具备固定加热块的角阀制造技术

本发明专利技术涉及具备固定加热块的角阀，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。

Angle valve with fixed heating block

The invention relates to a fixed angle valve heating block, which is characterized in that: the valve shell (100), which is formed with a hole in the inner fluid movement (101), and have for the inflow of the fluid inflow part (110) and for the fluid efflux Department (120); a fixed heating block (200). It is fixed on the valve housing (100) inside, and have sliding hole inside (210); the drive member (300), which can detachably attached to the valve body (100) is to provide the driving force; Department (400), closed with the drive member (300) according to the connection, the drive member (300) of the drive and not open and close the inlet part (110).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具备固定加热块的角阀，所述具备固定加热块的角阀的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且具备供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；固定加热块200，其固定安装于所述阀壳100的内侧，且在内部具备滑动孔210；驱动构件300，其能拆卸地结合于所述阀壳100上部，提供驱动力；密闭部400，其与所述驱动构件300连接，根据所述驱动构件300的驱动与否而开闭所述流入部110。
技术介绍
一般而言，半导体或LCD具有固定密度，因而要求高清洁度和特殊的制造技术。由于这种理由，半导体元件在能够最完美地切断与空气中包含的异物接触的真空状态下进行制造。因此，半导体制造装置的真空作业区域与大气的密封技术，也对半导体制品的品质产生许多影响。在如上所述制造半导体所需的工序区间安装有角阀，执行把借助于真空泵而移动的流体传递到腔内或切断的功能。这种角阀具备供流体流入的流入部和供流体流出的流出部，随着缸的驱动，密闭部移动并对流入部进行开闭，从而向腔内部传递流体或切断。另一方面，随着流体借助于真空泵而排气，流体内存在的工序副产物流入角阀内部，因此，如果暴露于角阀内部的由不锈钢或铁等材质形成的波纹管等，则因化学反应而生成微粒。如上所述因化学反应而生成的微粒在低温下析出，发生固着于角阀内部或密闭部等的现象，缩短角阀的寿命，为了防止微粒的固着，在角阀内部附着有发散既定温度以上的热的加热器，使角阀内部的温度上升，从而防止微粒的析出现象。下述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀(大韩民国注册专利公报第10-0256768号)”涉及在一侧具有气体流入口或气体流出口而在下侧具有气体流出口的阀箱中，利用波纹管对借助于上侧的促动器而进行开闭运转的阀体的运转连接部进行密封的CVD装置的真空排气阀，在所述波纹管内，在阀体的运转连接部的外周侧配置能弹性伸缩的线圈状的加热套，将其下端固定于阀体的上侧，上端固定于阀箱内顶面后，连接于阀箱外的导线，把对加热套进行温度控制的铠装式热电偶按相同级别、相同圈数，同心配置于加热套的内周侧，在阀箱外面附着橡胶加热器，从而使波纹管内部的阀体和加热套一体运转，在阀开闭时，可以加热阀体或波纹管，具有能够防止在阀箱内发生微粒的优点。但是，所述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀”在促动器通过空压而上下运动时，连接于活塞杆的线圈形状的加热套及铠装式热电偶同时游动，因而由于每天少则数百次、多则数千次的促动器的反复运转，加热套及铠装式热电偶因收缩及放松的反复运转而发生变位，具有存在破损危险性的问题。另外，线圈形状的加热套及铠装式热电偶由于其结构性形状，在放松时，与放松的加热套的体积相比，发热量小，存在难以高效地把热传递到阀箱及波纹管内部的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题本专利技术正是为了解决所述问题而研发的，本专利技术的目的在于提供一种具备固定加热块的角阀，把发热的固定加热块固定安装于波纹管内侧，从而即使驱动构件运转，固定加热块仍然保持固定状态，能够提高固定加热块的寿命及效率，减小部件更换的次数，能够防止连接于固定加热块的电线因驱动构件的运转而损伤。另外，提供一种具备固定加热块的角阀，把借助于驱动构件的驱动而上下移动的热传递块与整体发热的固定加热块连接，从而能够对阀壳及波纹管内部均匀地发挥热传递及辐射作用。技术方案为了解决如上所述的问题，本专利技术的具备固定加热块的角阀1的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且具备供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；固定加热块200，其固定安装于所述阀壳100的内侧，且在内部具备滑动孔210；驱动构件300，其能拆卸地结合于所述阀壳100上部，提供驱动力；密闭部400，其与所述驱动构件300连接，根据所述驱动构件300的驱动与否而开闭所述流入部110。另外，其特征在于，形成有热传递块410，所述热传递块410包括供所述固定加热块200进入的连接槽411，以便能够接受传递所述固定加热块200发生的热。另外，其特征在于，所述密闭部400形成有固定板420、波纹管430、密闭板440，所述固定板420由在上部沿水平方向延长形成的固定部421、在下部形成的底座部422及在所述底座部422的中央形成的插入孔423构成，所述波纹管430结合于所述底座部420下部，使在所述阀壳100内部形成的真空状态和大气压状态隔离，所述密闭板440具备沿内侧方向凹陷形成的结合槽441，以便所述热传递块410进入。另外，其特征在于，所述固定加热块200还包括在上部外周缘延长形成的放置部220，所述固定加热块200的放置部220放置于所述固定板420的底座部422，所述固定加热块200位于所述波纹管430内侧。另外，其特征在于，形成有连接所述驱动构件300和热传递块610的热传递杆450。有益效果根据本专利技术，把发热的固定加热块固定安装于波纹管内侧，从而即使驱动构件运转，固定加热块仍然保持固定状态，具有的优点是能够提高固定加热块的寿命及效率，减少部件更换的次数，能够防止连接于固定加热块的电线因驱动构件的运转而损伤。另外，把借助于驱动构件的驱动而上下移动的热传递块与整体发热的固定加热块连接，从而具有的优点是能够对阀壳及波纹管内部均匀地发挥热传递及辐射作用。附图说明图1是显示本专利技术优选实施例的具备固定加热块的角阀的整体样子的立体图。图2是显示本专利技术优选实施例的具备固定加热块的角阀的分解样子的分解立体图。图3是显示本专利技术优选实施例的具备固定加热块的角阀的分解样子的分解剖面图。图4是显示本专利技术优选实施例的具备固定加热块的角阀的剖面的剖面图。图5是显示本专利技术优选实施例的具备固定加热块的角阀的运转状态的状态图。具体实施方式下面以附图为参照，详细本专利技术一个实施例的具备固定加热块的角阀1。首先应注意的是，在附图中，相同的构成要素或部件尽可能以相同的参照符号代表。在说明本专利技术方面，为了不模糊本专利技术的要素，省略对相关公知功能或构成的具体说明。本专利技术如图2所示，大致由阀壳100和固定加热块200、驱动构件300及密闭部400构成。首先，对阀壳100进行说明。所述阀壳100如图1或图2所示，作为发挥能够使流体从真空泵(图中未示出)向腔(图中未示出)移动的通路作用的构成要素，优选形成有供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120。另外，在所述阀壳100内侧，如图3或图4所示由空间形成，可以供后述的固定加热块200等本专利技术的构成要素插入安装，形成有供流体移动的流体移动孔101。另一方面，在所述阀壳100的上部，如图1或图2所示，优选具备形成得所述阀壳100与后述驱动构件300紧密连接的第一结合架130。另外，在本专利技术中，所述第一结合架130如图2或图3所示，在中央形成有通孔131，在所述通孔131的上部内周缘形成有“L”形状的固定棱132，能够与后述的固定板420连接。下面对固定加热块200进行说明。所述固定加热块200作为如图2或图4所示固定安装于所述阀壳100内侧的构成要素，发挥加热所述阀壳100内侧而去除在所述阀壳100内侧生成的微粒的作用。另一方面，在所述固定加热块200的上部外周缘，如图2或图3所示，形成有向外侧延长的放置部220，从而所述固定加热块2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.16 KR 10-2014-01224901.一种具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。2.根据权利要求1所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，所述密闭部(400)形成有热传递块(410)，所述热传递块(410)包括供所述固定加热块(200)进入的连接槽(411)，以便能够接受传递所述固定加热块(200)发生的热。3.根据权利要求2所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：金培镇，金潒鍲，
申请(专利权)人：普利西斯株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR