多晶硅脱胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种多晶硅脱胶装置，涉及半导体器件制造技术领域，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置，提供了一整套的脱脂装置，可以对多晶硅进行全方位高效脱脂。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件制造
，具体涉及一种多晶硅脱胶装置。
技术介绍
硅片是半导体器件的基础材料，通过在该基础材料上进行若干工序就能形成具有各种功能的半导体器件，因此在太阳能光伏行业的应用特别广泛。现有的硅片都是由硅棒切割而成，其切割过程为：将硅棒用AB胶粘在玻璃板上，玻璃板和切割盖板之间通过采用胶层粘接，然后，采用专用的切割设备将粘在玻璃板上的硅棒切割成厚度为180微米左右的硅片。经过上述工序后切割而成的硅片要进行预清洗和后续清洗。目前国内普遍采用的预清洗脱胶工艺的步骤为：先对切割后的硅片进行冲洗，然后用热水或有机酸分离AB胶，使硅片与玻璃板分离。至此，玻璃板和切割盖板还没有分离，而如果要对玻璃板和切割盖板进行分离，必须在后续清洗中通过增设专用设备对其进行处理。并且，由于玻璃板和切割盖板之间是通过胶层粘结，而在高温碳化胶层使胶层失效的过程中，容易造成切割盖板变形，且胶层在碳化过程会生成有毒有害气体。因此，目前可以采用水煮胶以替代需进行高温加热碳化的胶层进行玻璃板和切割盖板之间的粘接。在现有的工艺虽然能够对玻璃板和切割盖板进行脱胶分离，但往往是先在预清洗设备中进行硅片脱胶，将硅片分离出来，然后再采用其他设备将玻璃板与切割盖板分离，上述工艺过程中涉及多个重复搬运的工序，降低了设备资源和空间的利用率，增加生产成本。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种多晶硅脱胶装置，能够对多晶硅进行高效脱脂。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅脱胶装置，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置。进一步的，所述脱胶脱胶装置和清洗装置之间还设有洗刷装置。进一步的，所述除尘装置包括吸尘器。进一步的，所述预热装置包括预热槽、电加热管、温控探头以及控制器，所述温控探头插入所述预热槽内的清洗液中，所述控制器分别与所述温控探头和电加热管连接。进一步的，所述脱胶装置为水煮脱胶装置，所述水煮脱胶装置包括脱胶槽和加热装置。进一步的，所述清洗装置包括清水槽，以及在所述清水槽内还设有转动叶轮。进一步的，所述烘干装置包括电吹风。进一步的，所述浸洗装置、预热装置和清洗装置均设有出水口和进水口，所述出水口和进水口分别与污水槽和水箱连接。本技术提供了一种多晶硅脱胶装置，通过依次连接设有的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置，对多晶硅进行全方位的清洗和脱脂，非常高效，脱脂效果好，能够大大提高生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术结构示意图。其中：1、除尘装置；2、浸洗装置；3、预热装置；4、脱胶装置；5、清洗装置；6、烘干装置；7、洗刷装置；8、水箱；9、污水槽。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。结合附图1，本技术一种多晶硅脱胶装置，包括依次连接的除尘装置1、浸洗装置2、预热装置3、脱胶装置4、清洗装置5和烘干装置6，所述脱胶脱胶装置和清洗装置之间还设有洗刷装置7，使用机械刷等对多晶硅表面进行清理，所述除尘装置1包括吸尘器，进行除尘，所述预热装置3包括预热槽、电加热管、温控探头以及控制器，所述温控探头插入所述预热槽内的清洗液中，所述控制器分别与所述温控探头和电加热管连接，使得预热槽中的水温保持不变，均匀预热，脱胶装置4为水煮脱胶装置，所述水煮脱胶装置包括脱胶槽和加热装置，清洗装置5包括清水槽，以及在所述清水槽内还设有转动叶轮，通过启动转动叶轮，可以对物料进行清洗，烘干装置6包括电吹风，对潮湿的物料进行烘干，浸洗装置2、预热装置3和清洗装置5均设有出水口和进水口，所述出水口和进水口分别与污水槽9和水箱8连接，快捷进行换水，提高脱脂的质量。本技术提供了一种多晶硅脱胶装置，提供了一整套的脱脂装置，通过依次连接设有的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置，对多晶硅进行全方位的清洗和脱脂，非常高效，脱脂效果好，能够大大提高生产效率。需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅脱胶装置，其特征在于，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅脱胶装置，其特征在于，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置。
2.如权利要求1所述的多晶硅脱胶装置，其特征在于，所述脱胶装置和清洗装置之间还设有洗刷装置。
3.如权利要求1所述的多晶硅脱胶装置，其特征在于，所述除尘装置包括吸尘器。
4.如权利要求3所述的多晶硅脱胶装置，其特征在于，所述预热装置包括预热槽、电加热管、温控探头以及控制器，所述温控探头插入所述预热槽内的清洗液中，所述控制器分别与所述温控探头和电加热管连接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明河，张一麦，
申请(专利权)人：浙江谷高光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33