TFT玻璃表面预处理液制造技术

TFT玻璃表面预处理液，由以下组分组成：质量百分比含量10‑15％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2～4％的羊毛脂聚氧乙烯醚，质量百分比含量1～2％的月桂酸单甘油酯、质量百分比8‑10％的聚乙二醇6000及余量的水。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于液晶显示屏玻璃基板蚀刻预处理的组合物。
技术介绍
在超薄TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)液晶显示屏的生产中，需要对完成了封装的玻璃基板(简称TFT玻璃)进行薄化处理，现有技术中一般采用的氢氟酸蚀刻进行薄化，因玻璃基板表面在生产时不可避免的局部缺陷，在薄化处理时往往产生局部过蚀凹坑，需要再进行长时间的抛光处理，严重的甚至导致完成封装的整个玻璃基板报废。为了减少薄化处理出现的凹坑，提高薄化处理工序后的良品率，需要在薄化处理前对液晶屏的玻璃基板进行预处理，现有预处理工艺以浓硫酸为基础加入少量的氢氟酸、盐酸酸配制成预处理液，由于加入了大量的浓硫酸，预处理工序后产生的废液难于进行处理。因此提供一种新的液晶显示屏玻璃基板薄化预处理用产品，在提高处理效果的基础上降低污染排放，成为现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决前述技术问题，本专利技术提供了TFT玻璃表面预处理液及其处理工艺，通过优化处方和处理工艺，成功的实现了避免了浓硫酸等造成严重污染且难于处理的原材料的使用。本专利技术提供了TFT玻璃表面预处理液，其特征在于所述预处理液由以下组分组成：质量百分比含量10-15％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2～4％的羊毛脂聚氧乙烯醚，质量百分比含量1～2％的月桂酸单甘油酯、质量百分比8-10％的聚乙二醇6000及余量的水。所述的TFT玻璃表面预处理液，其特征在于以如下方法配制，1)将处方量盐酸、氢氟酸混合，并加入适量水稀释，2)将处方量聚乙二醇溶于适量水后加入处方量的月桂酸单甘油酯和羊毛脂聚氧乙烯醚；3)将步骤1)得到的混合液缓慢加入步骤2)的混合液中，补足余量的水后搅拌至混合均匀。在研究中我们意外的发现，本专利技术提供的预处理液，在向混合酸液中加入聚乙二醇、月桂酸单甘油酯和羊毛脂聚氧乙烯醚后，可以用于对TFT玻璃进行薄化工艺前的表面预处理，并可以显著降低后续的氢氟酸蚀刻薄化工艺后基板表面的凹坑，从而在保证了预处理效果的同时，避免了现有技术中采用浓硫酸为主要成分的预处理剂在使用时的不安全性和废液难于处理的问题。本专利技术提供的预处理液对玻璃基板的CF面和TFT面均有良好的预处理效果。且进一步研究发现，本专利技术采用的预处理工艺，优选了温度范围与温度变化程序。与本专利技术的表面预处理液配合能够产生良好的预处理效果。。具体实施方式本专利技术提供的用于TFT玻璃表面预处理液，以如下方法配制，1)将处方量盐酸、氢氟酸混合，并加入适量水稀释，2)将处方量聚乙二醇溶于适量水后加入处方量的月桂酸单甘油酯和羊毛脂聚氧乙烯醚；3)将步骤1)得到的混合液缓慢加入步骤2)的混合液中，补足余量的水后搅拌至混合均匀。实施例1～4配方见下表(质量百分比wt％)对实施例1～4得到的预处理液进行薄化预处理的方法如下取用原材料为康宁公司生产的同批次的用于TFT显示屏的玻璃面板，其厚度为1.000mm，尺寸为730mm×920mm。所采用的蚀刻及抛光设备分别为东莞鸿村蚀刻机和湖南永创抛光机。先在CF面玻璃基板和TFT面玻璃基板四周间隙中渗透UV胶水，再用UV光照固化完成玻璃基板的封装，将封装完成的玻璃基板用于后续的预处理及薄化工序预处理方法为1)配制TFT玻璃表面预处理液1000L(以下简称预处理剂)2)将预处理剂打入蚀刻机酸槽并将预处理剂温度控制在30℃±2℃，把作为实验组样品的5片完成封装的玻璃基板(编号为I～V)浸泡在预处理剂中，去除玻璃表面双层20微米；然后将预处理剂温度升至50℃±2℃，继续浸泡至去除玻璃表面双层60微米，在预处理时对预处理剂进行鼓泡搅拌。3)：用清水洗净玻璃表面，在表面湿润的条件下再进入氢氟酸蚀刻液中，浓度为9mol/L，温度控制在30℃条件，薄化至0.5mm厚度。另取5片完成封装的玻璃基板(编号i～v)清水清洗后直接进入氢氟酸蚀刻液中浓度为9mol/L，温度控制在30℃条件，薄化至0.5mm厚度，并作为对照组在同一台永创抛光机1300-3#上，压力60g/cm2，下盘转速50，上盘转速40，研磨垫为环球LP-66型号，抛光粉为德乐士101型号，吸附垫为FUJIBOBPE211型号，实验组每研磨2分钟检验一次表面效果，对照组每研磨5分钟检验一次表明效果，记录研磨后检验没有凹坑的累计研磨时间如表1所示实验结果表明，采用本专利技术提供的预处理剂进行预处理后的玻璃基板在进行薄化工艺处理后可以显著减少面板上的凹坑。本文档来自技高网...

【技术保护点】
TFT玻璃表面预处理液，其特征在于所述预处理液由以下组分组成：质量百分比含量10‑15％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2～4％的羊毛脂聚氧乙烯醚，质量百分比含量1～2％的月桂酸单甘油酯、质量百分比8‑10％的聚乙二醇6000及余量的水。

【技术特征摘要】
1.TFT玻璃表面预处理液，其特征在于所述预处理液由以下组分组成：质量百分比含量10-15％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2～4％的羊毛脂聚氧乙烯醚，质量百分比含量1～2％的月桂酸单甘油酯、质量百分比8-10％的聚乙二醇6000及余量的水...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞绮琪，
申请(专利权)人：庞绮琪，
类型：发明
国别省市：广东;44