一种可控滴液的水膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可控滴液的水膜装置，包括：用于向前运送硅片的传送辊轮组件、间隔排列于传送辊轮组件上方的多个喷淋机构、给所有喷淋机构供水的储水桶。喷淋机构包括：位于传送辊轮组件正上方的滴液盒、与滴液盒连接的隔膜泵、连接隔膜泵与储水桶的出水管。所有隔膜泵的开关状态及流量由一工控机统一控制，滴液盒的底面设有均匀设有出水孔，出水孔的顶部为圆柱孔、底部为直径由上至下逐渐减小的锥形孔。本实用新型专利技术的滴液方式更可靠、自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池生产设备
，尤其涉及一种可控滴液的水膜装置。
技术介绍
在太阳能硅片链式湿法刻蚀处理设备中，需要去除扩散后硅片边缘PN结，防止上下短路,因此对刻蚀线、刻蚀量要求很高，硅片通过辊轮进入药液反应区时，药液所产生的“黄烟”会对硅片上表面腐蚀，也有可能导致边缘过刻的现象，这种现象是在生产中影响硅片品质不可控制的因素。因此，现有技术中在进行湿法刻蚀前通常需要在硅片上表面喷淋一层水膜，从而隔绝刻蚀工艺过程对硅片正面PN结的破坏，然后经过混酸溶液进行边缘和背面腐蚀，以达到刻蚀目的。目前已出现了能在硅片表面产生保护水膜的水膜装置，例如公告号CN205231093U技术专利，其公开了一种太阳能电池湿法刻蚀的水膜装置，包括：传送辊轮、喷淋机构和水箱等，喷淋机构内设有用于调节喷淋流量的节流阀。这种结构的水膜装置虽然能够向硅片表面喷淋液体，但喷淋机构的喷淋速度及流量需通过人工手动调节节流阀控制，在大批量的工业生产中使用起来非常的不方便，调节精度低且浪费人力资源。并且，该水膜装置采用喷淋管喷淋出水，喷淋速度快时呈水柱喷出，喷淋速度慢时呈珠状不断砸落在硅片上，这都会稀释大大硅片上的药液，造成硅片上的药液不均匀，影响硅片生产质量。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出一种可控滴液的水膜装置，该水膜装置的滴液方式更加可靠，水膜薄且节约水量，硅片的生产质量好，同时兼备在工控机上显示、调节水量大小的功能，便于控制水膜的厚度。本技术采用的技术方案是，设计一种可控滴液的水膜装置，包括：用于向前运送硅片的传送辊轮组件、间隔排列于传送辊轮组件上方的多个喷淋机构、给所有喷淋机构供水的储水桶。喷淋机构包括：位于传送辊轮组件正上方的滴液盒、与滴液盒连接的隔膜泵、连接隔膜泵与储水桶的出水管。所有隔膜泵的开关状态及流量由一工控机统一控制。优选的，滴液盒的底面设有均匀设有点水针，点水针内设有出水孔，出水孔的顶部为连通至滴液盒的圆柱孔、底部为直径由上至下逐渐减小的锥形孔。优选的，储水桶连接有补水管，补水管上安装有气动水阀，储水桶内设有检测水位的液位检测组件，液位检测组件和气动水阀均与工控机连接。工控机接收液位检测组件的检测信号，并控制气动水阀的开关状态。其中，液位检测组件包括：设于储水桶底部的低液位传感器和设于储水桶中部的中液位传感器。优选的，液位检测组件还包括设于储水桶顶部的高液位保护传感器。优选的，传送辊轮组件的一端设有用于感应硅片的检测传感器，检测传感器与工控机连接，工控机接收检测传感器的检测信号，并控制隔膜泵的开关状态。本技术的喷淋机构内设有可调节出液量大小的隔膜泵，所有喷淋机构中隔膜泵均连接一工控机，通过工控机实现喷淋机构的统一自动调节水量，并能够在工控机上显示水膜装置的当前状态，针对不同类型的硅片时只需要向工控机输入不同指令即可，实现高度自动化的滴液控制。更优的，滴液盒设有特殊结构的出水孔，使得水呈很细的线型流出，以确保硅片表面覆盖一层薄薄的水膜，对纯水的消耗小，同时减少了大量水掉落到硅片表面稀释药液的问题，提高硅片的生产质量。附图说明下面结合实施例和附图对本技术进行详细说明，其中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中出水孔的剖面示意图。具体实施方式如图1所示，本技术提出的水膜装置，包括：传送辊轮组件1、多个喷淋机构、储水桶2、补水管3、气动水阀4、液位检测组件及工控机。传送辊轮组件1由多个传动辊轮间隔排列构成，硅片5从传送辊轮组件2的一端上料，硅片5支撑在至少两个传送辊轮上并随传送辊轮的转动向前运动，再从传送辊轮组件1的另一端下料。传送辊轮组件1的上方设有一用于安装喷淋机构的支撑板6，多个喷淋机构间隔安装在该支撑板6上，喷淋机构的排列方向与硅片5运送的方向相同，储水桶2与所有喷淋机构连接供水，硅片5从喷淋机构下方经过时，喷淋机构将水喷淋在硅片5表面上形成保护水膜。喷淋机构包括：滴液盒7、隔膜泵8和出水管9，滴液盒7设于传送辊轮组件1的正上方，隔膜泵8的出口接通滴液盒7，隔膜泵8的进口通过出水管9接通储水桶2，滴液盒7滴水的快慢由隔膜泵8控制。所有喷淋机构内的隔膜泵8均连接至工控机，通过工控机统一控制隔膜泵8的开关状态和流量，传送辊轮组件1的一端设有用于感应硅片5的检测传感器，检测传感器与工控机连接，工控机在接收到检测传感器的检测信号时，启动隔膜泵8并控制其运行状态。不同类型的硅片只需向工控机输入不同指令即可完成隔膜泵的调节，自动化程度高，同时，工控机通常都具备显示器，水膜装置当前的运行状态也可以直观的从工控机上显示出来。较优的，滴液盒7的底面设有均匀设有点水针10，如图2所示，点水针10的顶部为圆柱、底部为直径由上至下逐渐减小的圆锥，点水针10内设有出水孔11，出水孔11的顶部为圆柱孔、底部为直径由上至下逐渐减小的锥形孔，锥形孔的底端贯通至点水针10的底面且未封闭。出水孔11的特殊结构使得水呈很细的线型流出，在硅片5的表面形成一层薄薄的水膜，避免了现有技术中大量的水掉入硅片表面稀释药液的缺陷，提高硅片的生产质量。如图1所示，储水桶2内设有液位检测组件，补水管3的一端与储水桶2连接、另一端连接至纯水供应源，气动水阀4安装在补水管3上，液位检测组件和气动水阀4均与工控机连接。液位检测组件检测储水桶3内的水位，并将检测信号发送至工控机，工控机根据检测信号控制气动水阀4的开关状态。其中，液位检测组件包括：低液位传感器12和中液位传感器13，低液位传感器12设于储水桶2的底部，中液位传感器13设于储水桶2的中部。工控机接收到低液位传感器12发出的低液位信号时，控制气动水阀4打开，补水管3开始向储水桶2内补水。工控机接收到中液位传感器13发出的中液位信号时，工控机控制气动水阀4关闭，补水管3停止向储水桶2内补水。较优的，液位检测组件还包括高液位保护传感器14，高液位保护传感器14设于储水桶2的顶部。工控机接收高液位保护传感器14发出的高液位信号时，控制气动水阀4关闭。高液位保护传感器14起到保护作用，防止中液位传感器13失效时，补水管3持续向储水桶2中补水。具体工作过程如下，水膜装置开始运行时，首先储水桶2中的液位检测组件发送信号至工控机，工控机控制气动水阀3开启补水到中液位，传送辊轮组件1向前运送硅片5，当检测传感器感应到硅片5后，工控机启动隔膜泵8，并调节隔膜泵8的开关时间和流量，以确保水膜可以铺满硅片5。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可控滴液的水膜装置，包括：用于向前运送硅片的传送辊轮组件、间隔排列于所述传送辊轮组件上方的多个喷淋机构、给所有所述喷淋机构供水的储水桶，其特征在于，所述喷淋机构包括：位于所述传送辊轮组件正上方的滴液盒、与所述滴液盒连接的隔膜泵、连接所述隔膜泵与储水桶的出水管；所有所述隔膜泵均电连接至一工控机上。

【技术特征摘要】
1.一种可控滴液的水膜装置，包括：用于向前运送硅片的传送辊轮组件、间隔排列于所述传送辊轮组件上方的多个喷淋机构、给所有所述喷淋机构供水的储水桶，其特征在于，所述喷淋机构包括：位于所述传送辊轮组件正上方的滴液盒、与所述滴液盒连接的隔膜泵、连接所述隔膜泵与储水桶的出水管；所有所述隔膜泵均电连接至一工控机上。2.如权利要求1所述的水膜装置，其特征在于，所述滴液盒的底面设有均匀设有点水针，所述点水针内设有出水孔，所述出水孔的顶部为连通至所述滴液盒的圆柱孔、底部为直径由上至下逐渐减小的锥形孔。3.如权利要求1或2所述的水膜装置，其特征在于，所述储水桶连接有补水管，所述补水管上安装有气动水阀，所述储水桶...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，成旭，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32