一种质量流量控制器的校准系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种MFC的校准系统及方法，该方法包括如下步骤：将待校准的所有MFC电压接头处全部引出至一集成控制器，由该集成控制器控制所有MFC的控制开关；该集成控制器逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并获取各颗MFC测得的电压值；将获得的各颗MFC测得的电压值分别与预设的设定值进行比较，根据比较结果控制对应MFC的控制开关，通过本发明专利技术，可有效地节省MFC的校准时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工艺控制
，特别是涉及一种MFC(质量流量控制器)的校准系统及方法。
技术介绍
半导体的生产工艺过程涉及气体与半导体基片的反应，气体的流量将对工艺结果产生重要影响。因此，为了使生产的半导体能够达到较高的良品率，必须对流入腔室气体的流量进行精确控制。特别是随着半导体工艺集成度的不断提高，对气体流量的误差要求也进一步提高。其中，质量流量控制器(MassFlowController，MFC)是一种用于对气体流量进行精确测量、控制的器件。在MFC的日常维护过程中，需要采用MFC校准流程检测MFC精确度是否下降，即对进入半导体工艺设备的腔室气体流量的精确度的测量计算，以探测MFC是否需要调整。也就是说，半导体设备基本上都会配备MFC(气体流量控制器)，来控制工艺气体流量，以满足工艺的要求，该部件每隔一段周期就需要校准，否则气体流量就会和设定值有偏差。现阶段MFC校准的通常做法是，量测MFC工作电压，如果高于一定的数值，就需要清零，实现校准，而这个过程，尤其是量测电压的步骤，需要很长时间，一台设备，以有十颗MFC为例，该机台MFC校准时间需要10个小时，费时费力。
技术实现思路
为克服上述现有技术存在的不足，本专利技术之目的在于提供一种MFC的校准系统及方法，其通过将所有MFC的电压接头处全部引出到集成控制器上，利用该控制器实现逐一控制每颗MFC,当需要校准某颗MFC时，利用控制器控制将该颗MFC的控制开关拨到”on”的状态以实现该颗MFC的电压测量，并于测得的电压值高于设定值时，由该控制器端控制将该颗MFC的控制开关拨到“Zero”端实现清零，有效地节省了MFC的校准时间。为达上述及其它目的，本专利技术提出一种MFC的校准系统，包括：N颗MFC，各颗MFC的电压接头全部接于集成控制器，并由该集成控制器控制各MFC的控制开关；集成控制器，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，获取各颗MFC测得的电压值，并根据获得的各颗MFC的电压值控制对应MFC的控制开关。进一步地，该集成控制器包括：电压值获取单元，用于获取各颗MFC测得的电压值；控制单元，逐一控制各颗MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并根据判断单元的判断结果控制MFC的控制开关；判断单元，将各颗MFC测得的电压值与预设的设定值进行比较，并将比较结果送至该控制单元。进一步地，当该判断单元的判断结果为某颗MFC测得的电压值大于预设的设定值时，该控制单元控制对应MFC的控制开关使该MFC由校准工作状态转换为清零状态。进一步地，该控制单元通过逐一控制将各颗MFC的控制开关拨到“ON”的状态以实现每颗MFC的电压测量。进一步地，该控制单元通过控制将对应MFC的控制开关拨到“Zero”的状态以实现使该MFC由校准工作状态转换为清零状态。进一步地，该系统还包括电脑端，该电脑端连接该集成控制器，以获取该集成控制器获得的各MFC测得的电压值，并予以显示。为达到上述目的，本专利技术还提供一种MFC的校准方法，包括如下步骤：步骤一，将待校准的所有MFC电压接头处全部引出至一集成控制器，由该集成控制器控制所有MFC的控制开关；步骤二，该集成控制器逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并获取各颗MFC测得的电压值；步骤三，将获得的各颗MFC测得的电压值分别与预设的设定值进行比较，根据比较结果控制对应MFC的控制开关。进一步地，于步骤三中，当获得的某颗MFC测得的电压值高于预设的设定值时，控制对应MFC的控制开关使该MFC处于清零状态。进一步地，于步骤二中，通过逐一控制将各颗MFC的控制开关拨到“ON”的状态以实现每颗MFC的电压测量。进一步地，于步骤三中，通过控制将对应MFC的控制开关拨到“Zero”的状态以实现使该MFC由校准工作状态转换为清零状态。与现有技术相比，本专利技术一种MFC的校准系统及方法通过将所有MFC的电压接头处全部引出到集成控制器上，利用该控制器实现逐一控制每颗MFC，当需要校准某颗MFC时，利用控制器控制将该颗MFC的控制开关拨到”on”的状态以实现该颗MFC的电压测量，并于测得的电压值高于设定值时，由该控制器端控制将该颗MFC的控制开关拨到“Zero”端实现清零，有效地节省了MFC的校准时间。附图说明图1为本专利技术一种MFC的校准系统的系统架构图；图2为本专利技术较佳实施例中集成控制器的结构示意图；图3为本专利技术一种MFC的校准方法的步骤流程图。具体实施方式以下通过特定的具体实例并结合附图说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本专利技术的其它优点与功效。本专利技术亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本专利技术的精神下进行各种修饰与变更。图1为本专利技术一种MFC的校准系统的系统架构图。如图1所示，本专利技术一种MFC的校准系统，包括：N个MFC1-MFCN以及集成控制器10。该N个MFC1-MFCN的电压接头全部接于集成控制器10，并由集成控制器10控制各MFC的控制开关；集成控制器10逐一控制各MFC，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，即集成控制器10逐一控制将各颗MFC的控制开关拨到“ON”的状态以实现每颗MFC的电压测量，并获取各颗MFC测得的电压值，并于获得的电压值高于预设的设定值时，控制对应MFC的控制开关使该MFC处于清零状态，使该颗MFC的校准结束，即，当集成控制器10获得的某颗MFC测得的电压值对于预设值时，控制该颗MFC的控制开关拨到“Zero”端实现清零，对该颗MFC的校准结束。图2为本专利技术较佳实施例中集成控制器的结构示意图。如图2所示，集成控制器10进一步包括：电压值获取单元101、控制单元102以及判断单元103，电压值获取单元101用于获取各MFC测得的电压值；控制单元102，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并根据判断单元103的判断结果控制MFC的控制开关以使MFC由校准工作状态转换为清零状态，具体地说，当判断单元103的判断结果为某颗MFC测得的电压值大于预设的设定值时，控制单元102则控制对应MFC的控制开关使该MFC由校准工作状态转换为清零状态，使该颗MFC的校准结束；判断单元103，将各MFC测得的电压值与预设的设定值进行比较，并将比较结果送至控制单元102。较佳地，本专利技术之MFC的校准系统还包括电脑端20，该电脑端20具有显示装置，与集成控制器10连接，以获取集成控制器10获得的各MFC测得的电压值，并予以显示。图3为本专利技术一种MFC的校准方法的步骤流程图。如图3所示，本专利技术一种MFC的校准方法，包括如下步骤：步骤301，将待校准的所有MFC电压接头处全部引出至一集成控制器，并由该集成控制器控制所有MFC的控制开关。步骤302，该集成控制器逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并获取各颗MFC测得的电压值。即由该集成控制器逐一控制将各颗MFC的控制开关拨到“ON”的状态以实现每颗MFC的电压测量，并获取各颗MFC测得的电压值。步骤303，将获得的各颗MFC测得的电压值分别与预设的设定值进行比较，根据比较结果控制对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MFC的校准系统，包括：N颗MFC，各颗MFC的电压接头全部接于集成控制器，并由该集成控制器控制各MFC的控制开关；集成控制器，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，获取各颗MFC测得的电压值，并根据获得的各颗MFC的电压值控制对应MFC的控制开关。

【技术特征摘要】
1.一种MFC的校准系统，包括：N颗MFC，各颗MFC的电压接头全部接于集成控制器，并由该集成控制器控制各MFC的控制开关；集成控制器，逐一控制各MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，获取各颗MFC测得的电压值，并根据获得的各颗MFC的电压值控制对应MFC的控制开关。2.如权利要求1所述的一种MFC的校准系统，其特征在于，该集成控制器包括：电压值获取单元，用于获取各颗MFC测得的电压值；控制单元，逐一控制各颗MFC的控制开关以使各MFC逐一处于校准工作状态，并根据判断单元的判断结果控制MFC的控制开关；判断单元，将各颗MFC测得的电压值与预设的设定值进行比较，并将比较结果送至该控制单元。3.如权利要求2所述的一种MFC的校准系统，其特征在于：当该判断单元的判断结果为某颗MFC测得的电压值大于预设的设定值时，该控制单元控制对应MFC的控制开关使该MFC由校准工作状态转换为清零状态。4.如权利要求3所述的一种MFC的校准系统，其特征在于：该控制单元通过逐一控制将各颗MFC的控制开关拨到“ON”的状态以实现每颗MFC的电压测量。5.如权利要求3所述的一种MFC的校准系统，其特征在于：该控制单元通过控制将对应MFC的控制开关拨到“Ze...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，文强，黄彪，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31