扩散用高温炉制造技术

本发明专利技术公开了一种扩散用高温炉，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。本发明专利技术在石英管炉腔外间隔均匀的设置有多组热阻丝，所以可以达到对石英管炉腔进行均匀加热的效果。

Diffusion furnace

The invention discloses a diffusion furnace, which comprises a base and a quartz tube furnace chamber; quartz tube furnace cavity is mounted on the base; the quartz tube furnace cavity is a vertical column, the top is provided with two openings; the quartz tube with a thermocouple measuring device arranged in the furnace cavity, the measurement of transmission line through the first opening is transmitted to the thermocouple the temperature controller in the quartz tube outside the furnace chamber; also includes a plurality of heater and multiple resistance wire; a plurality of heater are connected with the temperature controller; a set of hot wires correspondingly connected with each heater; each hot wire coiled tube furnace cavity in quartz; thermal resistance wire distance equal adjacent process; the gas flow through the controller, and then through the second opening input quartz tube furnace chamber; the base is provided with a gas outlet; the gas outlet is provided with a pressure controller. In the invention, a plurality of groups of resistance wires are arranged uniformly outside the cavity of the quartz tube furnace, so that the effect of uniform heating on the cavity of the quartz tube furnace can be achieved.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种扩散用高温炉。
技术介绍
在半导体制造工艺中经常会遇到高温工艺，如氧化、扩散、淀积、退火等工艺，均需要在高温模式下进行，而且所需温度十分高，在某些情况下，甚至需要达到100℃。现有技术中的高温炉，存在着加温不均匀的缺点，如果加温不均匀，则反应用气体所处的温度环境不一致，则反应进程不精确，且难以控制，最终影响产品的良率。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术公开了一种扩散用高温炉。本专利技术的技术方案如下：一种扩散用高温炉，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。本专利技术的有益技术效果是：本专利技术在石英管炉腔外间隔均匀的设置有多组热阻丝，所以可以达到对石英管炉腔进行均匀加热的效果。附图说明图1是本专利技术的示意图。具体实施方式图1是本专利技术的示意图。如图1所示，本专利技术包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。本专利技术的工作原理为，工艺气体通过气流控制器，恰当调整气体流量之后，通过第二开口通入石英管炉腔，与放置在石英管炉腔内的晶圆片进行反应。加热器通过加热热阻丝，加热石英管炉腔。而反应过程中，石英管炉腔中的热电偶测量反应温度，并将反应温度的信息传送至温度控制器，温度控制器又控制多个加热器，对加热器的输出温度进行反馈调节。反应之后的气体通过底座下部的气体出口排出。由于气体出口处设置有压力控制器，所以底座下方的气体出口除了可以排出气体外，还可以控制石英管炉腔中的反应压强。以上所述的仅是本专利技术的优选实施方式，本专利技术不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本专利技术的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散用高温炉，其特征在于，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。

【技术特征摘要】
1.一种扩散用高温炉，其特征在于，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32