一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器制造技术

一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，它包括N个固定电容。上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。所述射频电源与固定电容之间连接一系列继电器；所述固定电容与继电器至少两个。本发明专利技术设计科学、结构合理，所有电子元器件均为固定式，并且最大限度的利用每个元器件，易于控制，成本低。可以简单、可靠的实现等离子体设备的阻抗匹配。最大限度地降低设备的制造成本和维护成本。可广泛地应用在半导体设备技术领域中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子匹配器，确切地说是一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，属于半导体设备应用

技术介绍
在半导体
中，等离子体设备已经得到了广泛的应用。等离子体设备腔体不论哪一种耦合方式，都包括射频电源和电子匹配器。现有的半导体设备腔体采用自动匹配器，存在着结构复杂，成本高。而可变电容式匹配器，在不同的工艺中用步进电机控制到某个点，此种匹配器的可变电容、步进电机、驱动器及其控制电路复杂，使用成本及维护成本高。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，提供一种多段式电子匹配器，主要解决现有的半导体设备等离子腔体的匹配器结构复杂，成本高及不易维护的问题。为实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案：一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，包括N个固定电容，上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。进一步地，射频电源与固定电容之间连接一系列继电器。进一步地，固定电容与继电器至少两个。进一步地，固定电容的输入端靠近射频电源一侧。进一步地，对于不同的CCP耦合等离子体设备腔体，或者ICP耦合等离子体设备腔体，依据等离子体腔体阻抗大小不同，选择将固定电感接于射频电源端或腔体端。本专利技术的有益效果及特点：设计科学、结构合理，所有电子元器件均为固定式，并且最大限度的利用每个元器件，易于控制，成本低。可以简单、可靠的实现等离子体设备的阻抗匹配。最大限度地降低设备的制造成本和维护成本。可广泛地应用在半导体设备
中。附图说明图1是本专利技术的电路原理图。图中所示：继电器1-4及6；固定电容5、7、9、11及12；输入端8；射频输出端10。参照图1，一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，包括射频输出端10、输入端8。它还包括继电器1-4及6；固定电容5、7、9、11及12。上述一列固定电容5、7、9、11及12相互间串联，并连接在射频电源与等离子体设备的腔体之间。上述的每个固定电容靠近射频电源一侧都可以连接于射频电源，在不同的工艺中，由于等离子体设备腔体的阻抗不同，可以选择使射频电源连接到某一个固定电容的输入端。选择一固定电感。固定电感的一端接地，另一端则接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备一侧。上述固定电容的数量，可根据设备的实际情况选择具体数量，但至少为两个。本专利技术的工作原理：依据等离子体设备腔体的不同工艺的不同阻抗，设计固定电容的值，当用继电器闭合某一段时，其它的几个继电器处于断开状态，射频电流从射频输入端流进闭合的继电器，再经过继电器与射频输出端之间的所有串联电容，从射频输出端流出。本专利技术适用不同规格的等离子体设备腔体，只要设计不同的匹配电容值即可。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，其特征在于：它包括N个固定电容，上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，其特征在于：它包括N个固定电容，上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕欣，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21