【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用包括说明书、附图和摘要的、2014年11月13日提交的日本专利申请No.2014-230394的公开的全部内容以引用方式并入本文中。
本专利技术涉及半导体器器件及其制造方法,该半导体器件及其制造方法适合于用在例如具有STI型元件隔离区和MISFET的半导体器件及其制造方法。
技术介绍
可通过将绝缘膜掩埋在半导体衬底中形成的沟槽中,形成STI型元件隔离区。然后,在半导体衬底被元件隔离区环绕的有源区中,形成MISFET等。日本未经审查的专利申请公开No.2007-103492(专利文献1)描述了以下技术:在被LOCOS层环绕的元件区中形成n型SOI晶体管的过程中,在沟道区的端部中引入寄生沟道抑制硼,并且在沟道区的端部中引入氟或氮作为扩散减少原子。日本未经审查的专利申请公开No.2003-133549(专利文献2)描述了以下技术:弛豫栅电极和漏极的端部之间的电场,以抑制漏电流的产生。日本未经审查的专利申请公开No.2008-218852(专利文献3)描述了用n型杂质执行沟道掺杂并且还执行氟注入的技术。日本未经审查的专利申请公开No.Hei11(1999)-297812(专利文献4)描述了与使用STI的半导体器件相关的技术。日本未经审查的专利申请公开No.2004-207564(专利文献5)描述了与使用STI的半导体器件相关的技术。非专利文献1和2描述了与N ...
【技术保护点】
一种半导体器件,包括:半导体衬底;元件隔离区,所述元件隔离区掩埋于形成在所述半导体衬底中的沟槽中并且主要包括氧化硅;用于第一MISFET的第一栅电极,所述第一栅电极经由第一栅绝缘膜形成在由所述元件隔离区环绕的第一有源区中的所述半导体衬底上方;以及用于所述第一MISFET的第一源/漏区,所述第一源/漏区形成在所述第一有源区中的所述半导体衬底中,其中,所述半导体衬底中的所述沟槽具有被氮化的内表面,其中,所述第一栅电极的一部分在所述元件隔离区上方延伸,以及其中,在所述第一栅电极下方,氟被引入到在所述元件隔离区和所述第一MISFET的沟道区之间的边界附近。
【技术特征摘要】
2014.11.13 JP 2014-2303941.一种半导体器件,包括:
半导体衬底;
元件隔离区,所述元件隔离区掩埋于形成在所述半导体衬底中的
沟槽中并且主要包括氧化硅;
用于第一MISFET的第一栅电极,所述第一栅电极经由第一栅绝
缘膜形成在由所述元件隔离区环绕的第一有源区中的所述半导体衬底
上方;以及
用于所述第一MISFET的第一源/漏区,所述第一源/漏区形成在所
述第一有源区中的所述半导体衬底中,
其中,所述半导体衬底中的所述沟槽具有被氮化的内表面,
其中,所述第一栅电极的一部分在所述元件隔离区上方延伸,以
及
其中,在所述第一栅电极下方,氟被引入到在所述元件隔离区和
所述第一MISFET的沟道区之间的边界附近。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,
其中,所述第一MISFET是p沟道型。
3.根据权利要求1所述的半导体器件,还包括:
用于第二MISFET的第二栅电极,所述第二栅电极经由第二栅绝
缘膜形成在由所述元件隔离区环绕的第二有源区中的所述半导体衬底
上方;以及
用于所述第二MISFET的第二源/漏区,所述第二源/漏区形成在所
述第二有源区中的所述半导体衬底中,
其中,所述第二栅电极的一部分在所述元件隔离区上方延伸,以
及
其中,在所述第二栅电极下方,氟没有被引入到在所述元件隔离
区和所述第二MISFET的沟道区之间的边界附近。
4.根据权利要求3所述的半导体器件,
其中,所述第一MISFET是p沟道型,以及
其中,所述第二MISFET是n沟道型。
5.根据权利要求3所述的半导体器件,
其中,所述第二栅绝缘膜比所述第一栅绝缘膜厚。
6.一种半导体器件,包括:
半导体衬底;
元件隔离区,所述元件隔离区掩埋于形成在所述半导体衬底中的
沟槽中并且主要包括氧化硅;
用于第一MISFET的第一栅电极,所述第一栅电极经由第一栅绝
缘膜形成在由所述元件隔离区环绕的第一有源区中的所述半导体衬底
上方;以及
用于所述第一MISFET的第一源/漏区,所述第一源/漏区形成在所
述第一有源区中的所述半导体衬底中,
其中,所述第一栅电极的一部分在所述元件隔离区上方延伸,
其中,所述半...
【专利技术属性】
技术研发人员:青野英树,吉田哲也,小笠原诚,冈本真一,
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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