固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法技术

本发明专利技术提供一种固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法，其针对保持工件的工件工作台和用于进行固定磨粒丝的修整的修整石的配置关系，在考虑维护性等运用方面的基础上，实施了更合理的设计。其具有固定磨粒丝(2)、具备固定工件(W)的工件固定部(15)的工件供给工作台(6)、和修整石(41)，通过将固定磨粒丝(2)缠挂在槽辊(3)‑(5)之间，形成有在沿着槽辊的进给方向上排列的丝列(30)，修整石与工件固定部邻接地被固定在上述工件供给工作台中的上述进给方向的与该工件固定部相比的上游侧的位置。

Fixed abrasive wire saw and method for dressing fixed abrasive grain

The invention provides a fixed abrasive wire saw and fixed abrasive wire dressing method, configuration dressing stone fixed abrasive wire dressing for the workpiece table for holding a workpiece and, in consideration of the maintenance of such application, the implementation of a more reasonable design. Having a fixed abrasive wire (2), with a fixed workpiece (W) work fixing part (15) of the workpiece supply table (6), and (41), finishing stone by fixed abrasive wire (2) wrapped hanging on the grooved roller (3) (5) is formed between the. In the arrangement direction of feed roller on the wire groove (30), compared with the fixed part of the workpiece upstream side dressing stone and workpiece adjacent to the fixed part is fixed above the workpiece feed direction in the supply position of the workbench.

【技术实现步骤摘要】
固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法
本专利技术涉及切削由硅、玻璃、陶瓷等硬脆性材料构成的工件的固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法。
技术介绍
以往，作为将由硬脆性材料构成的工件(即，坯块)切断，制造多张薄板(晶片)的装置之一，已知有丝锯(即，使用了丝的切削装置)。上述丝锯被构成为将钢琴线等芯线并列地架设在多个槽辊之间，形成螺旋状的丝列，通过将坯块推碰到该丝列的高速行走的丝而进行切削，将坯块切断成多张晶圆。作为上述丝锯的切断方式，有基于一面将含有游离磨粒的加工液(即，浆料)喷涂到上述丝列，一面进行切削的游离磨粒方式的切断方式，和像专利文献1所示那样，基于使用磨粒被粘着在上述芯线的表面的固定磨粒丝进行切削的固定磨粒方式的切断方式。游离磨粒方式由于存在浆料的废弃处理的问题等，所以，近年来，不需要使用上述浆料且与该游离磨粒方式相比切削效率优异的固定磨粒方式正在普及。而且，作为在上述固定磨粒方式的丝锯(即，固定磨粒丝锯)中使用的固定磨粒丝，已知通过金属镀敷使磨粒粘着在芯线的固定磨粒丝(参照专利文献2)。但是，在使用这样的磨粒通过金属镀敷被粘着在芯线上的固定磨粒丝的情况下，为了确保更优异的切削效率、切削精度，希望磨粒的前端即刃尖总是露出，不存在因切削屑造成的孔堵塞，但是，通常如上述专利文献2公开的切断方式那样，在使用开始前的新品状态下，磨粒的刃尖因金属镀敷而被包覆，另外，即使在使用开始后，也极难避免孔堵塞。因此，在引用文献1记载的丝锯中，通过将修整石推碰到丝列，对固定磨粒丝进行修整。然而，若从维护性等运用方面的观点来看该丝锯，则对保持坯块的工件工作台和修整石的配置关系而言，未必能说进行了充分的考虑，仍留有设计上的改进余地。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-28654号公报专利文献2：日本特开2006-181698号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题因此，本专利技术的技术的课题是提供一种针对保持工件的工件工作台和用于进行固定磨粒丝的修整的修整石的配置关系，在考虑维护性等运用方面的基础上，实施了更合理的设计的固定磨粒丝锯以及这样的固定磨粒丝锯中的固定磨粒丝的修整方法。用于解决课题的手段为了解决上述课题，根据本专利技术，提供一种固定磨粒丝锯，所述固定磨粒丝锯具有：磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝；相互平行地配设旋转轴的多个槽辊；固定工件的工件供给工作台；和对上述固定磨粒丝进行修整的修整石，上述固定磨粒丝被螺旋状地缠挂在上述槽辊之间，形成有在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列，所述固定磨粒丝锯通过一面使该固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述丝列和被固定在上述工件供给工作台的工件相互推碰来用于对该工件进行切削，其特征在于，在上述工件供给工作台设置有用于固定工件的工件固定部，且上述修整石与该工件固定部邻接地被固定在上述进给方向上的与该工件固定部相比的至少上游侧。此时，优选上述修整石由第1修整石以及第2修整石构成，在上述工件供给工作台上，上述第1修整石与该工件固定部邻接地被固定在上述进给方向上的与工件固定部相比的上游侧，且第2修整石与该工件固定部邻接地被固定在与该工件固定部相比的下游侧。而且，更优选上述第1修整石中的与上述丝列相向的前端面与上述第2修整石中的与该丝列相向的前端面相比向该丝列侧突出。另外，根据本专利技术，提供一种固定磨粒丝锯，所述固定磨粒丝锯具有：磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝；相互平行地配设旋转轴的多个槽辊；和固定工件的工件供给工作台，上述固定磨粒丝被螺旋状地缠挂在上述槽辊之间，形成有在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列，所述固定磨粒丝锯通过一面使该固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述丝列和被固定在上述工件供给工作台的工件相互推碰来用于对该工件进行切削，其特征在于，在上述工件供给工作台设置有用于固定工件的工件固定部和用于固定修整石的磨石固定部，上述修整石对上述固定磨粒丝进行修整，该磨石固定部与该工件固定部邻接地被配置在上述进给方向上的与该工件固定部相比的至少上游侧。此时，优选上述磨石固定部由第1磨石固定部以及第2磨石固定部构成，在上述工件供给工作台上，上述第1磨石固定部与该工件固定部邻接地被配置在上述进给方向上的与工件固定部相比的上游侧，且第2磨石固定部与该工件固定部邻接地被配置在该工件固定部的下游侧。再有，根据本专利技术，提供一种固定磨粒丝的修整方法，其特征在于，具有下述步骤：将磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝螺旋状地缠挂在相互平行地配置旋转轴的多个槽辊之间，由此形成在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列的步骤；将工件固定在工件供给工作台，且将修整石与该工件邻接地固定在该工件供给工作台中的与该工件相比的上述进给方向的至少上游侧的位置的步骤；通过一面使上述固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述工件供给工作台和上述丝列向相互接近的方向移动，由上述修整石对与上述工件相比处于上述进给方向的上游侧的固定磨粒丝进行修整，且通过由该修整后的固定磨粒丝形成的丝列切削上述工件的步骤。在本专利技术的上述修整方法中，优选被固定在上述工件供给工作台的修整石中的与上述丝列相向的前端面与被固定在该工件供给工作台的工件中的与上述丝列相向的前端面相比向丝列侧突出。另外，优选上述修整石由第1修整石以及第2修整石构成，在上述工件供给工作台上，上述第1修整石与该工件邻接地被固定在上述进给方向上的与上述工件相比的上游侧，且第2修整石与该工件邻接地被固定在与该工件相比的下游侧。此时，更优选上述第1修整石中的与上述丝列相向的前端面与上述第2修整石中的与丝列相向的前端面相比向该丝列侧突出，且第2修整石的该前端面和工件的该前端面被配置成距该丝列大致相同的距离。专利技术效果根据上面记载的本专利技术，被构成为在由固定磨粒丝的丝列对工件切削前，由修整石修整该固定磨粒丝。因此，能够在将包覆该固定磨粒丝的磨粒的表面的金属镀敷层除去，使磨粒的刃尖露出后，切削工件，能够提高对工件的切削效率。另外，由于被构成为将上述工件和修整石固定于相同的工件供给工作台，所以，在维护等运用方面也发挥优异的效果，例如，不仅能够避免构造的复杂化，还能够在进行工件更换的同时进行修整石的更换等。附图说明图1是表示本专利技术的固定磨粒丝锯的一实施方式的示意图。图2是表示图1的固定磨粒丝锯的切削部的概略立体图。图3是示意性地表示上述切削部中的工件切削前的状态的概略局部放大图。图4是示意性地表示在上述切削部中，在工件切削开始前进行的固定磨粒丝的修整状态的概略局部放大图。图5是示意性地表示上述切削部中的工件切削开始时的状态的概略局部放大图。图6是示意性地表示上述切削部中的工件切削中途的状态的概略局部放大图。附图标记说明1：固定磨粒丝锯；2：固定磨粒丝；3-5：槽辊；6：工件供给工作台；15：工件固定部；16：第1磨石固定部；17：第2磨石固定部；30：丝列；41:第1修整石；41a:前端面；42：第2修整石；42a:前端面；W:工件；W1：前端面。具体实施方式图1-图6表示本专利技术的固定磨粒丝锯的一实施方式。本实施方式的固定磨粒丝锯1如图1以及图2所示具有：磨粒通过金属镀敷被粘着在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固定磨粒丝锯，所述固定磨粒丝锯具有：磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝；相互平行地配设旋转轴的多个槽辊；固定工件的工件供给工作台；和对上述固定磨粒丝进行修整的修整石，上述固定磨粒丝被螺旋状地缠挂在上述槽辊之间，形成有在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列，所述固定磨粒丝锯通过一面使该固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述丝列和被固定在上述工件供给工作台的工件相互推碰来用于对该工件进行切削，其特征在于，在上述工件供给工作台设置有用于固定工件的工件固定部，且上述修整石与该工件固定部邻接地被固定在上述进给方向上的与该工件固定部相比的至少上游侧。

【技术特征摘要】
2015.10.28 JP 2015-2120791.一种固定磨粒丝锯，所述固定磨粒丝锯具有：磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝；相互平行地配设旋转轴的多个槽辊；固定工件的工件供给工作台；和对上述固定磨粒丝进行修整的修整石，上述固定磨粒丝被螺旋状地缠挂在上述槽辊之间，形成有在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列，所述固定磨粒丝锯通过一面使该固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述丝列和被固定在上述工件供给工作台的工件相互推碰来用于对该工件进行切削，其特征在于，在上述工件供给工作台设置有用于固定工件的工件固定部，且上述修整石与该工件固定部邻接地被固定在上述进给方向上的与该工件固定部相比的至少上游侧。2.如权利要求1所述的固定磨粒丝锯，其特征在于，上述修整石由第1修整石以及第2修整石构成，在上述工件供给工作台上，上述第1修整石与该工件固定部邻接地被固定在上述进给方向上的与工件固定部相比的上游侧，且第2修整石与该工件固定部邻接地被固定在与该工件固定部相比的下游侧。3.如权利要求2所述的固定磨粒丝锯，其特征在于，上述第1修整石中的与上述丝列相向的前端面与上述第2修整石中的与该丝列相向的前端面相比向该丝列侧突出。4.一种固定磨粒丝锯，所述固定磨粒丝锯具有：磨粒通过金属镀敷被粘着于芯线的表面的固定磨粒丝；相互平行地配设旋转轴的多个槽辊；和固定工件的工件供给工作台，上述固定磨粒丝被螺旋状地缠挂在上述槽辊之间，形成有在与上述旋转轴呈平行的进给方向上以规定的节距间隔排列的丝列，所述固定磨粒丝锯通过一面使该固定磨粒丝在其芯线方向上高速行走，一面使上述丝列和被固定在上述工件供给工作台的工件相互推碰来用于对该工件进行切削，其特征在于，在上述工件供给工作台设置有用于固定工件的工件固定部和用于固定修整石的磨石固定部，上述修整石对上述固定磨粒丝进行修整，...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊泽贤一，
申请(专利权)人：利德株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP