【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种超声流微泵，尤其涉及一种反射型超声流微泵。
技术介绍
微泵是μ-TAS系统(微型全分析系统)的关键和基础技术，用于实现μ-TAS系统中流体的传输和分配。有阀微泵通常采用机械部件实现单向流控制，单向流动性能较好，但由于可动部件磨损和疲劳破坏，小型化和使用寿命不够理想。1993年，瑞典E.Stemme等人设计出扩张/收缩管型无阀微泵，利用出入口结构的不对称性对流体产生的阻力的不同实现单向流动，是目前无阀微泵研究比较活跃的领域，但这种类型的微泵单向流动性能不佳。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种反射型超声流微泵，这种微泵无活动部件，单向流动性能好。为实现上述目的，本技术采用下述技术方案：一种反射型超声流微泵，包括内部设有泵腔的泵体，所述的泵体采用圆柱形轴对称结构，所述的泵腔包括入口区、直射区、反射区。所述的泵腔底部设有入口，所述的泵腔顶部设有出口；所述的入口区设于入口的上侧，所述的入口区外侧设有直射区，所述的直射区下侧设有压电层，所述的直射区上侧设有反射区，所述的反射区的反射面为45度面。所述的入口边缘线与所述的压电层的底部在一条直线上。所述的泵腔的1/2截面中泵腔腔体宽度均为50μm。所述的泵腔的1/2截面中入口直径为20μm，所述的出口直径为20μm。所述的压电层的宽度为50μm，所述的压电层的高度为10μm。所述直射区截面为矩形。所述的反射区高度为50μm。本技术的有益效果：(1)本技术无活动部件，可靠性高；(2)工艺简单、易于集成；(3)对所传输的液体、气体类型没有限制；(4)对悬浮粒子损伤小，可用于传输包含DNA及其它...
【技术保护点】
一种反射型超声流微泵，其特征在于，包括内部设有泵腔的泵体，所述的泵体采用圆柱形轴对称结构，所述的泵腔包括入口区、直射区、反射区；所述的泵腔底部设有入口，所述的泵腔顶部设有出口；所述的入口区设于入口的上侧，所述的入口区外侧设有直射区，所述的直射区下侧设有压电层，所述的直射区上侧设有反射区，所述的反射区的反射面为45度面。
【技术特征摘要】
1.一种反射型超声流微泵，其特征在于，包括内部设有泵腔的泵体，所述的泵体采用圆柱形轴对称结构，所述的泵腔包括入口区、直射区、反射区；所述的泵腔底部设有入口，所述的泵腔顶部设有出口；所述的入口区设于入口的上侧，所述的入口区外侧设有直射区，所述的直射区下侧设有压电层，所述的直射区上侧设有反射区，所述的反射区的反射面为45度面。2.如权利要求1所述的一种反射型超声流微泵，其特征在于，所述的入口边缘线与所述的压电层的底部在一条直线上。3.如权利要求1所述的一种反射型超声流微泵，其特征在于，所述的泵腔的1/2截面中泵...
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