圆柱C及圆柱D分别通过上转动轴、下转动轴与相邻的限位密封片转动连接；所述中间部C为平板状，所述圆柱C的轴向中心线与圆柱D的轴向中心线分别位于中间部C的两侧，并与所述中间部C两侧表面共面；所述圆柱C及圆柱D的轴向长度相等，且均小于所述中间部C的长度，在所述圆柱C的两端与中间部C之间及圆柱D的两端与中间部C之间均形成止口B；所述废液管固定板分为中间部D及位于该中间部D两侧的圆柱E和圆柱F，所述圆柱E和圆柱F均通过下转动轴与限位密封片转动连接；所述中间部D为平板状，所述圆柱E的轴向中心线与圆柱F的轴向中心线位于中间部D的同侧，且与该侧表面共面；所述圆柱E及圆柱F的轴向长度相等，且均小于所述中间部D的长度，在所述圆柱E的两端与中间部D之间及圆柱F的两端与中间部D之间均形成止口C；所述中间部D上开有供废液管穿过的通孔；所述接液盒两侧内壁上开有凹槽，各所述上转动轴或下转动轴的两端位于该凹槽内。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术在移动的废液管水平移动时，端部密封片、限位密封片、转动密封片将自身的转动转变为随移动废液管的水平移动，可接收上方移动废液口的废液，且与下方固定的排废管连接紧固，解决了喷嘴切换结构的移动废液口与下方固定排废管的连接问题。2.本专利技术结构封闭，能够有效防止排放的废液挥发到工作腔体内。附图说明图1为本专利技术的结构主视图；图2为本专利技术的立体结构示意图；图3A为图1中端部密封片的立体结构示意图；图3B为图1中端部密封片的结构主视图；图3C为图3B的左视图；图3D为图3B的俯视图；图4A为图1中限位密封片的立体结构示意图；图4B为图1中限位密封片的结构主视图；图4C为图4B的左视图；图4D为图4B的俯视图；图5A为图1中转动密封片的立体结构示意图；图5B为图1中转动密封片的结构主视图；图5C为图5B的左视图；图5D为图5B为俯视图；图6A为图2中废液管固定板的立体结构示意图；图6B为图2中废液管固定板的结构主视图；图6C为图6B的左视图；图6D为图6B的俯视图；其中：1为接液盒，2为端部密封片，201为中间部A，202为圆柱A，203为圆柱B，204为止口A，205为凸起A，3为限位密封片，301为中间部B，302为铰接部A，303为铰接部B，304为凸起B，4为转动密封片，401为中间部C，402为圆柱C，403为圆柱D，404为止口B，5为端部转动轴，6为上转动轴，7为下转动轴，8为废液管固定板，801为中间部D，802为圆柱E，803为圆柱F，804为止口C，805为通孔，9为废液管夹紧块，10为凹槽。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1、图2所示，本专利技术包括接液盒1、端部密封片2、限位密封片3、转动密封片4、废液管固定板8及废液管夹紧块9，其中接液盒1的下部固定于工作腔体的底板上，接液盒1的上部为敞口状；在接液盒1上部的两端分别设有端部密封片2，两端端部密封片2的一侧均通过端部转动轴5连接在接液盒1上，并可绕端部转动轴5转动。废液管固定板8位于两端端部密封片2之间，在该废液管固定板8的上表面固定有两个废液管夹紧块9，每个废液管夹紧块9上均开有直径与上方移动的废液管管径相同的槽，槽的截面小于半圆。两个废液管夹紧块9通过螺栓连接后，中间部分形成的圆槽夹紧移动的废液管。废液管固定板8两侧与每端端部密封片2之间均设有多个限位密封片3及多个转动密封片4，每侧的各限位密封片3与转动密封片4均间隔布置；废液管固定板8的两侧均通过下转动轴7转动连接限位密封片3，即距离两端端部密封片2最远的两个下限位密封片3分别通过下转动轴7与废液管固定板8的两侧转动连接；每端端部密封片2的另一端均通过上转动轴6转动连接限位密封片3，限位密封片3与一侧相邻的转动密封片4之间通过上转动轴6转动连接，与另一侧相邻的转动密封片4之间通过下转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：包括接液盒(1)、端部密封片(2)、限位密封片(3)、转动密封片(4)、废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9)，其中接液盒(1)的两端分别设有端部密封片(2)，两端所述端部密封片(2)的一侧均转动连接在接液盒(1)上，所述废液管固定板(8)位于两端所述端部密封片(2)之间，在该废液管固定板(8)上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块(9)；所述废液管固定板(8)两侧与每端所述端部密封片(2)之间均设有多个限位密封片(3)及多个转动密封片(4)，每侧的各限位密封片(3)与转动密封片(4)均间隔布置，所述废液管固定板(8)的两侧均通过下转动轴(7)转动连接限位密封片(3)，每端所述端部密封片(2)的另一端均通过上转动轴(6)转动连接限位密封片(3)，相邻的所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间通过所述上转动轴(6)或下转动轴(7)转动连接；所述废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9)随所述废液管移动，进而带动所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间及端部密封片(2)与限位密封片(3)之间相对转动，并将相对转动转变为所述废液管夹紧块(9)与所述废液管的同步水平移动。...

【技术特征摘要】
1.一种可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：包括接液盒(1)、端部密封片(2)、限位密封片(3)、转动密封片(4)、废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9)，其中接液盒(1)的两端分别设有端部密封片(2)，两端所述端部密封片(2)的一侧均转动连接在接液盒(1)上，所述废液管固定板(8)位于两端所述端部密封片(2)之间，在该废液管固定板(8)上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块(9)；所述废液管固定板(8)两侧与每端所述端部密封片(2)之间均设有多个限位密封片(3)及多个转动密封片(4)，每侧的各限位密封片(3)与转动密封片(4)均间隔布置，所述废液管固定板(8)的两侧均通过下转动轴(7)转动连接限位密封片(3)，每端所述端部密封片(2)的另一端均通过上转动轴(6)转动连接限位密封片(3)，相邻的所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间通过所述上转动轴(6)或下转动轴(7)转动连接；所述废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9)随所述废液管移动，进而带动所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间及端部密封片(2)与限位密封片(3)之间相对转动，并将相对转动转变为所述废液管夹紧块(9)与所述废液管的同步水平移动。2.按权利要求1所述可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：所述限位密封片(3)上设有限制端部密封片(2)及转动密封片(4)转动极限位置的凸起B(304)，所述端部密封片(2)及转动密封片(4)的转动极限位置均为竖直方向或所述限位密封片(3)上的凸起B(304)与端部密封片(2)或转动密封片(4)相切。3.按权利要求1或2所述可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：所述端部密封片(2)分为中间部A(201)及位于该中间部A(201)两侧的圆柱A(202)和圆柱B(203)，所述圆柱B(203)通过端部转动轴(5)与接液盒(1)转动连接，所述圆柱A(202)通过上转动轴(6)与限位密封片(3)的一侧转动连接。4.按权利要求3所述可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：所述中间部A(201)为平板状，所述圆柱A(202)的轴向中心线与圆柱B(203)的轴向中心线分别位于中间部A(201)的两侧，并与所述中间部A(201)两侧表面共面；在所述圆柱B(203)上设有限制端部密封片(2)转动极限位置的凸起A(205)；所述圆柱B(203)的轴向长度与中间部A(201)的长度相同，所述圆柱A(202)的轴向长度小于中间部A(201)的长度，并在所述圆柱A(202)的两端与中间部A(201)之间形成止口A(204)。5.按权利要求1或2所述可接收移动排废口废液的封闭装置，其特征在于：所述限位密封片(3)分为中间部B(301)及位于该中间部B(301)两侧的铰接部A(302)和铰接部B(303)...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑云龙，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21