一种喷嘴挡板及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示装置制作技术领域，公开了一种喷嘴挡板及蒸镀装置，以改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料。本发明专利技术实施例的喷嘴挡板包括：板状本体，具有多个开口；对应板状本体的每个开口设置的导流板，所述导流板与板状本体连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。

Nozzle baffle and evaporation device

The invention relates to a display device manufacturing technical field, discloses a nozzle baffle and a vapor deposition device, to improve the accumulation of the nozzle vapor molecules, reduce nozzle clogging, improve evaporation device efficiency, saving evaporation materials. Nozzle flapper embodiments of the present invention comprises a plate-like body having a plurality of openings; each guide plate corresponding to the plate shaped body is provided with the opening, the guide plate and the plate shaped body connection for evaporation materials vapor molecules lead to evaporation outside the nozzle.

【技术实现步骤摘要】
一种喷嘴挡板及蒸镀装置
本专利技术涉及显示装置制作
，特别涉及一种喷嘴挡板及蒸镀装置。
技术介绍
OLED显示屏具有色域广和对比度高的特性，除了被广泛的应用到电视和计算机等显示装置以外，也逐渐趋于应用至手机等移动终端。在OLED板的制作过程中，有机材料的蒸镀是一个重要的环节。OLED蒸镀装置在工作过程中，如果需要暂停对基板的蒸镀操作，一般利用喷嘴挡板将喷嘴遮挡，从而防止蒸镀材料的蒸气分子蒸镀到基板上。如图1a和图1b所示，蒸镀装置包括蒸镀材料容置腔01、设置于蒸镀材料容置腔01上方的喷嘴02、设置于喷嘴02两侧的限制板03以及能够遮挡喷嘴02的挡板04，其中，喷嘴02包括并排设置的多个嘴口。如图1a所示，在对基板05进行蒸镀时，将掩模板06放置于喷嘴02的上方，基板05放置于掩模板的上方，将挡板04打开，蒸镀材料被加热至蒸气状态后，蒸气分子以自由分子的方式从喷嘴02的嘴口喷出并附着在基板05的表面形成蒸镀图案；如图1b所示，当无需对基板05进行蒸镀时，将挡板04移动至喷嘴02上方，从而使蒸气分子无法扩散到基板上。现有技术中，由于设备空间有限，挡板的尺寸一般较小，为了保证挡板的遮挡效果，挡板与喷嘴之间需要保持较小的距离，其技术缺陷在于，该遮挡方式会导致大量蒸气分子堆积在喷嘴与挡板之间而无法快速排出，甚至会造成喷嘴堵塞，从而影响到蒸镀装置的正常工作。有时，为了疏通喷嘴需要对蒸镀材料容置腔进行开腔清理，这会导致蒸发材料的报废。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种喷嘴挡板及蒸镀装置，以改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料。本专利技术提供的喷嘴挡板包括：板状本体，具有多个开口；对应板状本体的每个开口设置的导流板，所述导流板与板状本体连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。本专利技术实施例中的喷嘴挡板设有开口，喷嘴挡板遮挡于喷嘴上方时，蒸镀材料的蒸气分子可以快速的经过开口并在导流板的导流作用下扩散至喷嘴的蒸镀范围之外，而不会附着至基板的表面。相比现有技术，该方案中的喷嘴挡板可以有效的改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料。优选的，所述多个开口并列排布，与所述多个开口分别对应的导流板包括第一部分导流板和第二部分导流板，所述第一部分导流板和第二部分导流板相对喷嘴中心呈对称设置。该方案中的导流板包括两部分，且两部分导流板相对喷嘴中心呈对称设置，蒸气分子从开口扩散出来以后，向远离喷嘴中心的位置扩散，扩散路径较短，扩散速度较大。优选的，板状本体的每个开口对应喷嘴的嘴口设置。可以使从嘴口喷出的蒸气分子直接从开口扩散出去，扩散路径较短，从而进一步改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象。较佳的，所述导流板为直板形导流板。优选的，所述导流板的末端具有水平导流檐。水平导流檐使蒸气分子从檐边扩散出去，对蒸气分子具有一定的水平导流效果，可以提高导流板的导流的效果。可选的，所述导流板与所述板状本体为一体结构，或者所述导流板与所述板状本体可拆卸连接。优选的，所述开口为斜开口，所述斜开口的倾斜方向平行于导流板。。该方案中的开口也可以起到一定的导流效果，即蒸气分子进入开口就开始按照导流的方向扩散。优选的，所述板状本体的周边具有朝向喷嘴设置的凸沿。该方案中的凸沿可以阻挡喷嘴挡板下方从边缘扩散出去的蒸气分子，可以提高喷嘴挡板的遮挡效果。优选的，所述喷嘴挡板为金属喷嘴挡板。金属喷嘴挡板具有较好的延展性，便于加工，且可以适应蒸镀环境。本专利技术还提供了一种蒸镀装置，包括上述任一技术方案所述的喷嘴挡板。该实施例中的蒸镀装置可以改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料。附图说明图1a为现有技术蒸镀装置挡板打开时结构示意图；图1b为现有技术蒸镀装置挡板闭合时结构示意图；图2为本专利技术一实施例中喷嘴挡板剖视图；图3为本专利技术一实施例中喷嘴挡板俯视图；图4为本专利技术一实施例中喷嘴挡板侧视图；图5为本专利技术一实施例中喷嘴挡板使用示意图；图6为本专利技术一实施例中蒸镀装置示意图。附图标记：现有技术部分：01-蒸镀材料容置腔；02-喷嘴；03-限制板；04-挡板；05-基板；06-掩膜板；本专利技术部分：1-喷嘴挡板；10-板状本体；11-开口；12-导流板；121-水平导流檐；122-第一部分导流板；123-第二部分导流板；13-凸沿；2-喷嘴；21-嘴口。具体实施方式为了改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料，本专利技术实施例提供了一种喷嘴挡板及蒸镀装置。为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本专利技术作进一步详细说明。参考图2至图4，本专利技术实施例提供的喷嘴挡板1包括：板状本体10，具有多个开口11；对应板状本体10的每个开口11设置的导流板12，导流板12与板状本体10连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴2的蒸镀范围之外。本专利技术实施例中的喷嘴挡板1设有开口11，喷嘴挡板1遮挡于喷嘴2上方时，蒸镀材料的蒸气分子可以快速的经过开口并在导流板的导流作用下扩散至喷嘴2的蒸镀范围之外，而不会附着至基板的表面。相比现有技术，该方案中的喷嘴挡板1可以有效的改善喷嘴2处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴2堵塞，提高蒸镀装置的工作效率，节约蒸镀材料。如图2和图3所示，在一个优选的实施例中，多个开口11并列排布，与多个开口11分别对应的导流板12包括第一部分导流板122和第二部分导流板123，第一部分导流板122和第二部分导流板123相对喷嘴2中心呈对称设置。该方案中的导流板12包括两部分，且两部分导流板相对喷嘴2中心呈对称设置，即每个导流板12的导流方向都朝向喷嘴2边缘，蒸气分子从开口11扩散出来以后，向喷嘴2边缘的位置扩散，扩散路径较短，扩散速度较大。如图5所示，在一个优选的实施例中，板状本体10的每个开口11对应喷嘴2的嘴口21设置。可以使从嘴口21喷出的蒸气分子直接从开口11扩散出去，扩散路径较短，从而进一步改善喷嘴2处蒸气分子的堆积现象。导流板12的具体形状不做限定，导流板12可以为直板形导流板，或者，导流板12的末端具有水平导流檐121。水平导流檐121使蒸气分子从檐边扩散出去，对蒸气分子具有一定的水平导流效果，可以提高导流板12的导流的效果。导流板12与板状本体10的连接方式不限，导流板12与板状本体10可以为一体结构，如利用冲压的方式获得的喷嘴挡板1；当然，导流板12与板状本体10也可以为可拆卸连接，方便维护和更换导流板12。请参考图2，喷嘴挡板1的开口11为斜开口，斜开口的倾斜方向平行于导流板12。该方案中的开口11也可以起到一定的导流效果，即蒸气分子进入开口11就开始按照导流的方向扩散。请参考图2和图4，板状本体10的周边具有朝向喷嘴2设置的凸沿13。该方案中的凸沿13可以阻挡喷嘴挡板1下方从边缘扩散出去的蒸气分子，可以提高喷嘴挡板1的遮挡效果。具体的，喷嘴挡板1可以为金属喷嘴挡板。金属喷嘴挡板具有较好的延展性，便于加工，且可以适应蒸镀环境。如图6所示，本专利技术还提供了一种蒸镀装置，包括上述任一技术方案的喷嘴挡板1。该实施例中的蒸镀装置可以改善喷嘴2处蒸气分子的堆积现象，减少喷嘴2堵塞，提高蒸镀装置的工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴挡板，其特征在于，包括：板状本体，具有多个开口；对应板状本体的每个开口设置的导流板，所述导流板与板状本体连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴挡板，其特征在于，包括：板状本体，具有多个开口；对应板状本体的每个开口设置的导流板，所述导流板与板状本体连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。2.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述多个开口并列排布，与所述多个开口分别对应的导流板包括第一部分导流板和第二部分导流板，所述第一部分导流板和第二部分导流板相对喷嘴中心呈对称设置。3.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，板状本体的每个开口对应喷嘴的嘴口设置。4.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述导流板为直板形导流板。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏志玮，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34