磁检测传感器以及磁计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供磁检测传感器，即使更换磁反应部也不用调整光路并能够简便地恢复检测磁的灵敏度。磁传感器(4)具备以与磁矢量(58)的强度对应的方式使通过的激光(43)的偏振光面旋转且具有被填充了气体的气体单元(53)的磁反应部(34)、将激光(43)引导至磁反应部(34)的导光部(38)、以及检测通过了磁反应部(34)的激光(43)的偏振光面的旋转角的光检测部(41)，导光部(38)与光检测部(41)的相对位置固定，磁反应部(34)相对于导光部(38)以及光检测部(41)以能够拆装的方式设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁检测传感器以及磁计测装置。
技术介绍
用于测定比地磁微小的心脏磁场、脑磁场等的生物体磁场计测装置正在被研究。生物体磁场计测装置为非侵入式，能够不对被检体施加负荷地计测脏器的状态。专利文献1公开了检测微小的磁场的磁测定装置。由此，本装置使用光泵式磁检测传感器。该磁检测传感器中在单元内装入有包含碱金属原子的气体。而且，向单元照射激光。此时单元内碱金属原子的磁力矩的方向一致。在磁作用于磁检测传感器时磁力矩产生旋进(歳差運動)。在使直线偏振光通过单元时，由于磁力矩的旋进，光的偏振光面旋转。而且，通过检测偏振光面的旋转角，由此计测作用于磁检测传感器的磁的强度。磁检测传感器中具备单元配置为矩阵状的磁反应部。而且，向各单元导入光的导光部与检测通过单元光的偏振光面的旋转角的光检测部重叠。专利文献1：日本特开2012-177585号公报密封于单元的气体随着时间的经过而漏出。由此，磁检测传感器的灵敏度降低。因此，在从将气体密封于单元开始经过规定的时间时，需要向单元再次填充气体。此时，在专利文献1的磁检测传感器中，将导光部、磁反应部以及光检测部分离。然后，向磁反应部的各单元再次填充气体。接下来，将导光部、磁反应部以及光检测部重叠组装。进行使导光部的光轴与光检测部的光轴一致的调整，并进行光轴的检查。在单元的数量变多的程度上使光轴一致的作业变得很难。因此，期望更换磁反应部而省去光路的调整并能够简便地恢复检测磁的灵敏度的磁检测传感器。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而完成的，能够通过以下的方式或者应用例来实现。应用例1本应用例的磁检测传感器的特征在于，具备：磁反应部，其与磁的强度对应地使在该磁反应部通过的光的偏振光面旋转，并且具有填充有气体的气体室；导光部，其将光引导至上述磁反应部；以及光检测部，其检测在上述磁反应部通过的光的偏振光面的旋转角，上述导光部与上述光检测部的相对位置固定，上述磁反应部相对于上述导光部以及上述光检测部以能够拆装的方式设置。根据本应用例，磁检测传感器具备导光部、磁反应部以及光检测部。导光部将光引导至磁反应部。磁反应部具有气体室，在气体室填充有与磁反应而使通过的光的偏振光面旋转的气体。而且，被导光部引导的光通过气体室。通过气体室的光与磁反应而偏振光面旋转。通过了气体室的光向光检测部输入。光检测部检测光的偏振光面的旋转角。光的偏振光面的旋转角与磁的强度对应。因此，能够根据光检测部的输出检测磁的强度。磁反应部相对于导光部以及光检测部以能够拆装的方式设置。被填充到气体室的气体会随着时间的经过而漏出。而且，经过了规定的时间时更换由此能够恢复检测磁的灵敏度。导光部与光检测部的相对位置固定。因此，即使磁反应部从导光部以及光检测部被取下并再次设置也不会改变从导光部朝向光检测部的光路。其结果是，即使更换磁反应部也能够省去光路的调整，所以能够简便地恢复检测磁的灵敏度。应用例2在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，具备将上述磁反应部收纳为能够拆装的收纳部。根据本应用例，磁检测传感器具备收纳部，收纳部将磁反应部收纳为能够拆装。收纳部确保配置磁反应部的空间。因此，在磁反应部被取下时，也能维持配置磁反应部的空间。其结果是，能够在与取下了磁反应部的位置相同的位置容易地设置磁反应部。应用例3在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，上述磁反应部具备多个上述气体室，上述光检测部具备多个接收光的受光元件，上述导光部将光引导至多个上述气体室，上述气体室与上述受光元件以同一间隔配置。根据本应用例，磁反应部具备多个气体室。并且，光检测部具备多个接收光的受光元件。导光部将光引导至多个气体室，所以光从多个气体室通过。而且，气体室与受光元件以同一间隔配置，所以能够使通过气体室的各光输入至受光元件。应用例4在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，以使从上述导光部向上述磁反应部行进的光轴与从上述磁反应部向上述光检测部行进的光轴位于同一直线上的方式配置上述导光部以及上述光检测部。根据本应用例，从导光部向磁反应部行进的光轴与从磁反应部向光检测部行进的光轴位于同一直线上。因此，能够使从导光部向磁反应部行进的光可靠地输入至光检测部。应用例5在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，在拆装上述磁反应部时上述磁反应部移动的方向即拆装方向与从上述导光部向上述光检测部行进的光轴正交。根据本应用例，拆装方向与从导光部向光检测部行进的光轴正交。因此，能够不改变导光部与光检测部的距离地使磁反应部沿拆装方向移动。应用例6在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，上述收纳部具备沿上述拆装方向引导上述磁反应部的引导部。根据本应用例，收纳部具备引导部，引导部沿拆装方向引导磁反应部。因此，能够使用引导部容易地使磁反应部沿拆装方向移动。应用例7在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，上述引导部沿上述拆装方向延伸，在与上述拆装方向正交的方向设置于上述磁反应部的两侧。根据本应用例，引导部在与拆装方向正交的方向设置于磁反应部的两侧。而且，引导部沿拆装方向延伸。因此，磁反应部在与拆装方向正交的方向的两侧被支承，所以磁反应部能够相对于导光部以及光检测部分离地被支承。其结果是，能够将磁反应部与导光部隔热，并将磁反应部与光检测部隔热。应用例8在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，上述磁反应部位于上述导光部与上述光检测部之间。根据本应用例，导光部、磁反应部、光检测部按该顺序排列。因此，3个部位沿光的行进方向排列配置，所以不需要控制光的行进的光学元件，因此使磁检测传感器成为生产性良好的构造。应用例9在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，具备将从上述导光部行进的光向上述光检测部反射的反射部，上述反射部、上述磁反应部、上述导光部、上述光检测部按该顺序设置。根据本应用例，导光部将光引导至磁反应部。而且，通过了磁反应部的光被反射部反射，并再次通过磁反应部。通过了磁反应部的光通过导光部并向光检测部输入。光在磁反应部根据磁的强度而使偏振光面旋转，光检测部检测偏振光面的旋转角。因此，磁检测传感器能够检测磁的强度。并且，光通过磁反应部2次，所以光受到2倍的磁的影响。因此，磁检测传感器能够以高的灵敏度检测磁。应用例10在上述应用例的磁检测传感器中，其特征在于，上述导光部包含输出直线偏振光的偏振光转换元件，上述气体包含碱金属，上述光检测部包含正交分离元件。根据本应用例，导光部包含输出直线偏振光的偏振光转换元件。因此，导光部向磁反应部输出直线偏振光。磁反应部被填充有包含碱金属的气体。因此，磁反应部能够以与磁的强度对应的方式使通过的光的偏振光面旋转。而且，光检测部包含正交分离元件，能够将光分为正交的2个方向的直线偏振光。因此，检测两个直线偏振光的光强度由此能够检测偏振光面的旋转角。偏振光面的旋转角与磁的强度对应，所以磁检测传感器能够检测磁的强度。应用例11本应用例的磁计测装置的特征在于，具备：检测从被检体出来的磁的磁检测传感器、和显示上述磁检测传感器所检测的磁的状态的显示部，上述磁检测传感器是权利要求1～10中任一项所述的磁检测传感器。根据本应用例，磁计测装置具备磁检测传感器以及显示部。磁检测传感器检测磁，显示部显示磁的状态。而且，磁检测传感器使用上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁检测传感器，其特征在于，具备：磁反应部，其与磁的强度对应地使在该磁反应部通过的光的偏振光面旋转，并具有填充有气体的气体室；导光部，其将光引导至所述磁反应部；以及光检测部，其检测在所述磁反应部通过的光的偏振光面的旋转角，所述导光部与所述光检测部的相对位置固定，所述磁反应部相对于所述导光部以及所述光检测部以能够拆装的方式设置。

【技术特征摘要】
2015.04.06 JP 2015-0774571.一种磁检测传感器，其特征在于，具备：磁反应部，其与磁的强度对应地使在该磁反应部通过的光的偏振光面旋转，并具有填充有气体的气体室；导光部，其将光引导至所述磁反应部；以及光检测部，其检测在所述磁反应部通过的光的偏振光面的旋转角，所述导光部与所述光检测部的相对位置固定，所述磁反应部相对于所述导光部以及所述光检测部以能够拆装的方式设置。2.根据权利要求1所述的磁检测传感器，其特征在于，具备将所述磁反应部收纳为能够拆装的收纳部。3.根据权利要求1或2所述的磁检测传感器，其特征在于，所述磁反应部具备多个所述气体室，所述光检测部具备多个接收光的受光元件，所述导光部将光引导至多个所述气体室，所述气体室与所述受光元件以同一间隔配置。4.根据权利要求1～3中任一项所述的磁检测传感器，其特征在于，所述导光部以及所述光检测部配置成：从所述导光部向所述磁反应部行进的光轴与从所述磁反应部向所述光检测部行进的光轴位于同一直线上。5.根据权利要求4所述的磁检测传感器，其特征在于，拆...

【专利技术属性】
技术研发人员：上野仁，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP