电子掺杂剂的恒温控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子掺杂剂的恒温控制装置，包括恒温箱体（1）、电控箱体（2），两箱体之间设置有隔板（19），恒温箱体（1）设置防雾观察窗（15），储存桶（4）装在恒温箱体（1）内，储存桶（4）底部装有隔层托盘（9），隔层托盘（9）上装有照明灯（10），储存桶（4）顶部设置有进气管（7）、出气管（8），进气管（7）上连接进气阀（6），出气管（8）上连接出气阀（5），恒温箱体（1）右侧顶部装有温度探头（11）和检测探头（12），下部设有排气口（13）；电控箱体（2）上端设置温度数显仪（3），底部装有空气换热装置（17）和电源开关（14）。本实用新型专利技术安全可靠、便于操作，适合电子掺杂剂恒温控制的推广使用。

Constant temperature controller for electronic dopant

The utility model discloses a constant temperature electronic dopant control device comprises a constant temperature box (1), electronic control box (2), a baffle is arranged between the two box (19), constant temperature box (1) set up anti fog observation window (15), (4) storage barrel installed in the constant temperature box (1) in the storage tank (4) is arranged on the bottom layer, interlayer tray (9) (9) is arranged on the lamp tray (10), storage tank (4) is arranged on the top of the intake pipe (7), (8), air intake pipe (7) connected to the intake valve (6), (8.) connected on the outlet valve (5), constant temperature box (1) is arranged on the top right of the temperature probe (11) and the detector (12), the lower part is provided with a vent (13); electronic control box (2) arranged on the upper end of the temperature display device (3), the bottom is provided with air heat exchanger (17) and the power switch (14). The utility model has the advantages of safety, reliability and convenient operation, and is suitable for the popularization and application of the constant temperature control of the electronic dopant.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于温控装置
，具体来说涉及一种电子掺杂剂的恒温控制装置。
技术介绍
在半导体及太阳能电池行业的生产中，需要多种电子掺杂剂作为原材料制造集成电路和太阳能电池。在用于晶体管和栅氧化层、半导体ＰＮ结的形成，需要掺杂各种电子掺杂剂来提供适当的电子性能。在这些应用中的电子掺杂剂需要处于高纯度状态从而满足电子制造工业中的严格要求。这些电子掺杂剂大多具有强腐蚀性、强氧化性、剧毒，使用不当，对环境、人身造成伤害。因此在使用、输送这些液体化学品过程中，防止泄漏、保障人身安全、操作方便成为人们不断改进的目标。为了解决这些问题，现有专利已经做出了很多研究。例如：CN201072025Ｙ公开了一种三氯氧磷的恒温控制装置，包括不锈钢源瓶，自动补液装置、流量控制器，通过自动补液装置实现连续供液，基本杜绝人工更换石英容器，安全性高，但该装置采用精密仪器，装置自身成本高，维护成本高（需要专业维护人员），且没有对自身仪器设备出现故障的解决措施，存在一定的安全隐患。CN203307042U公开了一种三氯氧磷安全供料系统，该装置设置尾气自动排风口，气体泄漏检测报警器，低液位监测报警器，实现对三氯氧磷使用过程的远程监控和物料液位的精确监控，对三氯氧磷出现泄漏时及时报警和自动对泄漏尾气进行处理，安全性进一步提高。该装置虽然实现远程监控，但对于自动仪器出现故障仍然没有紧急解决措施，存在各种生产安全隐患，生产安全性和工作效率待提高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述缺点而提供的一种安全可靠、便于操作、易于维护、结构简单的电子掺杂剂的恒温控制装置。本技术目的及解决其主要技术问题是采用以下技术方案来实现的：本技术的电子掺杂剂的恒温控制装置，包括恒温箱体、电控箱体，两箱体之间设置有隔板，恒温箱体设置防雾观察窗，储存桶装在恒温箱体内，储存桶底部装有隔层托盘，隔层托盘上装有照明灯，储存桶顶部设置有进气管、出气管，进气管上连接进气阀，出气管上连接出气阀，恒温箱体右侧顶部装有温度探头和检测探头，下部设有排气口；电控箱体上端设置温度数显仪，底部装有空气换热装置和电源开关；隔板上端开设进风口，下端开设出风口。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：电控箱体中间设置有手动排气开关。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：储存桶为电子掺杂剂储存桶。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：储存桶的恒温箱体底部设置泄露防护围堰。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：防雾观察窗采用五层夹胶钢化防雾玻璃。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：隔板为不锈钢隔板。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：检测探头为电子掺杂剂泄漏检测探头。上述电子掺杂剂的恒温控制装置，其中：照明灯为LED灯。本技术同现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本技术的电子掺杂剂的恒温控制装置中，通过在电路信号控制模块箱体中间位置设置手动排气开关，解决了当自动仪器出现故障，电子掺杂剂泄露时采取人工紧急处理措施，快速将电子掺杂剂通过废气强制排气口排出；通过在恒温箱体内设置泄露防护围堰，进一步提高了装置的安全性和工作效率；通过设置的空气换热装置与温度数显仪，实现整个系统的温度恒度。总之，本技术安全可靠、便于操作、易于维护、结构简单，适合电子掺杂剂恒温控制的推广使用。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的右视图；图3为图1的俯视图。图中标识：1、恒温箱体；2、电控箱体；3、温度数显仪；4、储存桶；5、出气阀；6、进气阀；7、进气管；8、出气管；9、隔层托盘；10、照明灯；11、温度探头；12、检测探头；13、排气口；14、电源开关；15、防雾观察窗；16、手动排气开关；17、空气换热装置；18、泄露防护围堰；19、隔板；20、进风口；21、出风口。具体实施方式以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术提出的电子掺杂剂的恒温控制装置具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。参见图1至图3，本技术的电子掺杂剂的恒温控制装置，包括恒温箱体1、电控箱体2，两箱体之间设置有隔板19，恒温箱体1设置防雾观察窗15，储存桶4装在恒温箱体1内，储存桶4底部装有隔层托盘9，隔层托盘9上装有照明灯10，储存桶4顶部设置有进气管7、出气管8，进气管7上连接进气阀6，出气管8上连接出气阀5，恒温箱体1右侧顶部装有温度探头11和检测探头12，下部设有排气口13；电控箱体2上端设置温度数显仪3，底部装有空气换热装置17和电源开关14；隔板19上端开设进风口20，下端开设出风口21。电控箱体2中间设置有手动排气开关16。储存桶4为电子掺杂剂储存桶。储存桶4的恒温箱体1底部设置泄露防护围堰18。防雾观察窗15采用五层夹胶钢化防雾玻璃。隔板19为不锈钢隔板。检测探头12为电子掺杂剂泄漏检测探头。照明灯10为LED灯。使用时，将高纯三氯氧磷罐装入储存桶4，并放置于恒温箱体内1，将出气管8连接到扩散炉装置，打开系统电源，启动空气换热装置17，当系统温度通过温度数显仪3观察恒温箱体1内温度恒定在20℃时，依次打开出气阀5、进气阀6，通入氮气，将三氯氧磷携带入扩散炉实现太阳能电池半导体PN结的掺杂。打开照明灯10，通过防雾观察窗15可以随时观察恒温箱体1内三氯氧磷储存桶液位情况。恒温箱体1与电控箱体2独立，三氯氧磷处于密封恒温箱体1，当三氯氧磷出现泄漏时，系统通过检测探头12自动启动废气强制排气电源开关，将三氯氧磷废气由排气口13输送至尾气处理系统。当自动控制系统失灵，立即启动手动排气开关16，将三氯氧磷废气由排气口13输送至尾气处理系统。当更换源桶时，会有微量化学品逸出残留在腔体内，启动手动排气开关16，将三氯氧磷废气由排气口13输送至尾气处理系统，使系统更安全。另外，为了使三氯氧磷储存桶更换周期延长，进一步减少源桶的更换次数，可将储存桶4容积设置为10L，恒温箱体1设上下两层，每层并排放置一个三氯氧磷储存桶4。同时，也可以将储存桶4容积设置为20L，在恒温箱体1放置一个三氯氧磷储存桶，实现储存桶更换周期延长的效果。本技术安全可靠、便于操作、易于维护、结构简单，适合电子掺杂剂恒温控制的推广使用。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，任何未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子掺杂剂的恒温控制装置，包括恒温箱体（1）、电控箱体（2），两箱体之间设置有隔板（19），恒温箱体（1）设置防雾观察窗（15），储存桶（4）装在恒温箱体（1）内，储存桶（4）底部装有隔层托盘（9），隔层托盘（9）上装有照明灯（10），储存桶（4）顶部设置有进气管（7）、出气管（8），进气管（7）上连接进气阀（6），出气管（8）上连接出气阀（5），恒温箱体（1）右侧顶部装有温度探头（11）和检测探头（12），下部设有排气口（13）；电控箱体（2）上端设置温度数显仪（3），底部装有空气换热装置（17）和电源开关（14）；隔板（19）上端开设进风口（20），下端开设出风口（21）。

【技术特征摘要】
1.一种电子掺杂剂的恒温控制装置，包括恒温箱体（1）、电控箱体（2），两箱体之间设置有隔板（19），恒温箱体（1）设置防雾观察窗（15），储存桶（4）装在恒温箱体（1）内，储存桶（4）底部装有隔层托盘（9），隔层托盘（9）上装有照明灯（10），储存桶（4）顶部设置有进气管（7）、出气管（8），进气管（7）上连接进气阀（6），出气管（8）上连接出气阀（5），恒温箱体（1）右侧顶部装有温度探头（11）和检测探头（12），下部设有排气口（13）；电控箱体（2）上端设置温度数显仪（3），底部装有空气换热装置（17）和电源开关（14）；隔板（19）上端开设进风口（20），下端开设出风口（21）。2.如权利要求1所述的电子掺杂剂的恒温控制装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋飚，钟赤宇，王天喜，孙刚，陈进，
申请(专利权)人：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：贵州;52