The invention discloses a plasma etching device comprises a reaction chamber, the reaction chamber is provided with a positive electrode plate relatively parallel and a negative electrode plate, the reaction chamber is provided with a gas entrance, the lower right side of the reaction chamber is arranged at the gas outlet and the mask plate; the upper part of the negative electrode plate is arranged in the reaction chamber, the the negative electrode plate and a mask connected below the mask in the negative electrode plate, mask layout down; the lower part of the positive electrode is arranged in the reaction chamber, and the mask relative. The surface of the mask is downward, and the particle does not fall during the processing, so that the pattern is not etched or the pattern has not been completely etched.
【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀设备
本专利技术属于等离子刻蚀
,具体涉及一种等离子刻蚀设备。
技术介绍
半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套(一般需要10到30块掩模)相互间能精确套准的、具有特定几何图形的掩模,简称掩模版。掩模版是光刻工艺中复印光致抗蚀掩蔽层的“印相底片”,通过光刻工艺可以将掩模版上的图形转移到硅片上。掩模是高纯精密度石英或玻璃材料构成的薄片,上面刻制了集成电路芯片的线路图。掩模的制作过程主要分为曝光、显影、刻蚀、清洗四个工序。其作用如下:曝光:通过计算机辅助技术将设计公司设计出来的集成电路版图转换成曝光设备可识别的数据格式,并据此对光致抗蚀剂(感光胶)进行曝光,产生光化学反应。显影:利用感光胶在曝光后对于显影液溶解度变化的原理,使得感光胶下的被蚀刻层裸露出来。蚀刻:将裸露出来的被蚀刻层去除。清洗:去除未曝光的感光胶和颗粒,确保颗粒数量和大小在出货规范内,避免颗粒对晶圆厂曝光造成缺陷曝光在掩模制作的等离子刻蚀工艺中,通过活性离子对衬底的物理轰击和化学反应双重作用刻蚀铬层(Cr)或相移层(钼硅合金Mosi)刻蚀后经常在掩模表面发现颗粒(尤其是在接触孔处)。因为这些颗粒处于接触孔处,所以这些颗粒在后续工艺处理后通常很难去除;并且这些颗粒会引起许多缺陷,导致金属层残留。常规等离子刻蚀设备结构如图1所示。当刻蚀铬层(Cr)或钼硅合金(Mosi)时,制程气体从左至右通过。在射频电源的作用下,蚀刻气体被电离,成为等离子体,并在掩模板的表面与被刻蚀金 ...
【技术保护点】
一种等离子刻蚀设备,包括反应腔室(1),反应腔室内设置相对平行放置的正电极板(2)和负电极板(3),反应腔室左侧设置有气体入口(4),反应腔室右下侧处设置有气体出口(5),掩膜版(6);其特征在于:所述负电极板(3)设置于反应腔室(1)的上方,所述负电极板(3)和掩膜版(6)相互连接,掩膜版(6)位于负电极板(3)的下方,掩膜版(6)的版面朝下;所述正电极板(2)设置于反应腔室(1)的下方并与掩膜版(6)相对。
【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀设备,包括反应腔室(1),反应腔室内设置相对平行放置的正电极板(2)和负电极板(3),反应腔室左侧设置有气体入口(4),反应腔室右下侧处设置有气体出口(5),掩膜版(6);其特征在于:所述负电极板(3)设置于反应腔室(1)的上方,所述负电极板(3)和掩膜版(6)相互连接,掩膜版(6)位于负电极板(3)的下方,掩膜版(6)的版面朝下;所述正电极板(2)设置于反应腔室(1)的下方并与掩膜版(6)相对。2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀设备,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤春,刘维维,沙云峰,
申请(专利权)人:无锡中微掩模电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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