旋涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种旋涂装置。该旋涂装置包括旋涂槽、旋转部件以及喷淋部件。所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆基板并且能带动所述基板转动。所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。该旋涂装置操作容易，效率高，不易对薄膜产生二次污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及旋涂领域，特别是涉及一种旋涂装置。
技术介绍
有机发光器件(OLED)以及量子点发光器件(QLED)的方法目前是采用溶液加工制作。器件发光区域通常设计为边长2-10mm的正方形区域，配套使用的基板通常为边长30-100mm的正方形基板，并使用旋涂(Spincoating)的方式进行溶液涂布成膜。而旋涂工艺只能对基板进行整面涂布，并不能进行图案化涂布，这就会造成器件电极引脚引出问题和封装问题，最终影响实验效果。目前处理上述问题的方法是在旋涂完每层薄膜之后用棉签、无尘布等蘸取合适的溶剂手动将基板上的待封装区域和电极引出区域的薄膜擦除掉，然后进行下一步操作。上述处理方法操作困难，不可控，工作时间长，效率低，并且还容易引入颗粒、溶剂等对薄膜进行二次污染和破坏。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种操作容易，效率高，不易对薄膜产生二次污染的旋涂装置。一种旋涂装置，包括：旋涂槽；旋转部件，所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆基板并且能带动所述基板转动；以及喷淋部件，所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。在其中一个实施例中，所述喷液管与所述旋转部件的旋转面呈10-70°夹角。在其中一个实施例中，所述喷液管的直径为0.02-5mm。在其中一个实施例中，所述旋转部件包括转盘以及旋转驱动部件，所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽内，所述转盘固定在所述旋转驱动部件的转轴上，所述转盘用于供所述基板安装连接。在其中一个实施例中，所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽的槽底，所述转盘与所述旋涂槽的槽底面平行，当所述旋转驱动部件驱动所述转盘转动时，所述转盘的旋转面与所述旋涂槽的槽底面平行。在其中一个实施例中，所述旋转部件还包括固定机构，所述固定机构设在所述转盘上，所述固定机构用于固定所述基板。在其中一个实施例中，所述固定机构包括支撑板、连接板以及限位柱，所述支撑板连接在所述转盘上且与所述支撑板平行；所述连接板的数量为多个，多个所述连接板的一端连接于所述支撑板，多个所述连接板的另一端朝外延伸，各个所述连接板朝外的一端上均连接有两个所述限位柱，各个所述连接板上的两个所述限位柱之间具有间隔，该间隔用于供所述基板的边角的卡设。在其中一个实施例中，所述固定机构还包括多个支撑块，各个所述连接板上均连接有所述支撑块；相对所述连接板，所述限位柱较所述支撑块突出。在其中一个实施例中，所述固定机构还包括多个弹性套，多个所述弹性套与多个所述支撑块一一对应，所述弹性套套设在所述支撑块上；相对所述连接板，所述限位柱较所述弹性套的最远的端面突出。在其中一个实施例中，所述固定机构包括吸附板以及吸风元件，所述吸附板设在所述转盘上且与所述支撑板平行；所述吸附板上具有多个吸气孔，所述吸附板上还具有多个通气槽，所述通气槽与所述吸风孔连通，所述吸风元件连通于多个所述吸气孔；当所述基板位于所述吸风板上时，所述吸风元件能够通过所述吸风孔以及所述通气槽的吸风来将所述基板吸附固定在所述吸附板上。上述涉及的旋涂装置，设置了旋涂槽，在旋涂槽内设置了旋转部件，旋转部件用于连接于待涂覆基板并且能带动基板转动，当旋转部件带动基板转动时，可以对基板的整个表面进行涂覆；再进一步地设置了喷淋部件，喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，喷液管的一端位于旋涂槽内且该端管口由旋转部件中心朝向旋转部件的边缘，也即由基板的中部朝向基板的边缘，液体供给装置连通于喷液管用于通过喷液管喷液，喷液管喷出来的液体能够将基板边缘上的已涂覆的薄膜清洗擦除掉，配合旋转部件的旋转，使得基板上形成圆形的涂覆薄膜。上述涉及的旋涂装置的喷淋部件代替了现有技术中在旋涂成膜之后的手动擦膜的工序，解决了操作难、不可控、工作时间长、效率低的问题，并且通过喷淋部件对薄膜的擦除不易对一涂覆的薄膜形成二次污染。附图说明图1为一实施例旋涂装置配合基板示意图；图2为一实施例旋涂装置俯视示意图；图3为另一实施例旋涂装置俯视示意图。附图标记说明10、旋涂槽，11、喷液管，12、转轴，21、连接板，22、支撑板，23、支撑块，24、限位柱，31、32、通气槽，33、吸附板，30、基板。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参见图1所示，本实施例涉及了一种旋涂装置。该旋涂装置包括旋涂槽10、旋转部件以及喷淋部件。请参见图1所示，旋涂槽10为的径向截面呈圆形，也即旋涂槽10一端开口另一端封闭，其侧壁呈环形。不难理解，旋涂槽10还可以是其他的形状，如旋涂槽10的径向截面为矩形、三角形、椭圆形等，只要能够实现容纳旋转部件以及喷淋部件的喷淋管即可。所述旋转部件设在所述旋涂槽10内，所述旋转部件用于连接于待涂覆基板30并且能带动所述基板30转动。请参见图1所示，在本实施例中，所述旋转部件包括转盘、固定机构以及旋转驱动部件。所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽10内，并且所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽10的槽底。不难理解，旋转驱动部件还可以设置在旋涂槽10的内侧壁，只要能保证旋转驱动部件的驱动转盘的旋转面与旋涂槽10的槽底面平行即可，设置转盘的旋转面与旋涂槽10的槽底面平行为了便于旋涂仪在涂覆时的便利，也是了配合喷液管11的喷液方向。所述转盘固定在所述旋转驱动部件的转轴12上。所述固定机构设在所述转盘上，所述固定机构用于固定基板30。旋转驱动部件可以是旋转电机。在本实施例的附图中旋转驱动部件未示出。所述转盘与所述旋涂槽10的槽底面平行。当基板30连接在固定机构上时，基板30与转盘以及所述旋涂槽10的槽底面均平行当所述旋转驱动部件驱动所述转盘转动时，所述转盘的旋转面与所述旋涂槽10的槽底面平行。请参见图2所示，在本实施例中，固定机构可以设置如下。所述固定机构包括支撑板22、连接板21、限位柱24、支撑块23以及弹性套。所述支撑板22连接在所述转盘上且与所述支撑板22平行。支撑板22可以是圆形、正方形或者三角形等，在本实施例中，支撑板22为圆形。请参见图2所示，所述连接板21的数量为多个。多个所述连接板21的一端连接于所述支撑板22，多个所述连接板21的另一端朝外延伸。连接板21的数量可以有两个、三个、五个等，还可以是其他数量。连接板21的数量可以根据具体基板30的形状设置，如果基板3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋涂装置，其特征在于，包括：旋涂槽；旋转部件，所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆的基板并且能带动所述基板转动；以及喷淋部件，所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种旋涂装置，其特征在于，包括：旋涂槽；旋转部件，所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆的基板并且能带动所述基板转动；以及喷淋部件，所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。2.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述喷液管与所述旋转部件的旋转面呈10-70°夹角。3.根据权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述喷液管的直径为0.02-5mm。4.根据权利要求1-3任意一项所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋转部件包括转盘以及旋转驱动部件，所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽内，所述转盘固定在所述旋转驱动部件的转轴上，所述转盘用于供所述基板安装连接。5.根据权利要求4所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋转驱动部件设在所述旋涂槽的槽底，所述转盘与所述旋涂槽的槽底面平行，当所述旋转驱动部件驱动所述转盘转动时，所述转盘的旋转面与所述旋涂槽的槽底面平行。6.根据权利要求5所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋转部件还包括固定机构，所述固定机构设在所述转盘上，所述固定机构用于固定所述基板。...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢泓，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44