The utility model discloses a four silicon tetrachloride vaporization device, including hydrogen chloride silicon heater, heater, four static mixers and four silicon tetrachloride vaporization tower, wherein the bottom of the static mixer through a pipeline with four silicon chloride vaporization tower top or upper connected; the top of the static mixer through a pipeline with hydrogen the heater is connected; the middle of the static mixer is connected with the four silicon chloride heater through a pipeline. The four silicon tetrachloride vaporization device provided by the utility model, the liquid phase vaporization four silicon and hydrogen chloride can achieve 40% in the static mixer, and then realize the complete vaporization of the carburetor, the equipment can improve four silicon tetrachloride vaporization rate, greatly reduce the vaporization tower load in the next step, ensure the vaporization the operation more processing capacity, and greatly reduces the energy consumption of production of polysilicon.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种四氯化硅汽化装置。
技术介绍
多晶硅材料是半导体集成电路和太阳光伏电池的原材料,处于信息产业和可再生能源产业链的最前端。国内外多晶硅企业普遍采用改良西门子法生产多晶硅,该方法能够生产高纯多晶硅材料,然而,需要消耗18~25倍的三氯氢硅,同时产生15~20倍的副产物四氯化硅,四氯化硅极易与水反应生成氯化氢,直接排放将严重污染环境。回收处理副产四氯化硅的常见方法就是采用氯氢化或者冷氢化技术将其转化为多晶硅生产原料三氯氢硅,还可以实现生产体系的闭路循环,优化工艺流程,减少环节污染。因此,氯氢化装置是副产物料循环利用的关键,通常四氯化硅先被预热,然后采用电加热或高温导热油将其加热汽化后参与反应。现有技术中,多晶硅企业大部分采用导热油加热四氯化硅,导热油装置投资较大,且要定期更换部分导热油,运行维护成本较高。而且导热油炉使用天然气作为热源,通过燃烧加热导热油,导热油通过循环泵供给各四氯化硅汽化塔再沸器,此加热属于间接加热,能源利用效率较低,且天然气价格较高,导致装置的生产成本增加。由于四氯化硅以蒸发的方式汽化,所以当四氯化硅中含有少量重组份或高沸物时,容易导致四氯化硅汽化塔再沸器堵塞,影响装置的长周期稳定运行。公开号为205187884U的中国专利公开了一种四氯化硅汽化装置,该装置以U型加热电棒,对嵌套在密封筒柱上的四氯化硅进气管进行加热,使四氯化硅充分汽化,但汽化装置结构复杂,无法解决高沸物在汽化塔及再沸器的堵塞问题,生产不易控制。公开号为202400856U的中国专利公开了一种四氯化硅汽化器,该装置以导热油为热源,在釜式汽 ...
【技术保护点】
一种四氯化硅汽化装置,其特征在于,包括氢气加热器、四氯化硅加热器、静态混合器和四氯化硅汽化塔,其中,所述静态混合器的底部通过管道与四氯化硅汽化塔的顶部或上部相连接;所述静态混合器的顶部通过管道与氢气加热器相连接;静态混合器的中部通过管道与四氯化硅加热器相连接。
【技术特征摘要】
1.一种四氯化硅汽化装置,其特征在于,包括氢气加热器、四氯化硅加热器、静态混合器和四氯化硅汽化塔,其中,所述静态混合器的底部通过管道与四氯化硅汽化塔的顶部或上部相连接;所述静态混合器的顶部通过管道与氢气加热器相连接;静态混合器的中部通过管道与四氯化硅加热器相连接。2.根据权利要求1所述的四氯化硅汽化装置,其特征在于,所述静态混合器上部或顶部设置有1~5个喷头。3.根据权利要求2所述的四氯化硅汽化装置,其特征在于,所述静态混合器上部或顶部设置的喷头为螺旋喷头,数目为1~3个。4.根据权利要求1-3任一项所述的四氯化硅汽化装置,其特征在于,所述汽化塔上部和下部均设置有填...
【专利技术属性】
技术研发人员:马军,蒋立民,胡永吉,
申请(专利权)人:江苏中能硅业科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。