真空紫外成像光谱仪校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空紫外成像光谱仪校准装置，包括：真空紫外光源，用于产生不同波段的紫外光；真空紫外光处理模块，用于将所述紫外光进行分光和均匀处理；真空紫外靶标模块，用于提供特征靶标，将所述紫外光转换为具有相应特征的紫外光，并发送至标准紫外成像光谱仪或被校准紫外成像光谱仪；标准紫外成像光谱仪，用于接收靶标模块输出的紫外光并输出标准光辐射功率；控制模块，用于接收所述标准光辐射功率和被校准紫外成像光谱仪输出的光辐射功率，并输出校准结果；本发明专利技术提供的真空紫外成像光谱仪校准装置，能够在发射前对真空紫外成像光谱仪进行校准，保证真空紫外成像光谱仪在空间站的正常运行。

Calibration device of vacuum ultraviolet imaging spectrometer

The invention provides a vacuum ultraviolet imaging spectrometer calibration device includes a vacuum ultraviolet light source for ultraviolet light generating different wavelengths; vacuum ultraviolet processing module, the UV light and uniform treatment; vacuum ultraviolet target module is used to provide the characteristic target to convert the ultraviolet ultraviolet light with the corresponding the characteristics, and sent to the standard ultraviolet imaging spectrometer or calibrated ultraviolet imaging spectrometer; standard ultraviolet imaging spectrometer, UV light and output standard for receiving the target module output light radiation power; the control module, for receiving the standard light radiation and ultraviolet imaging spectrometer is calibrated light output power and radiation. Output calibration results; vacuum ultraviolet imaging spectrometer calibration device provided by the invention can before the launch of the vacuum ultraviolet imaging The spectrometer is calibrated to ensure the normal operation of the vacuum ultraviolet imaging spectrometer at the space station.

【技术实现步骤摘要】
真空紫外成像光谱仪校准装置
本专利技术涉及光学测试设备校准
，尤其涉及一种真空紫外成像光谱仪校准装置。
技术介绍
真空紫外成像光谱仪的工作谱段刚好为空间物质成分重要的特征谱段，并且能够同时给出探测目标的真空紫外光谱信息和真空紫外图像信息、实现图谱合一，其具有的优势使得真空紫外成像光谱仪在航天技术迅速进步、空间科学研究空前发展的今天成为了世界各国争相关注的焦点，其屡被发射到太空中用以对地球、太阳系乃至整个宇宙进行观测，通过对这些不同天体目标真空紫外辐射强度和变化的观测，反演出多种物质的含量和变化规律，从而为日地空间环境、空间天气、宇宙起源等许多前沿科学研究提供大量的研究资料和可靠数据。校准测试是真空紫外成像光谱仪发射前的必不可少的重要环节，是衡量产品能否正常应用的关键。然而，这一关键点却尚未的得到应有的重视，导致在运载至太空中后才发现问题，严重影响空间探测计划的正常进行。
技术实现思路
在下文中给出关于本专利技术的简要概述，以便提供关于本专利技术的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本专利技术的穷举性概述。它并不是意图确定本专利技术的关键或重要部分，也不是意图限定本专利技术的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。为解决上述问题，本专利技术提出一种真空紫外成像光谱仪校准装置，能够在发射前对真空紫外成像光谱仪进行校准，保证真空紫外成像光谱仪在空间站的正常运行。一种真空紫外成像光谱仪校准装置，包括：真空紫外光源，用于产生不同波段的紫外光；真空紫外光处理模块，用于将所述紫外光进行分光和均匀处理；真空紫外靶标模块，用于提供特征靶标，将所述紫外光转换为具有相应特征的紫外光，并发送至标准紫外成像光谱仪或被校准紫外成像光谱仪；标准紫外成像光谱仪，用于接收靶标模块输出的紫外光并输出标准光辐射功率；控制模块，用于接收所述标准光辐射功率和被校准紫外成像光谱仪输出的光辐射功率，并输出校准结果。本专利技术提供的真空紫外成像光谱仪校准装置，能够在发射前对真空紫外成像光谱仪进行校准，保证真空紫外成像光谱仪在空间站的正常运行。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的真空紫外成像光谱仪校准装置一种实施例的结构示意图。图2为本专利技术提供的真空紫外成像光谱仪校准装置第二种实施例的结构示意图具体实施方式下面参照附图来说明本专利技术的实施例。在本专利技术的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或者更多个其他附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚目的，附图和说明中省略了与本专利技术无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。参考图1，本实施例提供一种真空紫外成像光谱仪校准装置，包括：真空紫外光源101，用于产生不同波段的紫外光；真空紫外光处理模块102，用于将紫外光进行分光和均匀处理；真空紫外靶标模块103，用于提供特征靶标，将紫外光转换为具有相应特征的紫外光，并发送至标准紫外成像光谱仪104或被校准紫外成像光谱仪105；标准紫外成像光谱仪104，用于接收靶标模块输出的紫外光并输出标准光辐射功率；控制模块106，用于接收所述标准光辐射功率和被校准紫外成像光谱仪输出的光辐射功率，并输出校准结果。进一步地，参考图2，真空紫外光源101包括氘灯107和氙灯108，氘灯107用于提供120nm-160nm波段的紫外光，氙灯108用于提供160nm-200nm波段的紫外光。进一步地，校准装置还包括光源切换机构109，氘灯107和氙灯108设置在光源切换机构109上，用于实现氘灯107和氙灯108的切换。氘灯107和氙灯108作为校准装置的光源，具有高稳定性的特点。进一步地，真空紫外光处理模块102包括分光模块110和匀光模块111，分光模块110用于将紫外光进行分光处理生成单色光；匀光模块111用于将经分光处理后的紫外光进行匀光处理。具体地，分光模块110包括真空紫外光栅、相应的扫描旋转机械机构、电机驱动控制机构、光路偏转系统等，用来将入射的真空紫外光分为单色光，以进行光谱特性的校准。匀光模块111包括紫外漫反射板、紫外漫透射板和模块切换机构，模块切换机构用于实现所述紫外漫反射板和紫外漫透射板切换。真空紫外漫反射板、真空紫外漫透射板，用来对单色仪出射的真空紫外光辐射进行光均匀化处理，以使得真空紫外靶标模块得到均匀的照明；同时设计模块切换机构，实现真空紫外漫反射板与真空紫外漫透射板之间的相互切换，满足均匀性校准与光谱响应率校准的不同需求。进一步地，真空紫外靶标模块103包括分辨率靶、方形靶、点阵靶、半圆靶、十字靶以及靶标切换机构，不同特征的靶标生成不同特征的紫外光，靶标切换机构用于实现不同靶标的切换，满足不同参数的校准需求。进一步地，校准装置还包括真空紫外准直模块112，真空紫外准直模块112包括离轴抛物面反射镜和平面反射镜，离轴抛物面反射镜和平面反射镜配合设置对经真空紫外靶标模块输出的紫外光进行准直处理。离轴抛物面反射镜和平面反射镜表面经过超光滑表面加工处理，进行真空紫外反射膜系的镀制；用来将特定的靶标准直形成无穷远的目标，满足真空紫外成像光谱仪光谱特性和成像特性高准确度校准的需求。紫外光由真空紫外光源101发出后经分光模块110分离出所需波长部分，再由匀光模块111作匀光处理后经真空紫外靶标模块103继而经准直模块112进行准直处理后发射给标准紫外成像光谱仪104或被校准紫外成像光谱仪105。作为一种优选的实施方式，标准紫外成像光谱仪104选用AXUV100G紫外增强型真空紫外探测器，波段范围涵盖120nm～200nm，在真空紫外波段具有良好的输出和线性，用来测量准直模块输出的光辐射功率，以进行真空紫外成像光谱仪光谱响应率的校准，通过NIST进行校准得到标准的光谱响应率数据。进一步地，校准装置还包括旋转平台113，标准紫外成像光谱仪104和被校准紫外成像光谱仪105设置在旋转平台113上，旋转平台113通过旋转使得标准紫外成像光谱仪或被校准紫外成像光谱仪对准准直模块输出的紫外光，实现标准紫外成像光谱仪104和被校准紫外成像光谱仪105的切换。进一步地，校准装置还包括用于调整所述旋转平台113与准直模块112之间距离的平移机构114，旋转平台113与平移机构114配合设置，平移机构主要包括平移导轨，通过控制平移导轨，调节被校真空紫外成像光谱仪与光管的距离，满足多参数的校准需求。进一步地，校准装置还包括真空仓115，匀光模块111、真空紫外靶标模块103、真空紫外准直模块112、旋转平台113、标准紫外成像光谱仪104、被校准紫外成像光谱仪105以及平移机构114置于真空仓115内。真空仓115满足一定的真空度要求，同时屏蔽红外辐射及可见光辐射等杂光干扰，真空仓外部配有各种接口，实现与抽真空系统、电缆和数据线的连接，用来为真空紫外成像光谱仪的多参数校准提供一个洁净真空环境。控制模块106包括工业控制计算机、数据采集电路、综合控制器及系统软件等，用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，包括：真空紫外光源，用于产生不同波段的紫外光；真空紫外光处理模块，用于将所述紫外光进行分光和均匀处理；真空紫外靶标模块，用于提供特征靶标，将所述紫外光转换为具有相应特征的紫外光，并发送至标准紫外成像光谱仪或被校准紫外成像光谱仪；标准紫外成像光谱仪，用于接收靶标模块输出的紫外光并输出标准光辐射功率；控制模块，用于接收所述标准光辐射功率和被校准紫外成像光谱仪输出的光辐射功率，并输出校准结果。

【技术特征摘要】
1.一种真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，包括：真空紫外光源，用于产生不同波段的紫外光；真空紫外光处理模块，用于将所述紫外光进行分光和均匀处理；真空紫外靶标模块，用于提供特征靶标，将所述紫外光转换为具有相应特征的紫外光，并发送至标准紫外成像光谱仪或被校准紫外成像光谱仪；标准紫外成像光谱仪，用于接收靶标模块输出的紫外光并输出标准光辐射功率；控制模块，用于接收所述标准光辐射功率和被校准紫外成像光谱仪输出的光辐射功率，并输出校准结果。2.根据权利要求1所述的真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，所述真空紫外光源包括氘灯和氙灯，所述氘灯用于提供120nm-160nm波段的紫外光，所述氙灯用于提供160nm-200nm波段的紫外光。3.根据权利要求2所述的真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括光源切换机构，所述氘灯和氙灯设置在所述光源切换机构上，用于实现所述氘灯和氙灯的切换。4.根据权利要求1所述的真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，所述真空紫外光处理模块包括分光模块和匀光模块，所述分光模块用于将所述紫外光进行分光处理生成单色光；所述匀光模块用于将经所述分光处理后的紫外光进行匀光处理。5.根据权利要求4所述的真空紫外成像光谱仪校准装置，其特征在于，所述匀光模块包括紫外漫反射板、紫外漫透射板和模块切换机构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙广尉，孙红胜，王加朋，任小婉，吴柯萱，杨旺林，张林军，
申请(专利权)人：北京振兴计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11