【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种通过测量标准尺寸和材质的曲面物体上的若干个点的位置坐标和高度值,测算出另一个相同尺寸和材质的曲面物体的曲面上点的高度值,特别涉及可透光材质如显微镜的载玻片曲面高度值的测算方法,并应用于显微扫描以快速成像。
技术介绍
任何一种物体的外表面均可视为规则或者不规则的曲面。现代先进工艺制造出来的精密元器件的表面已经非常“平整”了,人的肉眼很难看出物体曲面“高度”的变化。但是在某些特别精密的科学领域,如光学显微镜所放大的微观世界中,细微的变化都会被放大出很多倍从而对观测的结果和通过显微镜拍摄出来的图像质量产生巨大的影响。尤其是显微镜载玻片曲面高度的变化,会使得载玻片上的样本与显微镜镜头之间的距离因为载玻片曲面高度发生细微的改变而变化。在低倍镜放大下,景深深(景深是指在显微镜镜头或其他成像器前沿能够取得清晰图像的成像所测定的被摄物体前后距离范围。在聚焦完成后,在焦点前后的范围内都能形成清晰的像,这一前一后的距离范围,便叫做景深),对样本成像的影响有限,不需要调整调整镜头与载玻片的距离,样本与镜头的距离仍然落在景深范围内,依旧可获得清晰的像。但是在高倍放大下(如100倍以上),景深浅,载玻片曲面细微的高度变化(微米量级)就会使得载玻片上的样本与显微镜头之间的距离超过景深的范围,观察的图像就是是模糊的,拍摄的图像也是模糊的。如上所述,载玻片曲面高度变化会对高倍放大情况下,图像质量的产生巨大的影响。同一块载玻片上会铺满样本(样本即放置于载玻片上被观测的物体,同一载玻片上会放置若干个样本,每个样本所覆盖的载玻片的一定区域范围定义为面域),一次观测需要对若干 ...
【技术保护点】
一种曲面物体的曲面高度值的测算方法,引入标准曲面物体,将标准曲面物体上的测量区域范围划分成为若干个面域,测量出每一个面域内标准测量点的位置坐标和若干个标准测量点高度值;取另一个待测曲面物体,该待测曲面物体必须与标准曲面物体具有相同的尺寸以及相同材质;将待测曲面物体上的测量区域范围划分出与标准曲面物体相同数目的面域;测量待测曲面物体测量区域范围内若干个标准测量点的位置坐标和高度值,并带入测算待测曲面物体高度值的方程组中,获得关于位置坐标与高度值的函数方程;将待测曲面物体曲面上任意一个面域的标准测量点位置坐标带入位置坐标与高度值的函数方程中测算获得该标准测量点的高度值。
【技术特征摘要】
1.一种曲面物体的曲面高度值的测算方法,引入标准曲面物体,将标准曲面物体上的测量区域范围划分成为若干个面域,测量出每一个面域内标准测量点的位置坐标和若干个标准测量点高度值;取另一个待测曲面物体,该待测曲面物体必须与标准曲面物体具有相同的尺寸以及相同材质;将待测曲面物体上的测量区域范围划分出与标准曲面物体相同数目的面域;测量待测曲面物体测量区域范围内若干个标准测量点的位置坐标和高度值,并带入测算待测曲面物体高度值的方程组中,获得关于位置坐标与高度值的函数方程;将待测曲面物体曲面上任意一个面域的标准测量点位置坐标带入位置坐标与高度值的函数方程中测算获得该标准测量点的高度值。2.根据权利要求1所述的一种曲面物体的曲面高度值的测算方法,其特征在于,至少要测量出标准曲面物体上的测量区域范围内沿着X轴方向上边界线上全部标准测量点的高度值,沿着Y轴方向上边界线上全部标准测量点的高度值,以及相对于标准曲面物体的测量区域范围内位置坐标距离原点最远的标准测量点的高度值。3.根据权利要求1或者2所述的一种曲面物体的高度值的测算方法,其特征在于,所述的标准曲面物体与待测曲面物体上的标准测量点之间的位置坐标是一一对应关系。4.根据权利要求1或者2所述的一种曲面物体的高度值的测算方法,其特征在于,基于测量设备测量过程中所建立的三位坐标系,在测量体系的X轴方向上、Y轴方向上划分表示长度测量单位的刻度值,则标准曲面物体和待测曲面物体的标准测量点的位置坐标能够通过坐标值表示出来,高度值通过测量设备通过电子设备测量并表示出来,高度值是可被电子计算机计算的数值,高度值对应的是标准测量点在测量设备的测量体系中Z轴方向上的位置。5.一种显微镜载玻片曲面高度值的测算方法,已知一个标准载玻片,将其测量区域范围划分出若干个面域,所述的测量区域范围沿X轴方向的长度为Lx,沿着Y轴方向的长度为Ly,测量区域范围内任意一个面域上的标准测量点B点的位置坐标为(x,y),测量该点的高度值为ZB(x,y),则沿顺时针方向测量区域范围的四个角位置点的位置坐标为(0,0),(Lx,0),(Lx,Ly),(0,Ly),测量出测量区域范围内每一个面域的标准测量点位置坐标,至少测量出沿着X轴方向上和沿着Y轴方向上两条边界线的全部高度值ZB(x,0)和ZB(0,y),以及位置坐标为(Lx,Ly)的高度值ZB(Lx,Ly);取另一个待测载玻片,其与标准载玻片的尺寸相同,待测载玻片的测量区域范围的四个角位置点的位置坐标为(0,0),(Lx,0),(Lx,Ly),(0,Ly),高度值分别为ZA(0,0),ZA(Lx,0),ZA(Lx,Ly),ZA(0,Ly),则测量区域范围内必然存在一点A点,A点位置坐标为(x,y)其与标准载玻片测量区域范围内位置坐标为(x,y)的标准测量点对应,该点的高度值为ZA(x,y);联立以下方程:标准载玻片边界上的标准测量点的相对高度值计算公式:DB(x,0)=(xnB1+(ZB(x,0)-zB1)nB3)nB12+nB22+nB32]]>DB(0,y)=(ynB2+(ZB(0,y)-zB1)nB3)nB12+nB22+nB32---(1)]]>其中,zB1=ZB(0,0),zB3=ZB(Lx,0),zB4=ZB(Lx,Ly),nB1=Ly(zB1-zB3),nB2=Lx(zB1-zB5),nB3=LxLy,(nB1,nB2,nB3)为标准载玻片上经过位置坐标为(0,0),(Lx,0),(0,Ly)的三个标准测量点所构成的平面的法向量;又,待测载玻片上测量区域范围内任意一个标准测量点的相对高度值计算公式DA(x,y)=DB(x,0)+fx(x,a,Lx)+DB(0,y)+fy(y,b,Ly)+xyDA(Lx,Ly)LxLy---(2)]]>其中,fx(x,a,Lx)为待测载玻片在X轴方向上边界高度值差函数,fy(y,b,Ly)为待测载玻片在Y轴方向上边界高度值差函数;又,位置坐标为(Lx,Ly)的标准测量点的相对高度值DA(Lx,Ly)=(LxnA1+LynA2+(zA4-zA1)nA3)nA12+nA22+nA32---(3)]]>其中,zA1=ZA(0,0),zA4=ZA(0,Ly);又,nA1=Ly(zA1-zA3),nA2=Lx(zA1-zA5),nA3=LxLy,(4)其中,zA3=ZA(Lx,Ly),zA5=ZA(0,Ly);待测载玻片上测量区域范围内任意一点相对高度值DA(x,y)转为高度值ZA(x,y)公式DA(x,y)nA12+nA22+nA32=nA1x+nA2y+nA3(ZA(x,y)-zA1)---(5);]]>将前面等式(1),(2),(3),(4),(5)联立获得关于未知数a,b,zA1,zA3,zA4,zA5的方程组:DA(xi,yi)=(xnB1+(ZB(xi,0)-zB1)nB3)nB12+nB22+nB32+fx(xi,a,Lx)+(ynB2+(ZB(0,yi)-zB1)nB3)nB12+nB22+nB32+fy(yi,b,Ly)+xiyiLxLy(LxnA1+LynA2+(zA4-zA1)nA3)nA12+nA22+nA32DA(xi,yi)nA12+nA22+nA32=nA1x+nA2y+nA3(zi-zA1)nB1=Ly(zB1-zB3),nB2=Lx(zB1-zB5),nB3=LxLynA1=Ly(zA1-zA3),nA2=Lx(zA1-zA5),nA3=LxLy---(6)]]>测量获得待测载玻片测量区域范围内任意至少六个标准测量点位置坐标和高度值获得输入项(xi,yi,zi)带入方程组中,获得位置坐标与高度值的函数方程,再输...
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