一种烘烤设备制造技术

本发明专利技术公开了一种烘烤设备，所述烘烤设备包括：烘烤腔室，用于对放置于所述烘烤腔室内的待烘烤产品进行烘烤；供气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于向所述烘烤腔室提供携载气体；排气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于将从所述烘烤腔室流出的排放气体排出；热量交换器，分别连接所述供气通道与所述排气通道，并用于将所述排气通道中的排放气体的热量供给所述供气通道中的所述携载气体，进而对所述供气通道中的所述携载气体进行预热。通过实施本发明专利技术，能够将排气通道中排放气体的热量供给供气通道中的携载气体，进而对携载气体进行预热，充分利用排放气体中的热量，降低了能量的浪费。

Baking equipment

The invention discloses a baking device, the baking device comprises a baking chamber, for baking the arranged inside the baking chamber to be baked products; supply channels, connected with the baking chamber, and for providing the carrying gas to the baking chamber; the exhaust channel is connected with the baking the chamber, and is used to discharge gas flowing from the baking chamber discharge; heat exchanger are respectively connected to the air supply passage and the exhaust passage, and exhaust gas for the exhaust channel in the heat supply of the gas channel in the carrying gas, and the gas channel the carrying gas preheating. The embodiment of the invention, capable of carrying gas heat supply air supply passage exhaust gas in an exhaust passage in which, for preheating the carrying gas, make full use of exhaust gas heat, reduce the waste of energy.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械
，特别是涉及一种烘烤设备。
技术介绍
目前烘烤设备在各行各业应用广泛。例如薄膜晶体管液晶显示器制程中，曝光制程涂胶后需要利用烘烤设备进行的烘烤制程。主要是通过接近式加热，使光阻中的溶剂在高温(一般80～1200℃)下蒸发，并利用通入烘烤设备的气体将溶剂蒸气带走并排出。为了避免温度过冷气体进入烘烤设备的烘烤腔室内时对烘烤腔室内部温度造成过大的波动，通常在进入烘烤腔室前需利用预热器对过冷气体进行预热。而携载溶剂蒸气的高温气体通常没有利用而直接被排放掉，造成了能量的损耗。同时，烘烤设备包括供气系统和排气系统，而目前常见的烘烤设备通常在部分运转和完全运转时，供气和排气系统完全打开，造成了供气和排气的严重浪费。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种烘烤设备，能够实现烘烤设备供气和排气能量的充分利用，降低能量的消耗。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：提供一种烘烤设备，所述烘烤设备包括：烘烤腔室，用于对放置于所述烘烤腔室内的待烘烤产品进行烘烤；供气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于向所述烘烤腔室提供携载气体；排气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于将从所述烘烤腔室流出的排放气体排出；热量交换器，分别连接所述供气通道与所述排气通道，并用于将所述排气通道中的所述排放气体的热量供给所述供气通道中的所述携载气体，进而对所述供气通道中的所述携载气体进行预热。其中，所述热量交换器包括：热交换腔室，与所述排气通道连接，并用于接收所述排气通道中的所述排放气体；热交换通道，蜿蜒设置于所述热交换腔室内，且与所述供气通道连接，并用于接收所述供气通道中的所述携载气体，以使得所述热交换腔室内的所述排放气体的热量供给所述热交换通道内的所述携载气体。进一步地，所述烘烤设备包括：感应器，设置于所述烘烤腔室内部，并用于检测所述烘烤腔室内部的所述待烘烤产品的放置数量；流量控制阀，设置在所述供气通道上，并用于调节所述供气通道中的所述携载气体的流量；控制器，分别连接所述感应器与所述流量控制阀，并用于根据所述感应器所检测的所述待烘烤产品的放置数量控制所述流量控制阀对所述供气通道中的所述携载气体的流量进行调节。其中，所述烘烤设备进一步包括流量计，所述流量计设置在所述供气通道上，并用于检测所述供气通道中的所述携载气体的流量，所述流量计进一步连接所述控制器，所述控制器根据进一步所述流量计反馈的流量值控制所述流量控制阀。进一步地，所述烘烤设备包括抽风机，所述抽风机设置在所述排气通道上，并与所述控制器连接，所述控制器根据所述感应器所检测的所述待烘烤产品的放置数量控制所述抽风机对所述排气通道内的气压进行调节。其中，所述烘烤设备进一步包括气压计，所述气压计设置在所述排气通道上，并对所述排气通道内的气压进行检测，所述气压计进一步连接所述控制器，所述控制器进一步根据所述气压计反馈的气压值控制所述抽风机。其中，所述待烘烤产品的放置数量越多时，所述控制器控制所述流量控制阀将所述供气通道中的所述携载气体的流量调节得越大，并控制所述抽风机将所述排气通道内的气压调节得越低。其中，所述控制器在根据所述待烘烤产品的放置数量判定需要调小所述供气通道中的所述携载气体的流量或调高所述排气通道内的气压且持续预定时间后再进行相应调节。进一步地，所述烘烤腔室划分为多个区域，每一所述区域分别对应连接一所述供气通道，且每一所述供气通道上分别设置有所述流量控制阀，其中所述感应器分别对每一所述区域内的所述待烘烤产品的放置数量进行检测，所述控制器分别根据每一所述区域内的所述待烘烤产品的放置数量控制所述区域对应连接的所述供气通道上的所述流量控制阀。进一步地，每一所述区域分别对应连接至少一所述排气通道，且每一所述供气通道上分别设置有抽风机，所述抽风机与所述控制器连接，所述控制器分别根据每一所述区域内的所述待烘烤产品的放置数量控制所述区域对应连接的所述排气通道上的所述抽风机对所述排气通道内的气压进行调节。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术通过利用排气通道中排放气体的热量，并将其供给供气通道中的携载气体，进而对携载气体进行预热，减少了供气和排气过程中的热量损耗，降低了能量的浪费。附图说明图1是本专利技术烘烤设备第一实施例结构示意图；图2是本专利技术烘烤设备第二实施例结构示意图；图3是本专利技术烘烤设备第三实施例结构示意图；图4是本专利技术烘烤设备第四实施例结构示意图；图5是本专利技术烘烤设备第五实施例结构示意图；图6是本专利技术烘烤设备第六实施例结构示意图。具体实施方式请参阅图1，本专利技术烘烤设备10第一实施例包括：烘烤腔室11、供气通道12、排气通道13及热量交换器14。烘烤腔室11，用于对放置于烘烤腔室11内的待烘烤产品进行烘烤；虽然不同行业的烘烤设备10不尽相同，但其功用相差无几，通常是用来对待烘烤产品进行烘干，是通用的干燥设备。烘烤腔室11作为烘烤设备10的核心部件，内部设置加热装置能够对待烘烤产品进行加热烘干，同时具有外壳与内胆双层结构，外壳与内胆之间可用硅酸铝纤维等耐火材料填充，形成可靠的保温层。不同行业的烘烤设备10对应的待烘烤产品不同，例如面板行业中通常是对面板进行高温烘烤，以将面板中的水等液态溶剂蒸发变为蒸气并被带出。供气通道12，与烘烤腔室11连接，并用于向烘烤腔室11提供携载气体；排气通道13，与烘烤腔室11连接，并用于将从烘烤腔室11流出的排放气体排出；以面板制程用烘烤设备10为例，为了将面板中的水等液态溶剂蒸发并带出，需要通过与烘烤腔室11连接的供气通道12向烘烤腔室11中通入一定量的携载气体，携载气体经过烘烤腔室11并与从产品中蒸发出来的溶剂蒸气混合转化为排放气体，再经过与烘烤腔室11相连接的排气通道13排出，以此将溶剂蒸气带出，从而达到将面板烘干的效果。同时，供气通道12和排气通道13在数量上可以为一个，也可以是多个，不同的烘烤设备10，以及容量不同的烘烤腔室11可以设置不同数量的供气通道12和排气通道13。热量交换器14，分别连接供气通道12与排气通道13，并用于将排气通道13中的排放气体的热量供给供气通道12中的携载气体，进而对供气通道12中的携载气体进行预热。通常，烘烤设备10在工作时，烘烤腔室11内部具有稳定的高温环境，而通过供气通道12通入的携载气体则是常温或者低温的，为了避免当携载气体进入烘烤腔室11内部时高温稳定被破坏而引起过大的温度波动，通过供气通道12通入烘烤腔室11的携载气体需要经过预热，以使携载气体的温度不低于规定的最低进入温度。容易理解地，排气通道13中的排放气体具有较高的温度，热量交换器14通过连接供气通道12与排气通道13将排放气体中的热量部分传递给供气通道12中的携载气体，而对携载气体进行预热，进而实现热量的循环利用，降低了能量的损耗。请参阅图2，本专利技术烘烤设备20第二实施例包括：烘烤腔室21，用于对放置于烘烤腔室21内的待烘烤产品进行烘烤；供气通道22，与烘烤腔室21连接，并用于向烘烤腔室21提供携载气体；排气通道23，与烘烤腔室21连接，并用于将从烘烤腔室21流出的排放气体排出；热量交换器24，分别连接供气通道22与排气通道23，并用于将排气通道23中的排放气体的热量供给供气通道22中的携载气体，进而对供气通道22中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：烘烤腔室，用于对放置于所述烘烤腔室内的待烘烤产品进行烘烤；供气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于向所述烘烤腔室提供携载气体；排气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于将从所述烘烤腔室流出的排放气体排出；热量交换器，分别连接所述供气通道与所述排气通道，并用于将所述排气通道中的所述排放气体的热量供给所述供气通道中的所述携载气体，进而对所述供气通道中的所述携载气体进行预热。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：烘烤腔室，用于对放置于所述烘烤腔室内的待烘烤产品进行烘烤；供气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于向所述烘烤腔室提供携载气体；排气通道，与所述烘烤腔室连接，并用于将从所述烘烤腔室流出的排放气体排出；热量交换器，分别连接所述供气通道与所述排气通道，并用于将所述排气通道中的所述排放气体的热量供给所述供气通道中的所述携载气体，进而对所述供气通道中的所述携载气体进行预热。2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述热量交换器包括：热交换腔室，与所述排气通道连接，并用于接收所述排气通道中的排放气体；热交换通道，蜿蜒设置于所述热交换腔室内，且与所述供气通道连接，并用于接收所述供气通道中的所述携载气体，以使得所述热交换腔室内的排放气体的热量供给所述热交换通道内的所述携载气体。3.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备进一步包括：感应器，设置于所述烘烤腔室内部，并用于检测所述烘烤腔室内部的所述待烘烤产品的放置数量；流量控制阀，设置在所述供气通道上，并用于调节所述供气通道中的所述携载气体的流量；控制器，分别连接所述感应器与所述流量控制阀，并用于根据所述感应器所检测的所述待烘烤产品的放置数量控制所述流量控制阀对所述供气通道中的所述携载气体的流量进行调节。4.根据权利要求3所述的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备进一步包括流量计，所述流量计设置在所述供气通道上，并用于检测所述供气通道中的所述携载气体的流量，所述流量计进一步连接所述控制器，所述控制器进一步根据所述流量计反馈的流量值控制所述流量控制阀。5.根据权利要求3所述的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备进一步包括抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵建君，宋浩，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42