一种抛光盘水冷结构制造技术

技术编号:15185324 阅读:315 留言:0更新日期:2017-04-17 17:32
一种抛光盘水冷结构,其特征在于:包括:型腔,设于所述抛光盘内;所述型腔设有两个水冷区域;进水口(10),用于导入冷却水;出水口(11),用于将使用后的所述冷却水导出;导流管(3),一端插在所述进水口内,用于将冷却水引至所述水冷区域内距所述出水口的最远端。本实用新型专利技术减少了分割筋的使用,扩大了冷却水的容量,冷却效果更好,同时避免冷却水走捷径,确保冷却水在水冷盘腔体内走过的路径最长,进一步提高了冷却效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及抛光盘的温度控制,具体涉及一种抛光盘的水冷结构。
技术介绍
抛光机可用于硅片、蓝宝石片、陶瓷片等硬脆材料平行平面零件的高精度加工。抛光机在加工过程中工件与抛盘工作面之间因机械摩擦和化学反应会产生热量,抛盘表面温度会随着加工的进行逐步升温,抛盘工作面的温度与背面的温度差逐步加大,导致盘面发生变形进而影响工件的加工品质。因此必须严格控制抛光盘的温度。现有技术中存在一种用于抛光盘的水冷结构,如中国专利CN101966695B,其将型腔通过分割筋分为10个水冷区域,并在每个水冷区域内均设有进水口及出水口。然而,该种水冷结构采用的分割筋较多,过多分割筋的分布大大减小了腔体的容积,能容纳的冷却水也相应减少,削弱了冷却效果;每个区域分别设有进出水口,由于结构限制,冷却水流量有限,过多的分支会导致有部分流路水量很少甚至无水,导致盘面各处冷却效果存在巨大差异;同时,该种水冷结构冷却水路径不长,水冷效果不佳。
技术实现思路
因此,本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中抛光盘冷却水容量较小且冷却效果不佳的技术问题,从而提供一种抛光盘水冷结构。一种抛光盘水冷结构,包括:型腔,设于抛光盘内;型腔设有两个水冷区域;进水口,用于导入冷却水;出水口,用于将使用后的冷却水导出;导流管,一端插在进水口内,用于将冷却水引至水冷区域内距出水口的最远端。抛光盘采用复合结构,由水冷盘和工作盘组成,水冷盘及工作盘通过固定件固定;抛光盘水冷结构设于水冷盘内。固定件为螺钉。每个水冷区域均设有进水口及出水口,进水口设有第一管接头用于连接进水管道,出水口装有第二管接头用于连接出水管。水冷盘的边缘装有堵头。导流管设于型腔内部,型腔内还设有固定导流管的管卡。水冷盘的内圈及外圈分别设有第一密封圈及第二密封圈。出水口高于水冷盘与工作盘的结合面,只有冷却水充满腔体后才能流出。水冷盘及工作盘均为平板结构。本技术相对于现有技术具有以下优点:1.水冷区域设定为两个,减少了分割筋的使用,扩大了冷却水的容量,冷却效果更好。2、导流管的使用避免了冷却水走捷径,确保冷却水在水冷盘腔体内走过的路径最长,冷却效果最佳。3、水冷盘出水口处设有出水管,且高于水冷盘与工作盘的结合面,只有冷却水充满腔体后才能流出,确保了冷却效果,结构简单易实现。4、水冷盘和工作盘均为平板结构,组合后可再加工下安装面和上工作面,确保组合后必要的精度。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种抛盘水冷结构的俯视图;图2为本技术的一种抛盘水冷结构进水端局部图;图3为本技术的一种抛盘水冷结构出水端局部图;附图标记说明:1、水冷盘;2、第一密封圈;3、导流管;4、关卡;5、第二密封圈;6、工作盘;7、管接头;8、堵头;9、出水管;10、进水口;11、出水口。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外,下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。一种抛光盘水冷结构,包括:型腔,设于抛光盘内;型腔设有两个水冷区域;进水口10,用于导入冷却水;出水口11,用于将使用后的冷却水导出;导流管3,一端插在进水口内,用于将冷却水引至水冷区域内距出水口的最远端。抛光盘采用复合结构,由水冷盘1和工作盘6组成,水冷盘1及工作盘6通过固定件固定;水冷结构设于水冷盘内。固定件可为任何形式的固定部件,本实施方式优选为螺钉。每个水冷区域均设有进水口10及出水口11,进水口10及出水口11均装有管接头用于连接管道。水冷盘的边缘装有堵头8。导流管设于型腔内部,型腔内还设有固定导流管的管卡4。水冷盘的内圈及外圈分别设有第一密封圈2及第二密封圈5。出水口高于水冷盘与工作盘的结合面,只有冷却水充满腔体后才能流出。水冷盘及工作盘均为平板结构。显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术创造的保护范围之中。本文档来自技高网...
一种抛光盘水冷结构

【技术保护点】
一种抛光盘水冷结构,其特征在于:包括:型腔,设于抛光盘内;所述型腔设有两个水冷区域;进水口(10),用于导入冷却水;出水口(11),用于将使用后的所述冷却水导出;导流管(3),一端插在所述进水口内,用于将冷却水引至所述水冷区域内距所述出水口的最远端。

【技术特征摘要】
1.一种抛光盘水冷结构,其特征在于:包括:型腔,设于抛光盘内;所述型腔设有两个水冷区域;进水口(10),用于导入冷却水;出水口(11),用于将使用后的所述冷却水导出;导流管(3),一端插在所述进水口内,用于将冷却水引至所述水冷区域内距所述出水口的最远端。2.根据权利要求1所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:所述抛光盘采用复合结构,由水冷盘(1)和工作盘(6)组成,所述水冷盘及工作盘通过固定件固定;所述抛光盘水冷结构设于所述水冷盘内。3.根据权利要求2所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:所述固定件为螺钉。4.根据权利要求1或2所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:每个所述水冷区域均设有进水口(10)及出水口(11),所述进水口(10)设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:任明元张稳焕梁春刘文平
申请(专利权)人:无锡博宏精密机械制造有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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