一种生产机台的管控系统及管控方法技术方案

本发明专利技术提供一种生产机台的管控系统及管控方法，管控系统包括用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据分别进行对比分组的数据转换模块；将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准进行比较、判断所述每一组数据是否符合工艺要求的数据比对模块；根据所述WAT数据和CP数据是否符合工艺要求将相关联的生产机台进行等级划分的应用模块。本发明专利技术通过WAT&CP数据自动对机台进行能力等级划分，便于对不同等级的机台实施不同规格的管控，这样可以提高整个生产线内优秀机台的利用率，提升产品的品质，减少不良情况的发生，从而节省大量的人力物力，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种生产机台的管控系统及管控方法。
技术介绍
在半导体制造
，为了提高生产效率，通常需要多条生产线多台工艺机台同时进行同一操作。但是由于每一台机台的性能有所不同，有的机台性能优异，有的则性能较差，性能较差的机台run出来的产品出现质量问题的几率更高。而在生产中一旦发生产品问题，将花费大量的人力物力调查处理解决。因此，我们建立了各种各样的方法和系统，对产品特性进行管控，目的都是为了及时追踪掌控产品特性，避免发生问题之后，再去处理解决。但是当产品已经进行加工生产之后，再对其进行管控是否真的及时？能否提早一步预防不良发生？如果对生产产品的机台进行管控是否是更加有效的方式？目前，对于生产机台没有科学有效的管控，一旦发生问题，再追溯回机台改善，是一种滞后浪费资料的方式，对机台机建立科学的管控势在必行。通常，生产的关注点直接单纯的集中在产品的特性，很多量测数据直接反应到产品特性是否合格，比如，WAT&CP数据是在生产过程中的重要数据，当一个问题发生时，可以通过WAT&CP的数据找到为的原因所在，从而获得解决问题的方法。其实，WAT&CP与机台的能力也有着很大的关联，但是目前还没有系统的方法通过WAT&CP的数据来分析机台的能力。因此，提供一种生产机台的管控系统及管控方法是本领域技术人员应该解决的课题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种生产机台的管控系统及管控方法，用于解决现有技术中无法通过WAT&CP数据来分析并管控生产机台的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种生产机台的管控系统，所述管控系统至少包括：用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；与所述及时数据收集系统连接、去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据分别进行对比分组的数据转换模块；与所述数据转换模块连接、将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准进行比较、判断所述每一组数据是否符合工艺要求的数据比对模块；与所述数据比对模块连接并根据所述WAT数据和CP数据是否符合工艺要求来将相关联的生产机台进行等级划分的应用模块。作为本专利技术生产机台的管控系统的一种优化的方案，所述生产机台的管控系统还包括与所述应用模块相连接的派工系统。作为本专利技术生产机台的管控系统的一种优化的方案，所述及时数据收集系统分别与WAT量测机台和CP测试系统连接，通过所述WAT量测机台和CP测试系统将WAT数据和CP数据录入所述及时数据收集系统中。本专利技术还提供一种生产机台的管控方法，所述管控方法至少包括步骤：1)收集需要分析的WAT数据和CP数据；2)分别去除WAT数据和CP数据中的异常值，并对剩下的数据分别进行对比分组；3)将每一组数据分别与预设定的基准进行比较，判断所述每一组数据是否符合工艺要求；4)若WAT数据和CP数据均符合工艺要求，则该WAT数据和CP数据所对应关联的生产机台为优等机台；若WAT数据和CP数据只有其中之一符合工艺要求，则该WAT数据和CP数据所对应关联的生产机台为次等机台；若WAT数据和CP数据均不符合工艺要求，则该组数据所对应关联的生产机台为最劣等机台。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤2)中处于P25-3*IQR～P75+3*IQR范围外的数据被认为是所述异常值。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤2)中通过Duncan多重极差检验的方式来分别对WAT数据和CP数据进行对比分组。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤3)中的所述基准包括BLCP和BLWAT+/-0.5sigma，BLCP表示CP基准值，BLWAT+/-0.5sigma表示WAT基准范围。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤3)中，对于CP数据，若组内有一个CP值大于所述BLCP，则认为该组内其他的CP值均符合工艺要求。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤3)中，对于符合正态分布的WAT数据，分组后若组内有一个WAT值在BLWAT+/-0.5sigma范围内，则认为该组内其他的WAT值均符合工艺要求。作为本专利技术生产机台的管控方法的一种优化的方案，所述步骤3)中，。对于不符合正态分布的WAT数据，根据通过率判断，若通过率大于等于99％，则认为该组内WAT值均符合工艺要求。如上所述，本专利技术的生产机台的管控系统及管控方法，包括：用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；与所述及时数据收集系统连接、去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据分别进行对比分组的数据转换模块；与所述数据转换模块连接、将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准进行比较、判断所述每一组数据是否符合工艺要求的数据比对模块；与所述数据比对模块连接并根据所述WAT数据和CP数据是否符合工艺要求来将相关联的生产机台进行等级划分的应用模块。具有以下有益效果：通过WAT&CP数据自动对机台进行能力等级划分，便于对不同等级的机台实施不同规格的管控，这样可以提高整个生产线内优秀机台的利用率，提升产品的品质，减少不良情况的发生，从而节省大量的人力物力，降低生产成本。附图说明图1为本专利技术的生产机台的管控系统示意图。图2为本专利技术生产机台的管控方法的流程示意图。元件标号说明S1～S4步骤10及时数据收集系统11数据转换模块12数据比对模块13应用模块14派工系统具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅附图。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。本专利技术提供一种生产机台的管控系统，如图1所示，所述生产机台的管控该系统至少包括：及时数据收集系统10、数据转换模块11、数据比对模块12以及应用模块13。所述及时数据收集系统10用于收集产品的WAT数据和C本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生产机台的管控系统，其特征在于，所述管控系统至少包括：用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；与所述及时数据收集系统连接、去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据分别进行对比分组的数据转换模块；与所述数据转换模块连接、将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准进行比较、判断所述每一组数据是否符合工艺要求的数据比对模块；与所述数据比对模块连接并根据所述WAT数据和CP数据是否符合工艺要求来将相关联的生产机台进行等级划分的应用模块。

【技术特征摘要】
1.一种生产机台的管控系统，其特征在于，所述管控系统至少包括：
用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；
与所述及时数据收集系统连接、去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据
分别进行对比分组的数据转换模块；
与所述数据转换模块连接、将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准
进行比较、判断所述每一组数据是否符合工艺要求的数据比对模块；
与所述数据比对模块连接并根据所述WAT数据和CP数据是否符合工艺要求来将相关
联的生产机台进行等级划分的应用模块。
2.根据权利要求1所述的生产机台的管控系统，其特征在于：所述生产机台的管控系统还包
括与所述应用模块相连接的派工系统。
3.根据权利要求1所述的生产机台的管控系统，其特征在于：所述及时数据收集系统分别与
WAT量测机台和CP测试系统连接，通过所述WAT量测机台和CP测试系统将WAT数据
和CP数据录入所述及时数据收集系统中。
4.一种生产机台的管控方法，其特征在于，所述管控方法至少包括步骤：
1)收集需要分析的WAT数据和CP数据；
2)分别去除WAT数据和CP数据中的异常值，并对剩下的数据分别进行对比分组；
3)将每一组数据分别与预设定的基准进行比较，判断所述每一组数据是否符合工艺要
求；
4)若WAT数据和CP数据均符合工艺要求，则该WAT数据和CP数据所对应关联的生
产机台为优等机台；若WAT数据和CP数据只有其中之一符合工艺要求，则该...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜颖洁，康盛，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31