【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抛光盘的温度控制,具体涉及一种抛光盘的水冷结构。
技术介绍
抛光机可用于硅片、蓝宝石片、陶瓷片等硬脆材料平行平面零件的高精度加工。抛光机在加工过程中工件与抛盘工作面之间因机械摩擦和化学反应会产生热量,抛盘表面温度会随着加工的进行逐步升温,抛盘工作面的温度与背面的温度差逐步加大,导致盘面发生变形进而影响工件的加工品质。因此必须严格控制抛光盘的温度。现有技术中存在一种用于抛光盘的水冷结构,如中国专利CN101966695B,其将型腔通过分割筋分为10个水冷区域,并在每个水冷区域内均设有进水口及出水口。然而,该种水冷结构采用的分割筋较多,过多分割筋的分布大大减小了腔体的容积,能容纳的冷却水也相应减少,削弱了冷却效果;每个区域分别设有进出水口,由于结构限制,冷却水流量有限,过多的分支会导致有部分流路水量很少甚至无水,导致盘面各处冷却效果存在巨大差异;同时,该种水冷结构冷却水路径不长,水冷效果不佳。
技术实现思路
因此,本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中抛光盘冷却水容量较小且冷却效果不佳的技术问题,从而提供一种抛光盘水冷结构。一种抛光盘水冷结构,包括:型腔,设于抛光盘内;型腔设有两个水冷区域;进水口,用于导入冷却水;出水口,用于将使用后的冷却水导出;导流管,一端插在进水口内,用于将冷却水引至水冷区域内距出水口的最远端。抛光盘采用复合结构,由水冷盘和工作盘组成,水冷盘及工作盘通过固定件固定;抛光盘水冷结构设于水冷盘内。固定件为螺钉。每个水冷区域均设有进水口及出水口,进水口设有第一管接头用于连接进水管道,出水口装有第二管接头用于连接出水管。水冷盘的边缘装有堵头 ...
【技术保护点】
一种抛光盘水冷结构,其特征在于:包括:型腔,设于抛光盘内;所述型腔设有两个水冷区域;进水口(10),用于导入冷却水;出水口(11),用于将使用后的所述冷却水导出;导流管(3),一端插在所述进水口内,用于将冷却水引至所述水冷区域内距所述出水口的最远端。
【技术特征摘要】
1.一种抛光盘水冷结构,其特征在于:包括:型腔,设于抛光盘内;所述型腔设有两个水冷区域;进水口(10),用于导入冷却水;出水口(11),用于将使用后的所述冷却水导出;导流管(3),一端插在所述进水口内,用于将冷却水引至所述水冷区域内距所述出水口的最远端。2.根据权利要求1所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:所述抛光盘采用复合结构,由水冷盘(1)和工作盘(6)组成,所述水冷盘及工作盘通过固定件固定;所述抛光盘水冷结构设于所述水冷盘内。3.根据权利要求2所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:所述固定件为螺钉。4.根据权利要求1或2所述的一种抛光盘水冷结构,其特征在于:每个所述水冷区域均设有进水口(10)及出水口(11),所述进水口(10)设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:任明元,张稳焕,梁春,刘文平,
申请(专利权)人:无锡博宏精密机械制造有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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