【技术实现步骤摘要】
本技术涉及传感器
,具体涉及一种单晶硅谐振式密度传感器。
技术介绍
密度是液体的重要物理特性之一,液体密度的测量在食品制造、石油化工以及航空航天等领域有着非常重要的意义。谐振式传感器可实现在线连续测量,具有稳定性好、分辨率高、测量精度高、易实现数字化远距离传输等优越的性能,成为当今人们研究的热点。根据谐振子的形状,谐振式传感器可以分为振筒式、振弦式、薄板式、音叉式、U型管式、双管式、单管式等。国内研究的谐振式液体密度计的形式主要有振动管式、振动膜式和振动筒式。目前国内已有不少科研人员在研究用谐振式原理测量液体密度,但大多处于研发阶段,还没有达到成品化。
技术实现思路
针对以上问题,本技术提供了一种单晶硅谐振式密度传感器,利用单晶硅谐振式传感器制造的密度传感器采用微电子机械加工新技术,具有高精度,高稳定性和高可靠性,连续长时间工作不需要调校零点,具有国内先进水平,完全可以替代原来的电容式密度传感器,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案如下:一种单晶硅谐振式密度传感器,包括永久磁石、单晶硅芯片和振动子,所述单晶硅芯片通过振动子与永久磁石相连,所述单晶硅芯片与永久磁石之间形成磁场,在单晶硅芯片表面的中心和边缘设有两个形状大小完全一致的H形状的谐振梁,所述谐振梁位于单晶硅芯片的下表面,且处于磁场中,所述谐振梁产生的谐振信号通过特性修正存贮器处理并传输给微处理器,所述微处理器通过D/A转换器转换为特定频率的数字信号,并传输至手持智能终端。作为本技术的一种优选技术方案,所述谐振梁处于单晶硅芯片表面设置的微型真空器中。作为本技术的一种优选 ...
【技术保护点】
一种单晶硅谐振式密度传感器,其特征在于,包括永久磁石、单晶硅芯片和振动子,所述单晶硅芯片通过振动子与永久磁石相连,所述单晶硅芯片与永久磁石之间形成磁场,在单晶硅芯片表面的中心和边缘设有两个形状大小完全一致的H形状的谐振梁,所述谐振梁位于单晶硅芯片的下表面,且处于磁场中,所述谐振梁产生的谐振信号通过特性修正存贮器处理并传输给微处理器,所述微处理器通过D/A转换器转换为特定频率的数字信号,并传输至手持智能终端。
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅谐振式密度传感器,其特征在于,包括永久磁石、单晶硅芯片和振动子,所述单晶硅芯片通过振动子与永久磁石相连,所述单晶硅芯片与永久磁石之间形成磁场,在单晶硅芯片表面的中心和边缘设有两个形状大小完全一致的H形状的谐振梁,所述谐振梁位于单晶硅芯片的下表面,且处于磁场中,所述谐振梁产生的谐振信号通过特性修正存贮器处理并传输给微处理器,所述微处理器通过D/A...
【专利技术属性】
技术研发人员:张传洲,
申请(专利权)人:天津合众丰源石油技术有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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