一种真空罐体稳压装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空罐体稳压装置。
技术介绍
在真空喷涂旋转靶材过程中，真空喷涂罐体要求压力在负压以下，并且由于真空喷涂时间较长，要求真空罐体内压力长时间保持在某一个值，喷枪在喷涂过程中，大量氮气和粉末通过喷枪进入真空罐体内，粉末通过反应附着在靶材上，而剩余的氮气则残留在真空，影响真空罐体的真空度，所以要求氮气要定期排出，保证真空罐体内的真空度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种真空罐体稳压装置，能够解决现有技术的不足。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案如下：一种真空罐体稳压装置，包括真空罐体、控制装置、水环泵和压力检测装置，所述真空罐体通过管道与水环泵相连，所述真空罐体上设置有压力检测装置，所述压力检测装置包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体内部，所述压力表设置在真空罐体顶部，所述控制装置包括变频器和控制器，所述水环泵、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环泵相连。作为优选，所述控制装置上设置有显示屏、报警器和控制按钮。作为优选，所述管道上设置有控制阀。本技术结构简单，操作方便，以水环泵为抽真空设备，在罐体上设置压力传感器器，设定罐体内压力为负0.02MPa，当设备工作时变频器启动，带动水环泵工作，变频器通过压力变送器形成闭环回路，通过压力变送器传送给变频器的信号实现PID控制，从而达到罐体稳压的目的。本技术的有益效果如下：<...
【技术保护点】
一种真空罐体稳压装置，其特征在于：包括真空罐体（2）、控制装置（3）、水环泵（4）和压力检测装置（5）,所述真空罐体（2）通过管道与水环泵（4）相连，所述真空罐体（2）上设置有压力检测装置（5），所述压力检测装置（5）包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体（2）内部，所述压力表设置在真空罐体（2）顶部，所述控制装置（3）包括变频器和控制器，所述水环泵（4）、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环泵（4）相连。
【技术特征摘要】
1.一种真空罐体稳压装置，其特征在于：包括真空罐体（2）、控制装置（3）、水环泵（4）和
压力检测装置（5）,所述真空罐体（2）通过管道与水环泵（4）相连，所述真空罐体（2）上设置
有压力检测装置（5），所述压力检测装置（5）包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设
置在真空罐体（2）内部，所述压力表设置在真空罐体（2）顶部，所述控制装...
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