一种用于扩散工序的源瓶制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。

Source bottle for diffusion process

The utility model provides a source bottle for a diffusion process, which can make full use of the three oxychloride in the bottle and save the production cost. It comprises a bottle body, just above the bottom of the bottle body is provided with a gas baffle plate, the baffle plate is parallel to the bottom plate arranged in an inner chamber of the horizontal gas baffle plate covering the bottle, and the upper part of the cavity, the bottom cavity cavity into independent, the top of the bottle body is provided with an air inlet pipe and outlet pipe, the inlet pipe penetrates to the bottom from top to bottom in the cavity, the gas baffle plate away from the end of the air inlet pipe is provided with at least one vent hole, the gas baffle plate end plate distance is less than 0.5mm.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池的
，具体为一种用于扩散工序的源瓶。
技术介绍
目前，P型晶体硅太阳能电池制造的扩散工序中，需要用三氯氧磷作为扩散源。三氯氧磷在常温下为液态，需存储在源瓶中。扩散时，源瓶放置在20度的恒温水箱中，通过载气将挥发的三氯氧磷气体带入扩散炉中。源瓶的结构如图1所示，包括玻璃瓶体、进气管和出气管，进气管与外围气体相连，出气管通入扩散炉中。由于源瓶内液体量的多少，影响到输出的载气中三氯氧磷的含量，从而影响到扩散。当源瓶内液位高度低于1cm时，输出的载气中三氯氧磷量已稀少，此时，需要将源瓶退还厂家，购买一瓶新的磷源。而源瓶内剩余的1cm高的三氯氧磷相当于浪费掉了，这无疑增加了生产成本。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。其进一步特征在于：所述进气管、出气管均垂直向布置，所述进气管、出气管分别位于所述瓶体的两侧布置；所述透气孔位于所述出气管的正下方位置，确保扩散的顺畅进行；所述进气管的下端下凸于所述透气板的下端面，所述进气管的下端和所述底板间留有间距，确保通入源瓶的气体通过进气管流入源瓶的底部、并通过透气孔扩散至源瓶的空间内。采用本技术后，源瓶内三氯氧磷量高于挡气板高度时，均可以充分鼓泡，使输出的载气中有较高的三氯氧磷含量，且位于挡气板高度以下的相当大部分三氯氧磷也可以被载气输出源瓶，其可以充分利用源瓶内的三氯氧磷，节约成本。附图说明图1为现有的源瓶结构示意图；图2为本技术的结构示意图一；图3为本技术的结构示意图二；图中各序号所对应的标注名称如下：瓶体1、底板2、挡气板3、上部腔体4、底部腔体5、进气管6、出气管7、透气孔8、三氯氧磷溶液9。具体实施方式一种用于扩散工序的源瓶，见图2、图3：其包括瓶体1，瓶体1的底板2正上方设置有一块挡气板3，挡气板3平行于底板2布置，挡气板3横向覆盖瓶体1的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体4、底部腔体5，瓶体1的顶部设置有进气管6、出气管7，进气管6自上而下贯穿至底部腔体5内，挡气板3远离进气管6的一端设置有至少一个透气孔8，挡气板3到底板2的距离小于0.5mm。进气管6、出气管7均垂直向布置，进气管6、出气管7分别位于瓶体1的两侧布置；透气孔8位于出气管7的正下方位置，确保扩散的顺畅进行；进气管6的下端下凸于透气板3的下端面，进气管6的下端和底板2间留有间距，确保通入源瓶的气体通过进气管6流入源瓶的底部、并通过透气孔8扩散至源瓶的空间内；图中阴影面域内为三氯氧磷溶液9。具体实施例一，见图2：透气孔8的数量为一个。具体实施例二，见图3：透气孔8的数量为两个。其工作原理如下：挡气板3到底板2的距离可以做到微米量级，源瓶内三氯氧磷量高于挡气板3高度时，均可以充分鼓泡，使输出的载气中有较高的三氯氧磷含量，且位于挡气板3高度以下的相当大部分三氯氧磷也可以被载气输出源瓶。以上对本技术的具体实施例进行了详细说明，但内容仅为本技术创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术创造的实施范围。凡依本技术创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。2.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱军辉，缪乾，王雪亮，程芳，陆佳，罗茂盛，张俊鹏，
申请(专利权)人：江阴鑫辉太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32