The invention discloses a method for recovering Si by hydrolysis of chlorine silane residue, which belongs to the technical field of the treatment and the utilization of the waste residue of the trichlorosilane. The invention of the chlorosilane residue into sulfuric acid and sulfuric acid leaching column, eluent mixed into the mixing reactor hydrolysis, chlorosilane hydrolysis reaction generated by gas phase components including H2, HCl and part of the water vapor entrained through the exhaust pipe to return sulfuric acid leaching tower, hydrolysis and absorption elution again in gas phase vapor generated H2 HCl, the alkali absorption after discharge; liquid suspension pump static liquid scraper trough, wherein SiO2 floating in the upper layer by upper scraper scraping SiO2 dross, and sent to the washing, dewatering and drying system; hydrostatic scraper groove bottom pump into the liquid sulfuric acid containing a small amount of salt acid sulfuric acid storage tank, the water after sulfuric acid the rinsing tower leacheate again. The invention realizes the effective treatment of the residual chlorine silane solution, and the recovery of the Si element in the chlorine residual liquid of the SiO2 is 98.6%.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种水解氯硅烷残液回收Si的方法,属于氯硅烷残液处理并资源化利用的
技术介绍
随着电子工业和光伏产业的发展,多晶硅作为信息产业和太阳能光伏发电产业的基础原材料,也得到了飞速的发展。由于国外技术封锁,国内多晶硅生产主体工艺虽然也采用改良西门子法,但国内多晶硅产业化生产技术设施落后,无法实现完全的闭环生产。在多晶硅产业迅猛发展的同时,造成的环境问题也日益凸显。多晶硅产业排放污染物主要有氯硅烷残液、氯硅烷废气、含硅残渣、含氯残渣等。其中氯硅烷残液作为多晶硅生产中的副产物,由于其成分复杂,含SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2、HCl、Si2Cl6、Si2HCl5、Si2H2Cl4、Si2Cl6O、Si3Cl6、Si4Cl10等,难以被回收利用,对氯化硅残液进行科学、有效的回收处理已经成为多晶硅产业发展的瓶颈。目前国内多晶硅产业氯硅烷残液处理大部分采用碱液吸收,主要是因为其投资较少,操作简单,也能将氯硅烷残液进行无害化处理,但其产生的硅酸盐无法回收利用,造成资源的浪费,甚至二次污染。此类碱液吸收工艺是将氯硅烷残液以喷雾或喷液的形式排进碱液淋洗塔或碱液反应釜,残液通过充分的与碱液接触,发生水解反应而中和,其最终的生成物为NaCl溶液、SiO2、H2SiO3及硅酸聚合物等,反应后的混合液通过压滤机进行简单的过滤得到含硅渣,无法外售和回用,过滤后的含NaCl溶液通过蒸发结晶得到NaCl。公开号为CN104163534A的专利《处理氯硅烷废液的方法和系统》提出了一种氯硅烷残液的蒸发、冷凝、中和处理为一体的方法,该方法和系统指出:将氯硅烷残液进 ...
【技术保护点】
一种水解氯硅烷残液回收Si的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)经沉淀、过滤预处理后的残液送入残液储罐(1)通过残液计量泵将残液泵入硫酸淋洗塔(8),与硫酸淋洗液混合进入混合搅拌反应釜(2),经充分水解释放出的H2、HCl及部分水汽夹带的氯硅烷成分通过排气管返回硫酸淋洗塔(8);(2)混合搅拌反应釜(2)中水解生成SiO2渣液混合物利用渣浆泵打入一级静液刮板槽(3)中静置分层,刮板机刮出上浮的SiO2,送入洗涤系统(5),一级静液刮板槽(3)的底部与二级静液刮板槽(4)连通,使含少量悬浮SiO2的硫酸溶液流入二级静液刮板槽(4),进一步利用硫酸吸水性,使SiO2上浮,利用刮板机刮出SiO2浮渣,并送入洗涤系统(5);(3)一级静液刮板槽(3)与二级静液刮板槽(4)中释放出HCl及部分水汽通过排气管返回到硫酸淋洗塔(8)中淋洗脱水;(4)SiO2浮渣先在洗涤系统(5)用洗涤水洗涤,然后经脱水系统(6)脱水,最后送入干燥系统(7)进行干燥产出SiO2成品,洗涤水回用做硫酸淋洗液补水;(5)二级静液刮板槽(4)中的硫酸溶液返回到硫酸储罐(11)中,硫酸溶液存储在硫酸储罐(11)中,泵入硫酸 ...
【技术特征摘要】
1.一种水解氯硅烷残液回收Si的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)经沉淀、过滤预处理后的残液送入残液储罐(1)通过残液计量泵将残液泵入硫酸淋洗塔(8),与硫酸淋洗液混合进入混合搅拌反应釜(2),经充分水解释放出的H2、HCl及部分水汽夹带的氯硅烷成分通过排气管返回硫酸淋洗塔(8);(2)混合搅拌反应釜(2)中水解生成SiO2渣液混合物利用渣浆泵打入一级静液刮板槽(3)中静置分层,刮板机刮出上浮的SiO2,送入洗涤系统(5),一级静液刮板槽(3)的底部与二级静液刮板槽(4)连通,使含少量悬浮SiO2的硫酸溶液流入二级静液刮板槽(4),进一步利用硫酸吸水性,使SiO2上浮,利用刮板机刮出SiO2浮渣,并送入洗涤系统(5);(3)一级静液刮板槽(3)与二级静液刮板槽(4)中释放出HCl及部分水汽通过排气管返回到硫酸淋洗塔(8)中淋洗脱水;(4)SiO2浮渣先在洗涤系统(5)用洗涤水洗涤,然后经脱水系统(6)脱水,最后送...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈樑,赵义,黄兵,董森林,李银光,徐卜刚,蔡吉祥,高瑞红,
申请(专利权)人:昆明理工大学,
类型:发明
国别省市:云南;53
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