设有保护罩的外延片曝光装置制造方法及图纸

技术编号:15328179 阅读:56 留言:0更新日期:2017-05-16 12:08
本发明专利技术公开了一种设有保护罩的外延片曝光装置,包括影像定准器,影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨。本设有保护罩的外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度,使得安全系数大幅度提高,提高了曝光精度,使其线条更加均匀,同时延长了曝光设备的使用寿命,具有良好的调节性。

Epitaxial sheet exposure device with protective cover

The invention discloses a wafer is provided with a protective cover exposure device, including image is established, the image center punch is arranged on the top of a digital electronic polarization screen capture structure, exposure lamp is installed between the digital electronic structure and polarization screen capture image is established, digital electronic polarization screen capture structure and image is established through adjusting device can be connected the bottom image is established, an operating platform, hinged between the image center punch and operation platform, at the surface on both sides of the surface are arranged under the platform near the operating platform and operating platform is fixedly connected between the head, energy dissipation plate is connected between the two pan, more than one energy dissipation plate is provided with a guide plate. This is provided with a protective cover wafer exposure device improves the brake equipment and intelligent degree, the safety coefficient is improved greatly, improve the exposure accuracy, make the line more uniform, while extending the exposure of the service life of the equipment, has a good regulation of.

【技术实现步骤摘要】
设有保护罩的外延片曝光装置
本专利技术涉及一种成像装置,特别涉及一种设有保护罩的外延片曝光装置。
技术介绍
在信息发展迅速的时代,人们在其所从事的大量社会活动中发现,仅仅靠原始资料和文件作为唯一的原始档案保存、提供各种利用服务已经不能满足当前需求了。社会的团体和个人及各方都需要收集和获得一些有力的原始材料,这些原始材料是社会活动中不可缺少的法律凭证、各种活动和学习的信息资源,而这些信息资源可以通过缩微摄像的方法,然后制出原件的副本,缩微品上的影像信息是原件的真实记录,并可真实的再现原始文件的信息内容,是一种非常先进的保存方法。但一般的影像装置无法实现这一原理,需要专门的设有保护罩的外延片曝光装置才能更好的进行曝光摄像,以便作出真实的影像,防患于未然。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:克服上述问题,提供一种提高了设备的制动化和智能化程度,使得安全系数大幅度提高,提高了曝光精度,使其线条更加均匀,同时延长了曝光设备的使用寿命的设有保护罩的外延片曝光装置。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是这样的:本专利技术的设有保护罩的外延片曝光装置,包括影像定准器,影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨,导轨竖向设置在耗能板上,导轨顶部位于操作平台上,导轨为两个,两导轨之间设有光源,光源固定在两导轨之间,光源上设有激光器。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述光源采用冷光紫外线灯。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述影像定准器与数字电子偏振画面捕捉结构之间设有密封圈。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述影像定准器上设有保护罩。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述激光器为两个圆形反射板,且两圆形反射板竖向排列在光源上。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述操作平台采用有机玻璃制成。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述云台通过玻璃胶与操作平台连接。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述操作平台与影像定准器之间设有支撑凸块,支撑凸块由金属材料制成。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述导轨采用不锈钢材料制成。进一步的,作为一种具体的结构形式,本专利技术所述导轨内设有传送皮带。与现有技术相比,本专利技术的优点在于:本设有保护罩的外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度,使得安全系数大幅度提高,提高了曝光精度,使其线条更加均匀,同时延长了曝光设备的使用寿命,具有良好的调节性,调试简单,方便操作。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1为本专利技术的结构示意图;图中:1.影像定准器;2.数字电子偏振画面捕捉结构;3.曝光灯;4.操作平台;5.云台;6.耗能板;7.导轨;8.光源;9.激光器。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本专利技术的基本结构,因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1所示的本专利技术设有保护罩的外延片曝光装置的优选实施例,包括影像定准器1,影像定准器1顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构2,数字电子偏振画面捕捉结构2与影像定准器1之间安装有曝光灯3,数字电子偏振画面捕捉结构2与影像定准器1之间通过可调节装置连接,影像定准器1底部位于一操作平台4上,影像定准器1与操作平台4之间铰接,操作平台4靠近两侧面下表面处安装有云台5,云台5与操作平台4之间固定连接,两云台5之间连接有耗能板6,耗能板6不止一个,耗能板6上设有导轨7,导轨7竖向设置在耗能板6上,导轨7顶部位于操作平台4上,导轨7为两个,两导轨7之间设有光源8,光源8固定在两导轨7之间,光源8上设有激光器9,所述光源8采用冷光紫外线灯,所述影像定准器1与数字电子偏振画面捕捉结构2之间设有密封圈,所述影像定准器1上设有保护罩,所述激光器9为两个圆形反射板,且两圆形反射板竖向排列在光源8上,所述操作平台4采用有机玻璃制成,所述云台5通过玻璃胶与操作平台4连接,所述操作平台4与影像定准器1之间设有支撑凸块,支撑凸块由金属材料制成,所述导轨7采用不锈钢材料制成,所述导轨7内设有传送皮带。本专利技术的设有保护罩的外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度,使得安全系数大幅度提高,提高了曝光精度,使其线条更加均匀,同时延长了曝光设备的使用寿命,具有良好的调节性,调试简单,方便操作。所述光源8采用冷光紫外线灯,曝光效果更好;所述影像定准器1与数字电子偏振画面捕捉结构2之间设有密封圈,使其影像定准器1与数字电子偏振画面捕捉结构2能进行紧密的连接;所述影像定准器1上设有保护罩,能够对影像定准器1起到保护作用;所述激光器9为两个圆形反射板,且两圆形反射板竖向排列在光源8上,反射效果极佳;所述操作平台4采用有机玻璃制成,不易开裂破损;所述操作平台4与影像定准器1之间设有支撑凸块,支撑凸块由金属材料制成,能起到良好的支撑作用;所述导轨7采用不锈钢材料制成,延长了导轨的使用寿命;所述导轨7内设有传送皮带,方便进行传送。以上述依据本专利技术的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项专利技术技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项专利技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...
设有保护罩的外延片曝光装置

【技术保护点】
一种设有保护罩的外延片曝光装置,包括影像定准器,其特征在于:影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨,导轨竖向设置在耗能板上,导轨顶部位于操作平台上,导轨为两个,两导轨之间设有光源,光源固定在两导轨之间,光源上设有激光器;所述影像定准器上设有保护罩;所述激光器为两个圆形反射板,且两圆形反射板竖向排列在光源上。

【技术特征摘要】
1.一种设有保护罩的外延片曝光装置,包括影像定准器,其特征在于:影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨,导轨竖向设置在耗能板上,导轨顶部位于操作平台上,导轨为两个,两导轨之间设有光源,光源固定在两导轨之间,光源上设有激光器;所述影像定准器上设有保护罩;所述激光器为两个圆形反射板,且两圆形反射板...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚海林
申请(专利权)人:东莞唯度电子科技服务有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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