一种柔性阀压电微泵制造技术

本实用新型专利技术公开一种柔性阀压电微泵，包括泵腔、压电层、四个柔性阀、入口和出口，所述的泵腔上部设有压电层，所述的泵腔左侧设有入口，所述的泵腔右侧设有出口；所述的泵腔内部设有四个柔性阀；所述的四个柔性阀中的两个设于泵腔的顶部，与所述的泵腔的顶部呈顺时针45度角，所述的四个柔性阀中的另外两个设于泵腔的底部，与所述的泵腔的底部呈逆时针45度角。本实用新型专利技术解决现有技术中普通单向阀容易对传输的悬浮粒子造成损伤，无法用于细胞传输的问题，工作电压低、发热少。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微泵，尤其涉及一种柔性阀压电微泵。
技术介绍
微泵是μ-TAS系统(微型全分析系统)的关键执行部件，用于实现μ-TAS系统中流体的传输和分配，在医疗卫生、航空航天、微电子技术等领域应用十分广泛。扩张/收缩管型无阀微泵是目前研究比较活跃的领域，它是1993年瑞典E.Stemme等人提出的，利用出入口结构的不对称性对流体产生的阻力的不同实现单向流动，但这种类型的微泵单向流动性能不佳。有阀微泵通常单向流动性能较好，但普通单向阀容易对传输的悬浮粒子造成损伤，无法用于细胞传输。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种柔性阀压电微泵，解决现有技术中普通单向阀容易对传输的悬浮粒子造成损伤，无法用于细胞传输的问题，工作电压低、发热少。为实现上述目的，本技术采用下述技术方案：一种柔性阀压电微泵，包括泵腔、压电层、四个柔性阀、入口和出口，所述的泵腔上部设有压电层，所述的泵腔左侧设有入口，所述的泵腔右侧设有出口；所述的泵腔内部设有四个柔性阀；所述的四个柔性阀中的两个设于泵腔的顶部，与所述的泵腔的顶部呈顺时针45度角，所述的四个柔性阀中的另外两个设于泵腔的底部，与所述的泵腔的底部呈逆时针45度角。所述的设置于泵腔顶部的柔性阀与设置于泵腔底部的柔性阀间隔一定的距离。所述的泵腔的截面长为600μm，宽为100μm。本技术的有益效果：(1)本技术的柔性阀压电微泵只需较小的振动位移即可产生较大的压力波动；(2)工艺简单、易于制造；工作电压低、发热少；(3)对所传输的液体、气体类型没有限制；(4)柔性阀对悬浮粒子损伤小，可用于传输包含DNA及其它生物试样的液体等。附图说明图1为一种柔性阀压电微泵的剖面图；1-入口，2-出口，3-泵腔，4-柔性阀，5-压电层。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细说明：如图1所示，一种柔性阀压电微泵，包括泵腔3、压电层5、四个柔性阀4、入口1和出口2，所述的泵腔3上部设有压电层5，所述的泵腔3左侧设有入口1，所述的泵腔3右侧设有出口2；所述的泵腔3内部设有四个柔性阀4；所述的四个柔性阀4中的两个设于泵腔3的顶部，与所述的泵腔3的顶部呈顺时针45度角，所述的四个柔性阀4中的另外两个设于泵腔3的底部，与所述的泵腔3的底部呈逆时针45度角。所述的设置于泵腔3顶部的柔性阀4与设置于泵腔3底部的柔性阀4间隔一定的距离。所述的泵腔3的截面长为600μm，宽为100μm。当加入的交流电压使压电层5扩张时，泵腔3的体积减小，泵腔3内压力增大，泵腔3内流体从入口和出口分别流出，由于柔性阀4的作用，从出口2流出的流体比从入口1流出的多；当加入的交流电压使压电层5收缩时，泵腔3的体积增加，泵腔3内压力减小，流体从入口1和出口2分别流入泵腔3内，由于柔性阀4的作用，从入口1流入的比从出口2流入的多。这样每个交流电压周期内在出口能获得时间平均意义上的净流动。上述虽然结合附图对本技术的具体实施方式进行了描述，但并非对本技术保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本技术的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本技术的保护范围以内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性阀压电微泵，其特征在于，包括泵腔、压电层、四个柔性阀、入口和出口，所述的泵腔上部设有压电层，所述的泵腔左侧设有入口，所述的泵腔右侧设有出口；所述的泵腔内部设有四个柔性阀；所述的四个柔性阀中的两个设于泵腔的顶部，与所述的泵腔的顶部呈顺时针45度角，所述的四个柔性阀中的另外两个设于泵腔的底部，与所述的泵腔的底部呈逆时针45度角。

【技术特征摘要】
1.一种柔性阀压电微泵，其特征在于，包括泵腔、压电层、四个柔性阀、入口和出口，所述的泵腔上部设有压电层，所述的泵腔左侧设有入口，所述的泵腔右侧设有出口；所述的泵腔内部设有四个柔性阀；所述的四个柔性阀中的两个设于泵腔的顶部，与所述的泵腔的顶部呈顺时针45度角，所述的四个柔性阀中的另...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏长智，
申请(专利权)人：济南大学，
类型：新型
国别省市：山东;37