一种用于扩散工序的石英舟制造技术

技术编号:15044097 阅读:203 留言:0更新日期:2017-04-05 17:03
本实用新型专利技术提供了一种用于扩散工序的石英舟,其使得石英舟的使用周期长,降低了生产成本。其包括舟支架,所述舟支架包括有两侧板,所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构,每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板,所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构,所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔,所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆,所述贯穿孔内插装有套管,所述套管用于插装舟叉。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池的
,具体为一种用于扩散工序的石英舟。
技术介绍
晶体硅太阳能电池制造工序包括制绒、扩散、边缘刻蚀、镀膜、丝网印刷。其中,扩散工序中,硅片的承载器具是石英舟。石英舟的结构如图1所示,包括插放硅片的卡口、舟支架和用于挑舟的套管。扩散工序的一般步骤如下,先将硅片插放在石英舟的卡口中,然后用棒状的舟叉插入套管中,将石英舟挑起放置在舟托架上,舟托架与传送装置相连,将石英舟传送入扩散炉中,进而硅片在扩散炉中完成扩散工序。由于,舟叉与套管均为刚性材料,在挑舟的过程中,舟叉容易压碎套管的上沿。当套管的破损情况严重时,需要更换石英舟。石英舟造价昂贵,石英舟的更换无疑增加了生产成本。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提供了一种用于扩散工序的石英舟,其使得石英舟的使用周期长,降低了生产成本。一种用于扩散工序的石英舟,其特征在于:其包括舟支架,所述舟支架包括有两侧板,所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构,每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板,所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构,所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔,所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆,所述贯穿孔内插装有套管,所述套管用于插装舟叉。其进一步特征在于:所述套管的两端面和所述贯穿孔对应于所述垂直支杆的端面相平齐,确保套管所受到的舟叉的力可全部传递至舟支架、进而确保套管的安全性;所述舟支架的长度方向包括有上横梁、下横梁,所述上横梁、下横梁的对应位置均布有所述卡口结构,确保硅片的精准定位。采用本技术后,先将硅片插放在石英舟的对应卡口结构中,然后用棒状的舟叉插入套管中,将石英舟挑起放置在舟托架上,舟托架与传送装置相连,将石英舟传送入扩散炉中,舟叉在套管中的上下撬动,传递至舟支架上的贯穿孔,由舟支架所对应的由垂直支杆、下连接板来分摊压力,从而可避免套管被压碎,其使得石英舟的使用周期长,降低了生产成本。附图说明图1为现有的石英舟的结构示意图;图2为本技术的石英舟的结构示意图;图中各序号所对应的标注名称如下:舟支架1、侧板2、卡口结构3、垂直支杆4、上连接板5、下连接板6、镂空结构7、贯穿孔8、套管9、上横梁10、下横梁11。具体实施方式一种用于扩散工序的石英舟,见图2:其包括舟支架1,舟支架1包括有两侧板2,舟支架1的长度方向的横梁上均布有卡口结构3,每块侧板2包括两端的垂直支杆4、上连接板5、下连接板6,上连接板5、下连接板6之间设置有镂空结构7,下连接板的6长度方向内部设置有贯穿孔8,贯穿孔8分别贯穿对应位置的垂直支杆4,贯穿孔8内插装有套管9,套管9用于插装舟叉。套管9的两端面和贯穿孔8对应于垂直支杆4的端面相平齐,确保套管9所受到的舟叉的力可全部传递至舟支架1、进而确保套管9的安全性;舟支架1的长度方向包括有上横梁10、下横梁11,上横梁10、下横梁11的对应位置均布有卡口结构3,确保硅片的精准定位。其工作原理如下:先将硅片插放在石英舟的对应卡口3结构中,然后用棒状的舟叉插入套管9中,将石英舟挑起放置在舟托架上,舟托架与传送装置相连,将石英舟传送入扩散炉中,舟叉在套管9中的上下撬动,传递至舟支架1上的贯穿孔8,由舟支架1所对应的由垂直支杆4、下连接板6来分摊压力,从而可避免套管被压碎。以上对本技术的具体实施例进行了详细说明,但内容仅为本技术创造的较佳实施例,不能被认为用于限定本技术创造的实施范围。凡依本技术创造申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扩散工序的石英舟,其特征在于:其包括舟支架,所述舟支架包括有两侧板,所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构,每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板,所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构,所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔,所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆,所述贯穿孔内插装有套管,所述套管用于插装舟叉。

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散工序的石英舟,其特征在于:其包括舟支架,所述舟支架包括有两侧板,所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构,每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板,所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构,所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔,所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆,所述贯穿孔...

【专利技术属性】
技术研发人员:邱军辉缪乾王雪亮程芳陆佳罗茂盛张俊鹏
申请(专利权)人:江阴鑫辉太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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