一种低温泵的气体吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及到一种低温泵的气体吸附装置，其包括中心板（1），第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成一个圆形或正多边形结构，中心板（1）为圆板形。本实用新型专利技术的技术效果，提高气体吸附装置与气体的接触面积，有效的增加气体的吸附效率，从而进一步提高低温泵内的真空度。

Gas adsorption device of low temperature pump

The utility model relates to a device for low temperature gas adsorption pump, which comprises a central plate (1), the first array (2), cold umbrella piece second arrayed cold umbrella piece (20), third array cold (21), fourth pieces of umbrella arrayed cold umbrella piece (22), the the first array of cold tablets (2), second umbrella arrayed cold umbrella piece (20), third array cold (21), fourth pieces of umbrella arrayed cold umbrella piece (22) arranged in the center of the board (1) around, and form a circular or polygonal structure, the center of the board (1 for the circular). The technical effect of the utility model is improved, and the contact area of the gas adsorption device and the gas is improved, and the adsorption efficiency of the gas is effectively increased.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及到一种低温泵，尤其涉及到一种低温泵的气体吸附装置。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。凝结热与气体种类有关，对于80K、133.322帕·升的氮气冷凝在20K冷板上的凝结热为0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的辐射热与周围壁面板温度和工作冷板温度两者的4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板来屏蔽，以减少工作冷板所接受的辐射热。目前的低温泵内置的气体吸附装置主要采用圆柱式气体吸附装置，但这种圆柱式气体吸附装置存在的缺点是与气体的接触面积较少，其接触面积只有一个面，其不利于气体的吸附。
技术实现思路
为了解决现有气体吸附装置存在接触面积较少的缺点，本技术提供一种低温泵气体吸附装置。为了实现上述的技术目的，本技术提供一种新型的低温泵气体吸附装置，其包括中心板（1）、第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成圆形或正多边形结构。本技术的优选实施方案是，所述中心板为圆形板。本技术的优选实施方案是，所述中心板为方形板。本技术的优选实施方案是，所述第一阵列排布冷伞片、第二阵列排布冷伞片，第三阵列排布冷伞片，第四阵列排布冷伞片上均包含至少两块冷伞片。本技术的优选实施方案是，所述冷伞片包含第一伞片,第二伞片，第三伞片，其中，第一伞片和第三伞片对称的设置在第二伞片的两侧，所述第一伞片与第二伞片的夹角成1200。本技术的优选实施方案是，所述冷伞片截面为圆弧形。本技术的技术效果，提高气体吸附装置与气体的接触面积，有效的增加气体的吸附效率，从而进一步的提高低温泵内的真空度。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式为了更清楚的叙述本技术的技术方案，下面结合附图对本技术做进一步的说明。图1为本技术的结构示意图，参照图1所示，一种低温泵气体吸附装置，其包括中心板1、第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片22，其中，第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的周围，并形成圆形或正多边形结构。中心板1为方形板或圆形板，第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片（22）均包含两片以上的冷伞片(23)。第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片（22）中相邻两个冷伞片（23）等距。在本技术中，其中一种实施方式是冷伞片23的截面为圆弧形。在本技术中，冷伞片23包括第一伞片10、第二伞片11、第三伞片12，其中，第一伞片10和第三伞片12对称的设置在第二伞片11的两侧，所述第一伞片10与第二伞片11的夹角成1200。每个冷伞片23上都粘有具有吸附功能的活性碳。以上所述实施例仅表达了本技术的实施方式，其描述较为详细，只要本领域的技术人员在查看到本技术的实施例后，不脱离本技术构思的前提下，所做的改变都属于本技术的保护范围。但本文所述的实施例不能理解为对本技术的保护范围限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述气体吸附装置包括中心板（1）、第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成圆形或正多边形结构。

【技术特征摘要】
2015.10.30 CN 20152085286121.一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述气体吸附装置包括中心板（1）、第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22），所述第一阵列排布冷伞片（2）、第二阵列排布冷伞片（20）、第三阵列排布冷伞片（21）、第四阵列排布冷伞片（22）排列设置在中心板（1）的四周，并形成圆形或正多边形结构。2.根据权利要求1所述的一种低温泵的气体吸附装置，其特征在于，所述中心板（1）为圆形板。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，
申请(专利权)人：上海优拓低温技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31