【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及IPC分类中C23C真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆技术,属于应用于Low-e玻璃和显示镀膜玻璃等行业高新技术材料领域,尤其是电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法。
技术介绍
TCO作为一种良好的透明导电电极材料,广泛地应用于太阳能电池、平面显示器、发光二极管等各种光电产品,TCO即透明导电氧化物(transparentconductingoxide),在可见光区域能够具有大于80%以上的高透光性,而且TCO薄膜具有电阻率小于10Ω·cm的导电性。靶材是真空镀膜的原材料,靶材的纯度、密度直接影响膜系的成分和综合性能。因此,为保证溅射薄膜具有较低的电阻率、高的透明性以及薄膜厚度的均匀性,所使用的靶材无论是成分还是晶体取向都必须具有好的均匀性,高密度及低的电阻率。所以在制备锌合金氧化物靶材过程中,应保证锌合金纯度不低于99.95%,严格控制杂质的种类与数量。这样在靶材使用寿命期间溅射膜才能具有优良的均匀性和批量产品质量的一致性。锌合金是以锌为基础加入其他元素组成的合金。常加的合金元素有铝、铜、镁、镉、铅、钛等低温锌合金。锌合金熔点低,流动性好,易熔焊,钎焊和塑性加工,在大气中耐腐蚀,残废料便于回收和重熔;但蠕变强度低,易发生自然时效引起尺寸变化。熔融法制备,压铸或压力加工成材。锌合金的主要添加元素有铝、铜和镁等,按制造和加工工艺可将锌合金分为形变锌合金与铸造锌合金两类,铸造锌合金 ...
【技术保护点】
电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,其特征在于,制备方法包括原料准备、基体准备、电弧喷涂和后加工,具体包含以下步骤:步骤一:选取直径为Φ2.0mm的高纯度锌合金金属丝为电弧喷涂材料;步骤二:选取适合尺寸的钢管作为旋转靶材的内衬管,进行机加工,对钢管基体表面用丙酮进行清洁处理,去除表面污垢和氧化层,再使用专用喷砂机对其进行表面喷砂处理;喷砂过程中空气压力为0.4MPa,喷砂距离为100‑150mm;步骤三:电弧喷涂时,两根金属线材相交成25°~45°角度,两根金属线材分别接通电源的正负两极,连续送进;两根线材的端部在短接的瞬间因接触而产生电弧;根据喷涂材料设定电压和电流,在电源的作用下,电弧保持稳定燃烧;在电弧发生点的背后,经雾化喷嘴加速后的高速气流使熔化的熔滴脱离线材并雾化成粒子,在高速气流的作用下喷射到经过预处理的基材表面形成涂层;步骤四:喷涂完成后,静置冷却,对靶材表面进行必要的车加工。
【技术特征摘要】
1.电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,其特征在于,制备方法包括原料准备、
基体准备、电弧喷涂和后加工,具体包含以下步骤:
步骤一:选取直径为Φ2.0mm的高纯度锌合金金属丝为电弧喷涂材料;
步骤二:选取适合尺寸的钢管作为旋转靶材的内衬管,进行机加工,对钢管基体表面
用丙酮进行清洁处理,去除表面污垢和氧化层,再使用专用喷砂机对其进行表面喷砂处理;
喷砂过程中空气压力为0.4MPa,喷砂距离为100-150mm;
步骤三:电弧喷涂时,两根金属线材相交成25°~45°角度,两根金属线材分别接通
电源的正负两极,连续送进;两根线材的端部在短接的瞬间因接触而产生电弧;根据喷涂
材料设定电压和电流,在电源的作用下,电弧保持稳定燃烧;在电弧发生点的背后,经雾
化喷嘴加速后的高速气流使熔化的熔滴脱离线材并雾化成粒子,在高速气流的作用下喷射
到经过预处理的基材表面形成涂层;
步骤四:喷涂完成后,静置冷却,对靶材表面进行必要的车加工。
2.如权利要求1所述的电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,其特征在于,选
取直径为Φ2.0mm,纯度为99.99%的锌铝合金金属丝为电弧喷涂材料,铝含量为2%,合金
配比均匀,保证后续喷涂涂层的均匀性;选取内径125mm、外径133mm、长度3855mm的不
锈钢管为金属锌铝旋转靶材的内衬管,对钢管进行机加工,对钢管基体表面用丙酮进行清
洁处理,去除表面污垢和氧化层,再使用专用喷砂机对其进行表面喷砂处理;喷砂过程中
空气压力为0.4MPa,喷砂距离为140mm;将两根金属锌铝线材相交成30°并连续送进,分
别接通电源的正负两极,两根线材的端部在短接的瞬间因接触而产生电弧;设定电压为
32V,电流为140A,压缩空气压力为0.6...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄小军,诸斌,庄志杰,
申请(专利权)人:基迈克材料科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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