一种光斑位置探测器制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探测光斑中心位置的装置。更具体地，涉及一种光斑位置探测器。
技术介绍
象限探测器是一种常用的光斑位置跟踪探测器，在空间卫星光通信ATP技术、现代原子力显微镜的悬臂位置探测、激光准直、激光自动跟踪、激光制导中广泛地采用象限探测器对目标的方位信息进行探测，实现对目标的定位跟踪。象限探测器的基本原理是光电效应，利用半导体材料吸收光子能量引起的电子跃迁，将光信号转换为电信号，通常是利用集成光路光刻技术将完整的光电传感器的光敏面分割成几个具有相同形状和面积、位置对称的区域，每个区域可以看作一个独立的光电探测器，其背面仍为一整片，理想情况下，每个区域都具有完全相同的性能参量。以常用的四象限探测器为例，如图1(a)所示，四象限探测器光敏面有A、B、C、D四个部分，当目标光斑落在光敏面的不同位置时，每个象限根据各自接收到的光信号，分别独立输出不同幅度的电信号。假设目标光斑几何形状对称、能量分布均匀，当其照射到探测器中心时,各个象限由于光辐射量相同，输出相等的光电流。当目标光斑相对探测器中心产生偏移，如图1(b)所示，四个象限由于光辐射量不同而产生不同的光电流，通过对光电流的偏差处理即可推知目标光斑相对四象限探测器中心的偏移,从而对目标光斑中心进行定位。象限探测器的光敏元件通过光刻工艺分成若干独立的象限单元，象限单元之间的缝隙通常小于100um，其加工工艺复杂，造价较高。因此，需要提供一种基于象限探测原理的光斑位置探测器，不需要通过光刻工艺等复杂加工方法制成，同时可以实现目标光斑的定位跟踪。
技术实现思路
本专利技术要解决的一个技术问题是提供一种光斑位置探测器，...
【技术保护点】
一种光斑位置探测器，其特征在于，所述探测器包括：多个光电性能一致的光电传感器，处于同一平面且相互之间存在缝隙；和光散射膜，平行于所述多个光电传感器构成的平面且与所述平面隔开；所述光散射膜的面积大于所述平面。
【技术特征摘要】
1.一种光斑位置探测器，其特征在于，所述探测器包括：多个光电性能一致的光电传感器，处于同一平面且相互之间存在缝隙；和光散射膜，平行于所述多个光电传感器构成的平面且与所述平面隔开；所述光散射膜的面积大于所述平面。2.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述光散射膜用于将光斑散射至所述多个光电传感器的接收面上。3.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述光电传感器用于将所述光散射膜散射的光信号转换为电信号。4.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述探测器进一步包括与所述多个光电传感器连接的电信号处理模块，用于处理所述多个光电传感器传递的输出电压，得到光斑的位置。5.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述多个光电传感器间的缝隙的宽度在1mm以内。6.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述多个光电传感器为对称排列的偶数个光电传感器。7.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵环，王宏博，王暖让，张升康，杨仁福，
申请(专利权)人：北京无线电计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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