The utility model discloses a polishing machine, polishing machine includes a frame, frame includes a plate installed on the platform and, above the mounting plate positioned platform; polishing, polishing disc is mounted on the mounting platform; translation drive device, shift driving device is installed on the upper mounting plate; suspension assembly, translation driving device for driving a suspension assembly shift, suspension assembly part toward the mounting platform to extend; polishing drive assembly, polishing driving assembly and a suspension assembly extending part is connected and is located above the polishing disc. By setting the frame and suspension components on the mounting plate, can cancel the cantilever, which can guarantee the reliability of the drive assembly translational polishing, which can guarantee the quality of polishing, and polishing can increase the driving component on the polishing disc trip, this makes the swing stroke of polishing head covering polishing polishing pad on the disc center, can improve the rate of using the polishing pad.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种抛光机。
技术介绍
在化学机械抛光机中,驱动抛光驱动组件平移运动的导轨和平移驱动装置一般安装在悬臂结构上,这样导致抛光机具有以下问题:1、悬臂结构末端变形较大,导轨与抛光盘表面存在较大平行度误差,抛光头在抛光盘上方平移时存在高度方向变化,导致抛光头对晶圆加载压力存在变化,影响抛光质量;2、悬臂长度较短,导致抛光头驱动组件在抛光盘上方行程短,不利于抛光头摆动行程覆盖抛光垫中心,造成抛光垫浪费,同时抛光头离机台正面距离远,不便于抛光驱动组件的维护和抛光头的更换;3、悬臂结构在抛光盘上方,不利于抛光盘元件更换。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本技术提出一种抛光机,该抛光机可以取消悬臂,从而可以保证抛光头的平移可靠性,可以有利于保证抛光质量。根据本技术的抛光机,包括:框架,所述框架包括安装平台和上安装板,所述上安装板位于所述安装平台的上方;抛光盘,所述抛光盘安装在所述安装平台上;平移驱动装置,所述平移驱动装置安装在所述上安装板上;悬挂组件,所述平移驱动装置适于驱动所述悬挂组件平移,所述悬挂组件的一部分朝向所述安装平台伸出;抛光驱动组件,所述抛光驱动组件与所述悬挂组件的伸出部分相连且位于所述抛光盘的上方。根据本技术的抛光机,通过设置框架的上安装板和悬挂组件,可以取消悬臂,这样可以保证抛光驱动组件的平移可靠性,可以保证抛光质量,以及可以增加抛光驱动组件在抛光盘上的行程,而且不仅可以使得抛光头的摆动行程覆盖抛光盘上的抛光垫的中心,可以提高抛光垫的利用率,同时还可以使得抛光头靠近抛光机外部,有利于抛光驱动组件的维护和抛 ...
【技术保护点】
一种抛光机,其特征在于,包括:框架,所述框架包括安装平台和上安装板,所述上安装板位于所述安装平台的上方;抛光盘,所述抛光盘安装在所述安装平台上;平移驱动装置,所述平移驱动装置安装在所述上安装板上;悬挂组件,所述平移驱动装置适于驱动所述悬挂组件平移,所述悬挂组件的一部分朝向所述安装平台伸出;抛光驱动组件,所述抛光驱动组件与所述悬挂组件的伸出部分相连且位于所述抛光盘的上方。
【技术特征摘要】
1.一种抛光机,其特征在于,包括:框架,所述框架包括安装平台和上安装板,所述上安装板位于所述安装平台的上方;抛光盘,所述抛光盘安装在所述安装平台上;平移驱动装置,所述平移驱动装置安装在所述上安装板上;悬挂组件,所述平移驱动装置适于驱动所述悬挂组件平移,所述悬挂组件的一部分朝向所述安装平台伸出;抛光驱动组件,所述抛光驱动组件与所述悬挂组件的伸出部分相连且位于所述抛光盘的上方。2.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,还包括:装卸平台和导轨,所述装卸平台安装在所述安装平台上且位于所述抛光盘的一侧,所述导轨安装在所述上安装板上,所述悬挂组件可移动地配合在所述导轨上,所述导轨的延伸方向与所述抛光盘和所述装卸平台的中心连线方向相同。3.根据权利要求2所述的抛光机,其特征在于,所述悬挂组件包括:水平板和连接在所述水平板两端的竖直板,所述平移驱动装置驱动所述水平板平移,所述水平板配合在所述导轨上,所述竖直板朝向所述抛光盘伸出,所述抛光驱动组件安装在两个所述竖直板的自由端上。4.根据权利要求3所述的抛光机,其特征在于,所述抛光驱动组件包括:抛光头;基座,所述基座连接在所述抛光头的上方,所述基座与所述两个...
【专利技术属性】
技术研发人员:许振杰,陈祥玉,庞伶伶,王剑,王同庆,李昆,路新春,
申请(专利权)人:天津华海清科机电科技有限公司,清华大学,
类型:新型
国别省市:天津;12
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