一种拆卸工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种拆卸工具，包括：螺杆；支撑部，包括支撑体和安装于所述支撑体下表面的支撑腿，所述支撑体的中部设有与所述螺杆相适配的内螺纹通孔；卡位活动头，与所述螺杆的一端相连接，所述卡位活动头包括螺母和位于所述螺母的螺孔内的两个定位卡销，所述螺孔的两端分别设有正牙螺纹和反牙螺纹，两个所述定位卡销的表面分别设有与所述正牙螺纹和所述反牙螺纹相适配的外螺纹。本实用新型专利技术的拆卸工具使用简单方便、拆卸速度快、减少不必要的机台uptime损失，节约成本，提高拆卸效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械的安装拆卸
，特别是涉及一种拆卸工具。
技术介绍
在机台的拆卸清洗过程中，对于嵌套于部件内部的插入件，很难将它拆卸下来，例如，半导体界300mmChamber机台常常遇到这样的问题：如图1所示，缓冲腔1与反应腔2之间连接的插入件(Insert)3无法从机台上快速拆卸下来清洗。目前半导体业界并没有合理的方案来解决这种插入件的拆卸问题，所以常常会导致需要拆卸大量的其它部件：输气管道、缝阀、过滤器和反应腔等，从而浪费大量的时间、人力和材料，造成不必要的机台正常运行时间的损失。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种拆卸工具。用于解决现有技术中因难以拆卸插入件而导致时间、人力、成本浪费及影响工作效率的问题。为实现上述目的，本技术提供一种拆卸工具，包括：螺杆；支撑部，包括支撑体和安装于所述支撑体下表面的支撑腿，所述支撑体的中部设有与所述螺杆相适配的内螺纹通孔；卡位活动头，与所述螺杆的一端相连接，所述卡位活动头包括螺母和位于所述螺母的螺孔内的两个定位卡销，所述螺孔的两端分别设有正牙螺纹和反牙螺纹，两个所述定位卡销的表面分别设有与所述正牙螺纹和所述反牙螺纹相适配的外螺纹。于本技术的一实施方式中，所述螺孔包括第一部分及第二部分，所述螺孔第二部分位于所述螺孔第一部分的内侧，且所述螺孔第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸；两个所述定位卡销均包括第一部分和第二部分，所述定位卡销第一部分的横向尺寸小于所述定位卡销第二部分的横向尺寸；所述定位卡销第二部分位于所述螺孔第二部分内，所述定位卡销第一部分位于所述螺孔第一部分内，且所述定位卡销第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸。于本技术的一实施方式中，所述螺孔的中部设有隔离件，所述正牙螺纹及所述反牙螺纹分别位于所述隔离件两侧的所述螺孔内，所述隔离件适于隔离两个所述定位卡销。于本技术的一实施方式中，所述螺杆的另一端安装有手柄。于本技术的一实施方式中，所述支撑体为开合螺母。于本技术的一实施方式中，还包括轴承，所述轴承套接于所述螺母的外侧，所述轴承的外侧与所述螺杆相连接。于本技术的一实施方式中，所述支撑腿至少设置有三根，且所述支撑腿均匀分布于所述支撑体下表面的周围。于本技术的一实施方式中，所述拆卸工具适用于一种插入件的拆卸，所述插入件嵌套于一被嵌主体的内部，所述插入件中部设有通道，所述插入件的一端嵌套于所述被嵌主体的内部，另一端位于所述被嵌主体外部，且所述插入件位于所述被嵌主体内部的一端的端面与所述被嵌主体之间设有一卡位槽，所述卡位槽与两个所述定位卡销相适配。如上所述，本技术的拆卸工具，具有以下有益效果：使用简单方便、拆卸速度快、减少不必要的机台uptime损失，节约成本，提高效率。附图说明图1为现有技术中缓冲腔与反应腔连接的示意图。图2为本技术的拆卸工具的结构示意图。图3为卡位活动头的剖视图。图4为本技术的插入件与嵌入主体的结构示意图。图5为图4的左视图。图6为本技术的拆卸工具的使用状态图。元件标号说明1缓冲腔2反应腔3插入件31通道4拆卸工具41螺杆42支撑部421支撑体422支撑腿43卡位活动头431螺母432定位卡销44手柄5被嵌主体6卡位槽7隔离件具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。请参阅图2，本技术提供一种拆卸工具4，包括：螺杆41；支撑部42，包括支撑体421和安装于所述支撑体421下表面的支撑腿422，所述支撑体421的中部设有与所述螺杆41相适配的内螺纹通孔(未示出)；卡位活动头43，与所述螺杆41的一端相连接，所述卡位活动头43包括螺母431和位于所述螺母431的螺孔内的两个定位卡销432，所述螺孔的两端分别设有正牙螺纹和反牙螺纹，两个所述定位卡销432的表面分别设有与所述正牙螺纹和所述反牙螺纹相适配的外螺纹。所述螺杆41的外螺纹与所述支撑体421中部的内螺纹通孔相适配，用于将所述卡位活动头43水平移动，适于将所述卡位活动头43伸入到插入件3内部所需的位置。所述卡位活动头43内的两个所述定位卡销432与所述螺母431配合，根据正反螺纹原理，所述螺母431的顺时针或逆时针旋转使得定位卡销432分别向上和向下垂直位移，具体的，所述螺母431顺时针或逆时针旋转对应两个所述定位卡销432同时向外伸或同时向内缩，例如，所述螺母431的顺时针旋转，则上方的所述定位卡销432向上运动，下方的所述定位卡销432向下移动，从而将两个所述定位卡销432逐渐伸出螺母431外形成一种向两侧的推力，用于将被嵌主体5向外侧推移而微形变，这时方便取出插入所述被嵌主体5内部的插入件3；反之，所述螺母431的逆时针旋转，则上方的所述定位卡销432向下运动，下方的所述定位卡销432向上移动，从而将两个所述定位卡销432缩进所述螺母431内，方便携带和存储。请参阅图3，所述螺孔包括第一部分及第二部分，所述螺孔第二部分位于所述螺孔第一部分的内侧，且所述螺孔第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸；两个所述定位卡销432均包括第一部分和第二部分，所述定位卡销432第一部分的横向尺寸小于所述定位卡销432第二部分的横向尺寸；所述定位卡销432第二部分位于所述螺孔第二部分内，所述定位卡销432第一部分位于所述螺孔第一部分内，且所述定位卡销432第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸。两个所述定位卡销432对称分布于所述螺孔内，由于两个所述定位卡销432的第二部分均位于所述螺孔中部的内部，两个所述定位卡销432的第一部分分别位于所述螺孔两端的内部，且两个所述定位卡销432的第二部分的横向尺寸均大于所述螺孔两端的横向尺寸，保证两个所述定位卡销432不会因为过度旋转螺母431而从螺孔中脱落。作为示例，所述螺孔的中部设有隔离件7，所述正牙螺纹及所述反牙螺纹分别位于所述隔离件7两侧的所述螺孔内，所述隔离件7适于隔离两个所述定位卡销432。作为示例，所述螺杆41的另一端安装有手柄44。便于手握旋转螺杆41。作为示例，所述支撑体421为开合螺母431。可以根据螺杆41的型号替换不同的开合螺母431，安装方便，使用范围广。作为示例，还包括轴承(未示出)，所述轴承套接于所述螺母431的外侧，所述轴承的外侧与所述螺杆41相连接。由于所述轴承的外侧与所述螺杆41相连接，所述轴承套接于所述螺母431的外侧，所以轴承不影本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拆卸工具，其特征在于，包括：螺杆；支撑部，包括支撑体和安装于所述支撑体下表面的支撑腿，所述支撑体的中部设有与所述螺杆相适配的内螺纹通孔；卡位活动头，与所述螺杆的一端相连接，所述卡位活动头包括螺母和位于所述螺母的螺孔内的两个定位卡销，所述螺孔的两端分别设有正牙螺纹和反牙螺纹，两个所述定位卡销的表面分别设有与所述正牙螺纹和所述反牙螺纹相适配的外螺纹。

【技术特征摘要】
1.一种拆卸工具，其特征在于，包括：螺杆；支撑部，包括支撑体和安装于所述支撑体下表面的支撑腿，所述支撑体的中部设有与所述螺杆相适配的内螺纹通孔；卡位活动头，与所述螺杆的一端相连接，所述卡位活动头包括螺母和位于所述螺母的螺孔内的两个定位卡销，所述螺孔的两端分别设有正牙螺纹和反牙螺纹，两个所述定位卡销的表面分别设有与所述正牙螺纹和所述反牙螺纹相适配的外螺纹。2.根据权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，所述螺孔包括第一部分及第二部分，所述螺孔第二部分位于所述螺孔第一部分的内侧，且所述螺孔第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸；两个所述定位卡销均包括第一部分和第二部分，所述定位卡销第一部分的横向尺寸小于所述定位卡销第二部分的横向尺寸；所述定位卡销第二部分位于所述螺孔第二部分内，所述定位卡销第一部分位于所述螺孔第一部分内，且所述定位卡销第二部分的横向尺寸大于所述螺孔第一部分的横向尺寸。3.根据权利要求2所述的拆卸工具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨维军，马彪，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11