一种快速光刻系统技术方案

本发明专利技术公开了一种快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置，所述操作台为气浮转台，所述待刻工件被固定设置于所述气浮转台的台面上；还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器。本发明专利技术中，通过在气浮转台上设置待刻工件，并通过分别控制光纤束中每个光纤的光射出与光关闭，使得能够一次性完成大数据量的光刻动作，不仅能够满足个性化的定制需求，同时也大幅提高了光刻效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光刻系统，尤其涉及一种应用气浮转台的快速光刻系统。
技术介绍
随着科技的发展，光刻技术的发展也极为迅速。例如，预先制版再进行蚀刻的方式，适用于生产同一规格的电路板。再比如，以单一激光头对空白光盘进行镭射的方式，适用于定制化的光刻需求。但是，无论哪种光刻方式，都无法兼顾高效与定制化的需求。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的弊端，提供一种快速光刻系统。本专利技术所述的快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置，所述操作台为气浮转台，所述待刻工件被固定设置于所述气浮转台的台面上；还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器；其中，所述待刻信息输入单元接收外部输入的待刻信息，并将所述待刻信息发送至待刻信息输出调制控制器；所述待刻信息输出调制控制器根据接收到的待刻信息、并结合所述待刻工件位置信息反馈单元反馈的待刻工件位置信息向所述光刻装置发出光刻控制信号；所述光刻装置根据所述光刻控制信号对所述待刻工件进行光刻。本专利技术所述的快速光刻系统中，所述光刻装置是由多根光纤按预定形式排列固定而构成的光纤束；所述光纤束根据光刻控制指令而射出光或关闭关射出。本专利技术所述的快速光刻系统中，在每根光纤的起始端均设置有对应的光源，且每个光源均设置有对应的通断控制器；所述待刻信息输出调制控制器发出的光刻控制信号分别控制各个通断控制器的打开或关闭，以控制光纤束中对应的光纤得以射出光或者关闭光射出。本专利技术所述的快速光刻系统中，所述待刻信息输入单元包括信息输入模块、信息转换模块、和信息输出模块；其中，所述信息输入模块用于接收外部输入的图形文件形式的待刻信息；所述信息转换模块将图形文件形式的待刻信息转换为点阵形式的待刻信息，并将转换后的点阵形式的待刻信息经由信息输出模块输出至待刻信息输出调制控制器。本专利技术所述的快速光刻系统中，所述待刻工件位置信息反馈单元为设置于气浮转台上的编码器；所述编码器实时向待刻信息输出调制控制器发出编码信息，所述编码信息对应反映出待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息。本专利技术所述的快速光刻系统中，所述待刻信息输出调制控制器包括待刻信息接收模块、编码信息接收模块、运算控制模块、以及控制信号输出模块；其中，所述待刻信息接收模块用于接收点阵形式的待刻信息，并将接收到的点阵形式的待刻信息发送至运算控制模块；所述编码信息接收模块用于接收编码信息，并将接收到的编码信息发送至运算控制模块；所述运算控制模块对接收到的点阵形式的待刻信息和编码信息应用预置程序进行计算，以确定当前的下一时刻的点阵形式的待刻信息，并根据该确定的待刻信息计算对应的下一时刻的光刻控制信号；所述控制信号输出模块向所述光刻装置发出下一时刻的光刻控制信号。本专利技术所述的快速光刻系统中，通过在气浮转台上设置待刻工件，并通过分别控制光纤束中每个光纤的光射出与光关闭，使得能够一次性完成大数据量的光刻动作，不仅能够满足个性化的定制需求，同时也大幅提高了光刻效率。附图说明图1为本专利技术所述的快速光刻系统的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1所示，本专利技术所述的快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置。为实现高效、同时兼顾定制化的特性需求，本专利技术中以气浮转台作为操作台，再将待刻工件固定设置于所述气浮转台的台面上。这样，利用气浮转台转动时平稳、无振动的特性，可实现对置于气浮转台的台面上的待刻工件进行快速光刻。为实现上述目的，本专利技术所述的快速光刻系统还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器。其中，所述待刻信息输入单元接收外部输入的待刻信息，并将所述待刻信息发送至待刻信息输出调制控制器。具体而言，如图1所示，所述待刻信息输入单元包括信息输入模块、信息转换模块、和信息输出模块。所述信息输入模块用于接收外部输入的图形文件形式的待刻信息。本发明中，所述待刻信息输入单元可采用计算机能具有交互及运算功能的电子设备，例如，通过计算机的数据接口输入图形文件，该图形文件包含了欲对待刻工件进行光刻操作的待刻信息。所述信息转换模块将图形文件形式的待刻信息转换为点阵形式的待刻信息，并将转换后的点阵形式的待刻信息经由信息输出模块输出至待刻信息输出调制控制器。该信息转换模块同样可使用计算机等具有数据处理功能的设备，只需在该设备中预先存储将图形文件形式的待刻信息转换为点阵形式的待刻信息的程序即可。之所以将图形文件形式的待刻信息转换为点阵形式的待刻信息，是因为在后叙的光刻装置中，所述光刻装置是由若干个光纤组成的光纤束构成的，这样，点阵形式的待刻信息能够完全对应至光纤束中的每个光纤，从而提高光刻的准确性和效率。所述待刻信息输出调制控制器根据接收到的待刻信息、并结合所述待刻工件位置信息反馈单元反馈的待刻工件位置信息向所述光刻装置发出光刻控制指令。如图1所示，所述待刻信息输出调制控制器具体包括待刻信息接收模块、编码信息接收模块、运算控制模块、以及控制信号输出模块。其中，所述待刻信息接收模块用于接收点阵形式的待刻信息，并将接收到的点阵形式的待刻信息发送至运算控制模块。所述待刻信息接收模块接收的点阵形式的待刻信息，是由前述的待刻信息输入单元中的信息转换模块转换而来的。所述编码信息接收模块用于接收编码信息，并将接收到的编码信息发送至运算控制模块。本专利技术中，所述编码信息来自于待刻工件位置信息反馈单元。具体而言，所述待刻工件位置信息反馈单元为设置于气浮转台上的编码器。所述编码器实时向待刻信息输出调制控制器发出编码信息，所述编码信息对应反映出待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息。也就是说，在光刻过程中，气浮转台连同待刻工件是相对于光刻装置转动的，那么，为了确定在当前的下一时刻的具体光刻操作，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置，其特征在于，所述操作台为气浮转台，所述待刻工件被固定设置于所述气浮转台的台面上；还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器；其中，所述待刻信息输入单元接收外部输入的待刻信息，并将所述待刻信息发送至待刻信息输出调制控制器；所述待刻信息输出调制控制器根据接收到的待刻信息、并结合所述待刻工件位置信息反馈单元反馈的待刻工件位置信息向所述光刻装置发出光刻控制信号；所述光刻装置根据所述光刻控制信号对所述待刻工件进行光刻。

【技术特征摘要】
2016.03.18 CN 20161016937111.一种快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工
件进行光刻的光刻装置，其特征在于，所述操作台为气浮转台，所述待刻工
件被固定设置于所述气浮转台的台面上；
还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入
单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工
件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述
光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器；
其中，所述待刻信息输入单元接收外部输入的待刻信息，并将所述待刻
信息发送至待刻信息输出调制控制器；
所述待刻信息输出调制控制器根据接收到的待刻信息、并结合所述待刻
工件位置信息反馈单元反馈的待刻工件位置信息向所述光刻装置发出光刻控
制信号；
所述光刻装置根据所述光刻控制信号对所述待刻工件进行光刻。
2.如权利要求1所述的快速光刻系统，其特征在于，所述光刻装置是由
多根光纤按预定形式排列固定而构成的光纤束；
所述光纤束根据光刻控制指令而射出光或关闭关射出。
3.如权利要求2所述的快速光刻系统，其特征在于，在每根光纤的起始
端均设置有对应的光源，且每个光源均设置有对应的通断控制器；
所述待刻信息输出调制控制器发出的光刻控制信号分别控制各个通断控
制器的打开或关闭，以控制光纤束中对...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞杰，彭强，
申请(专利权)人：天津中精微仪器设备有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12