液状体喷出装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液状体喷出装置，有喷出头(34)和贮存供给喷出头(34)的液状体的液状体罐(35)的液状体喷出装置。有覆盖喷嘴的第1吸引部件(50)、与第1吸引部件(50)连接，通过第1吸引部件(50)降低喷出头(34)内的压力的第1减压装置(51)、覆盖喷嘴的第2吸引部件(38)、和与第2吸引部件(38)连接，通过第2吸引部件(38)降低喷出头(34)内的压力，并与液状体罐(35)内连通降低液状体罐(35)内的压力的第2减压装置(40)。本发明专利技术能提供与伴随着液状体的微细化的喷嘴路径和流路的微细化对应、容易从喷出头除去气泡的液状体喷出装置和液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法和电子设备。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
液状体喷出装置
本专利技术涉及喷出液状体的喷出装置，详细地涉及能够良好地将液状体充填到喷出头和从充填的液状体除去气泡的液状体喷出装置、液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法、和电子设备。
技术介绍
至今，作为喷出液状体材料的喷出头的喷出装置，备有喷墨头的喷墨打印机是众所周知的。喷墨打印机备有的喷墨头，通常，具有备有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置构成。又，使贮存液状体的液状体罐与这种喷出头连接，从液状体罐向喷出头供给液状体。又，上述喷墨头，近年来作为喷出头，不仅能够用于民用的喷墨打印机而且也能够用作工业用的喷出装置，即用作用于形成各种器件的构成要素的装置。例如，关于有机EL装置中的发光层和空穴注入层、液晶装置等中的滤色器、进一步各种器件的金属配线、微透镜等，为了形成它们，也能够用喷出头。可是，在上述喷墨头中，例如作为开始使用时的液状体充填方法，具有下面那样的充填方法(例如，参照专利文献1)。首先，将由可弯曲性材料构成的覆盖部件压附在喷出头的喷嘴形成面上，气密地覆盖喷嘴形成面。其次，使与覆盖部件连接的减压装置工作降低覆盖部件与喷嘴形成面之间的压力。这样一来，通过降低喷墨头内的压力，从与它连接的液状体罐向喷出头内供给液状体，将液状体充填在喷墨头内。而且，进一步，继续进行上述的减压，通过吸引充填的液状体，从喷墨头排出到覆盖部件一侧，-->与此同时，也使该喷出头内的空气和进一步残留在流路中的气泡吸引·排出到覆盖部件一侧。这里，残留在喷出头内的气泡，通过当喷出液状体时吸收喷出压等，对液状体的流动和从喷嘴的喷出施加恶劣的影响，成为造成喷出头的喷出性能的恶化和不稳定性的大的重要原因。专利文献1：日本2000年公布的2000-108383号专利公报可是，当将喷出装置如上所述地用于工业时，伴随着用途的多样化，作为喷出的液状体要使用高价的和稀少的液状体，或者高粘度的液状体。例如，近年来在解析遗传因子构造等中，正在考虑将上述喷出装置(喷墨打印机)的技术应用于该被检查体的制作，但是用于这种被检查体的制作的试剂和检体等多数很贵，又很稀少。又，作为用于形成有机EL装置中的发光层的液状体要使用高粘度的液状体。但是，当开始使用时充填液状体时，当为了上述那样地除去气泡将充填在喷出头内的液状体排出到喷出头外时，当液状体很贵时因为浪费很多所以使成本大幅度上升。又，当液状体很稀少时作为目的只能进行少量的喷出很不方便。又，在高粘度的液状体的情形中，因为气泡难以在液状体内流动，又液状体自身也难以移动，所以需要通过吸引大量地排出液状体，也由于液状体的浪费导致成本上升。进一步，近年来，因为要求喷出的高精度化等，所以正在进行喷出液状体的微细化，与此相伴喷嘴的直径和液状体的流路也越来越微细化。但是，当进行这种微细化时，毛细管力变大，通过减压·吸引排出气泡是困难的。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题提出的，本专利技术的目的是提供能够防止由于液状体浪费引起的成本上升，而且与伴随着液状体的微细化的喷嘴直径和流路的微细化对应容易从喷出头除去气泡的液状体喷出装置和液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法、和电子设备。为了达到上述目的在液状体喷出装置中，其特征是：它是备有具有贮-->存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置的喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐的液状体喷出装置，备有覆盖上述喷嘴的第1吸引部件、与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力的第1减压装置、覆盖上述喷嘴的第2吸引部件、和与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通降低该液状体罐内的压力的第2减压装置。如果根据该液状体喷出装置，则如下地进行开始使用时的液状体充填。首先，在覆盖上述喷出头的喷嘴的状态中用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面。而且，由上述第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内。这样，在将液状体充填到上述喷出头内后，从喷出头取下第1吸引部件，接着在覆盖上述喷出头的喷嘴的状态中用上述第2吸引部件覆盖该喷出头的喷嘴形成面。而且，由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力。这样一来，因为同时降低液状体罐内和喷出头内的压力，所以在这些液状体罐内和喷出头内之间几乎不产生压力差，因此不会发生液状体从液状体罐内流到喷出头内和从喷出头流出液状体，所以特别是通过只选择地吸引残留在喷出头内的气泡和溶存在的液状体内的气体能够在第2减压装置一侧除去它们。因此，不会无用地从喷出头流出液状体，能够容易地并且确实地除去气泡等，因此能够达到减低成本的目的。又，在这样地确实地除去气泡等后，如果从喷出头喷出液状体，则能够良好地进行由于该喷出产生的各种构成要素的形成等。又，在上述液状体喷出装置中，最好在与上述第1吸引部件的喷出头的相反一侧，设置检测从上述喷嘴流出的液状体的液状体检测传感器。如果这样做，则当由第1减压装置通过第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填在该喷出头内时，剩余的液状体从喷出头的喷嘴流出。这时，通过由液状体检测传感器检测流出的液状体，能够检测液状体是否充分充填在喷出头内了。所以，检测后通过由第1减压装置进行-->的减压，能够防止通过从喷出头流出过剩的液状体。又，在上述液状体喷出装置中，最好在上述液状体罐中设置加热贮存的液状体的加热器。如果这样做，则通过加热液状体能够降低它的粘度，所以能够使液状体容易从液状体罐流入到喷出头。又，能够促进溶存在的液状体中的气体气化，由能够容易地除去当由第2减压装置进行的减压时的气泡等。又，在上述液状体喷出装置中，上述第2吸引部件也可以是至少收藏上述喷出头的容器。又，这时，上述第2减压装置最好具有使成为上述第2吸引部件的容器内和上述液状体罐内减压到相同压力的构成。这样，喷出头简单地位于腔室内，通过使与腔室连接的第2减压装置动作，容易地吸引并除去残留在喷出头内的气泡和溶于液状体内的气体，即通过将腔室内和液状体罐内之间减压到同样的压力，在液状体罐和喷出头之间几乎不产生压力差，这样，不会发生从液体状罐内到喷出头内的液状体的流入和从喷出头到液壮体的流出。在上述液状体的喷出装置中，上述第1吸引部件和第2吸引部件用同一吸引部件构成，上述第1减压部件和第2减压部件用同一减压部件构成。如果这样做，则通过使液状体罐内和减压装置连通，用开关阀等的切换装置可以开闭该连通状态的构成，能够用该切换装置从由第1减压装置进行减压切换到由第2减压装置进行减压，所以能够使装置构成简易化。本专利技术的的特征是它是备有具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置的喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，从备有气密地覆盖在上述喷出头中的喷嘴形成面的至少一个喷嘴的第1吸引部件、与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力的第1减压装置、气密地覆盖在上述喷出头中的喷嘴形成面的至少一个喷嘴的第2吸引部件、和与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.液状体喷出装置，备有具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置的喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐的液状体喷出装置，其特征是：备有覆盖上述喷嘴的第1吸引部件、与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力的第1减压装置、覆盖上述喷嘴的第2吸引部件、和与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通从而降低该液状体罐内的压力的第2减压装置。

【技术特征摘要】
2002.10.17 JP 2002－302989;2003.08.26 JP 2003－301291.液状体喷出装置，备有具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置的喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐的液状体喷出装置，其特征是：备有覆盖上述喷嘴的第1吸引部件、与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力的第1减压装置、覆盖上述喷嘴的第2吸引部件、和与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通从而降低该液状体罐内的压力的第2减压装置。2.权利要求1所述的液状体喷出装置，其特征是：在与上述第1吸引部件的喷出头的相反一侧，设置检测从上述喷嘴流出的液状体的液状体检测传感器。3.权利要求1或2所述的液状体喷出装置，其特征是：上述液状体罐中设置加热贮存的液状体的加热器。4.权利要求1～3中任何一项所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第2吸引部件是至少收藏上述喷出头的容器。5.权要求项4所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第2减压装置具有成为上述第2吸引部件的容器内和上述液状体罐内降低到相同压力的构成。6.权利要求1～3中任何一项所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第1吸引部件和第2吸引部件是由同一吸引部件构成的，上述第1减压装置和第2减压装置是是由同一减压装置构成的。7.液状体喷出方法，备有具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置的喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，从备有气密地覆盖在上述喷出头中的喷嘴形成面的至少一个喷嘴的第1吸引部件、与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力的第1减压装置、气密地覆盖在上述喷出头中的喷嘴形成面的至少一个喷嘴的第2吸引部件、和与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通降低该液状体罐内的压力的第2减压装置的喷出装置，所述喷出液状体的方法使用上述喷出装置，其特征在于：备有在覆盖上述喷出头的喷嘴的状态中用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面的工序，由第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液...

【专利技术属性】
技术研发人员：臼井隆宽，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP