玻璃表面的处理方法技术

本发明专利技术涉及一种经过蚀刻的玻璃表面的处理方法，该方法包括将包含至少一种无机酸的清洗溶液施用于经过蚀刻的玻璃基板。本发明专利技术还涉及一种包含至少一种无机酸的用于对经过蚀刻的玻璃基材进行清洗的清洗溶液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用本申请要求2013年7月25日提交的美国临时申请系列号61/858292号的优先权，本文以该申请的内容为基础，该申请的全部内容通过引用纳入本文。
本专利技术涉及一种经过蚀刻的玻璃表面的处理方法，所述方法包括将包含至少一种无机酸的溶液施用于该经过蚀刻的玻璃表面。在至少某些实施方式中，玻璃表面经过一种包含氟离子的蚀刻剂的蚀刻。在某些实施方式中，该溶液包含至少一种不含氟离子的无机酸。本专利技术还涉及用于处理经过蚀刻的玻璃表面的包含至少一种无机酸的溶液。在某些示例性的实施方式中，所述清洗溶液不含氟离子。本专利技术还涉及利用包含氟离子的蚀刻剂蚀刻过的经过蚀刻的玻璃表面，该玻璃表面是通过一种方法来制备的，该方法包括将包含至少一种无机酸的溶液施用于该经过蚀刻的玻璃表面。背景在制造玻璃面板的过程中，使玻璃面板薄化的处理(例如蚀刻)并不罕见，例如在组装LCD模块后就会进行此种处理。例如，可以使用氢氟酸(HF)使玻璃面板薄化至大约0.1mm～大约0.4mm的范围内的基板厚度。然而，薄化或蚀刻过程会产生一种被称为淤渣的难溶性副产物。淤渣在蚀刻过程中生成并能够附着于玻璃表面，从而对玻璃造成污染。可以在利用物理和/或化学方法对玻璃面板进行蚀刻后，清洗和/或去除该玻璃面板上的淤渣。例如，可以在蚀刻后对玻璃面板进行刷洗清洁。然而，刷洗清洁可能会导致会使玻璃强度降低和表面品质降低的玻璃表面的损伤。在刷洗清洁等物理方法中，可先在清洗水中对预先经过蚀刻的玻璃进行清洗，然后进行刷洗清洁。当污染物可溶于水时，可以使用简单的水清洗。然而，刷洗清洁常常被用于玻璃表面上的污染物的水溶性差和/或其牢牢附着于玻璃表面的情况中。然而，刷洗清洁不但会去除玻璃表面的污染物，也会在玻璃表面造成划痕或缺陷。这些划痕和缺陷会大大降低玻璃的强度和性能，即使缺陷的形状较小和/或较浅。另一种对经过蚀刻的玻璃表面进行清洗的方法是利用化学清洗。化学清洗能够克服物理清洗方法的一些局限。在化学清洗中，清洗液不是水，而是能够去除玻璃表面的淤渣的溶液，且当使用化学清洗时，可能无需使用刷洗清洁。在化学清洗的过程中，对被蚀刻溶液蚀刻过的脏的被污染的玻璃表面进行处理，且理论上得到了崭新的干净的无污染物的表面。在理想的理论条件下，污染物从经过蚀刻的表面脱离且不会再次附着于再生的干净表面上；然而，人们意识到在蚀刻过程中从玻璃表面脱离的污染物可能会再次附着于经过蚀刻的玻璃表面上，从而导致经过蚀刻的玻璃被二次污染。即便如此，化学清洗被用于清洗(例如处理)玻璃表面。碱性物质(例如氢氧化钾(KOH)、氢氧化钠和氢氧化铵)和蚀刻剂(例如HF)都可用于该目的。因此，需要用于对经过蚀刻的玻璃表面进行处理和/或从经过蚀刻的玻璃表面清除淤渣的方法，该方法可避免二次污染和/或引入额外的缺陷。本专利技术涉及新颖、有效、安全且环保的用于在对玻璃表面进行蚀刻后处理以去除淤渣的方法。专利技术概述本专利技术涉及一种经过蚀刻的玻璃表面的处理方法，所述方法包括将包含至少一种无机酸的溶液施用于经过蚀刻的玻璃表面。在至少某些实施方式中，经过蚀刻的玻璃表面预先经过包含氟离子的蚀刻剂的蚀刻。在某些实施方式中，清洗溶液不含氟离子，例如来源于氢氟酸的离子。本专利技术还涉及用于处理经过蚀刻的玻璃表面的包含至少一种无机酸的溶液。在至少某些实施方式中，该溶液不含氟离子。本专利技术还涉及被包含氟离子的蚀刻剂蚀刻过的经过蚀刻的玻璃表面，该玻璃表面是通过一种方法来制备的，该方法包括使用包含至少一种无机酸的溶液对经过蚀刻的玻璃表面进行处理。一种例如被HF蚀刻过的经过蚀刻的玻璃表面可含有在蚀刻处理过程中生成的难溶性淤渣或被该淤渣污染。淤渣可包含来源于经过蚀刻的玻璃的金属离子，例如K+、Ca2+、Al3+和Si4+、以及来源于蚀刻剂的离子，例如铵离子(NH4+)和氟离子(F-)。例如，来源于玻璃和蚀刻剂的淤渣可包含Ca2+、Al3+和F-。因为淤渣无法溶解于例如HF的用于传统化学清洗溶液中的碱或酸中，所以淤渣颗粒会在使用碱和诸如HF的酸的化学清洗处理过程中脱离然后再次附着于玻璃表面上。在这种情况下，使用现有的化学方法无法完全洗净玻璃表面，因为再次附着的淤渣污染物会残留在玻璃上。而且，化学清洗溶液可能含有例如KOH和/或HF的危险的化学物质。传统的化学清洗可能具有危险性且其废液处理昂贵。因此，需要对经过蚀刻的玻璃进行处理或清洗以恢复玻璃表面的清洁和无垢。开发了一些在使用包含氟离子的蚀刻剂进行蚀刻后对玻璃表面进行有效清洗的方法，这些方法包括将包含至少一种无机酸的溶液施用于经过蚀刻的玻璃表面。在至少某些实施方式中，本专利技术的方法能够在不产生缺陷或降低玻璃强度的条件下对经过蚀刻的玻璃表面进行清洗。在各种实施方式中，本专利技术的方法还是节省成本的，易于操作的且环保的。前面的总体概述和下面的详细描述都仅仅是示例性的，不对本专利技术构成限制。除说明书所列之外，可提供其他特征和变化形式。例如，本文描述了在详细描述部分所披露的特征的各种组合和亚组合。此外，应当指出的是，在公开了步骤的情况下，所述步骤不必按所述顺序执行，除非有明确说明。附图的简要说明图1是由Eagle玻璃和HF所产生的玻璃淤渣的X射线衍射(XRD)光谱。图2是显示Eagle玻璃在包含6M的HCl和12g/L的溶解的Eagle玻璃淤渣的用过的清洗溶液中的蚀刻速率的图。图3是显示Eagle玻璃淤渣在室温下的溶解的图。图4A和图4B显示了使用不同清洗方法进行清洗后的玻璃的X射线光电子谱(XPS)结果，包括未经蚀刻的玻璃、经过蚀刻的玻璃(例如在对玻璃进行蚀刻后在去离子水中对其进行10分钟的清洗)、利用去离子水加机械搅动来进行清洗的经过蚀刻的玻璃、利用超声波方法来进行清洗的经过蚀刻的玻璃、在3M的HCl中进行清洗的经过蚀刻的玻璃以及在6M的HCl中进行清洗的经过蚀刻的玻璃。图4A显示了使用每种方法进行清洗后，玻璃表面残留的B、Al、Si和F的量。图4B显示了使用每种方法进行清洗后，玻璃表面残留的N、Mg和Ca的量。图5A和5B显示了使用不同清洗方法进行清洗后的玻璃的TOF-SIMS(飞行时间二次离子质谱仪)结果，包括未经蚀刻的玻璃、经过蚀刻的玻璃(例如在对玻璃进行蚀刻后在去离子水中对其进行10分钟的清洗)、利用去离子水加机械搅动来进行清洗的经过蚀刻的玻璃、利用超声波方法来进行清洗的经过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种经过蚀刻的玻璃表面的处理方法，所述玻璃表面经过包含氟离子的蚀刻剂的蚀刻，所述方法包括：向所述经过蚀刻的玻璃表面施用包含至少一种无机酸的溶液。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.07.25 US 61/858,2921.一种经过蚀刻的玻璃表面的处理方法，所述玻璃表面经过包含氟离子
的蚀刻剂的蚀刻，所述方法包括：
向所述经过蚀刻的玻璃表面施用包含至少一种无机酸的溶液。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种无机酸选自盐
酸、硝酸和硫酸。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种无机酸是盐酸。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述溶液在被施用于经过蚀
刻的玻璃表面之前基本上不含氢氟酸。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种无机酸的浓度
至少为大约3M。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种无机酸的浓度
至少为大约4.5M。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述溶液施用于经过蚀刻
的玻璃表面的操作进行大约5分钟～大约80分钟的时间。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述溶液还包含至少一种表
面活性剂。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在至少大约22℃的温度下施
用所述溶液。
10.一种经过处理的经过蚀刻的玻璃表面，所述玻璃表面经过包含氟离子
的蚀刻剂的蚀刻，所述经过处理的经过蚀刻的玻璃表面是通过包括将一种包含
至少一种无机酸的溶液施用于经过蚀刻的玻璃表面的工艺来制备的。
11.如权利要求10所述的经过处理的经过蚀刻的玻璃表面，其特征在于，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·S·卡沃蒂，侯军，金宇辉，J·S·金，T·J·奥克特，S·尚穆加姆，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US