溅射镍靶材生产中的冷却装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及溅射靶材生产
，更具体地说，特别涉及一种溅射镍靶材生产中的冷却装置。
技术介绍
溅射镍靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。现有的溅射靶材有金属，合金，陶瓷，硼化物等。在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象，现有技术中基本是直接将溅射靶材置于冷却背板上进行冷却，这种冷却效率较低，有时达不到使用的要求。为此，有必要设计一种溅射镍靶材生产中的冷却装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单的溅射镍靶材生产中的冷却装置。为了解决以上提出的问题，本技术采用的技术方案为：溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材、冷却背板和磁钢，多块镍靶材并列拼接后贴合安装于冷却背板上，所述磁钢安装在冷却背板的背面，所述冷却背板内设有循环冷却管道，所述冷却背板的端部还设有与循环冷却管道两端连通的冷却水进口和冷却水出口。根据本技...
【技术保护点】
溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材(1)、冷却背板(2)和磁钢(3)，多块镍靶材(1)并列拼接后贴合安装于冷却背板(2)上，所述磁钢(3)安装在冷却背板(2)的背面，其特征在于：所述冷却背板(2)内设有循环冷却管道(4)，所述冷却背板(2)的端部还设有与循环冷却管道(4)两端连通的冷却水进口(5)和冷却水出口(6)。
【技术特征摘要】
1.溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材(1)、冷却背板(2)
和磁钢(3)，多块镍靶材(1)并列拼接后贴合安装于冷却背板(2)上，所
述磁钢(3)安装在冷却背板(2)的背面，其特征在于：所述冷却背板(2)
内设有循环冷却管道(4)，所述冷却背板(2)的端部还设有与循环冷却管道
(4)两端连通的冷却水进口(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王嗣杰，
申请(专利权)人：沈阳兴工铜业有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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