本发明专利技术提供了一种用于调度单臂多组合设备的方法。本发明专利技术研究了具有线性拓扑结构且加工受限的单臂多组合设备的调度问题。本发明专利技术的目的是通过最优地构造多组合设备的缓冲区的空间，从而求解单产品周期调度以达到周期时间的下限。为此，建立了Petri网模型，通过扩展的面向资源Petri网来描述该系统的动态行为特性，通过确定机器人的等待时间而使调度参数化。基于该模型，提出了求解具有周期时间下限的单产品周期调度的条件。借助该条件，设计了用以求解这样的调度和最优地构造缓冲空间的算法。
【技术实现步骤摘要】
优先权本申请根据35U.S.C.§119要求2015年1月12日提交的美国临时专利申请No.62/102,108的优先权，所述专利申请的公开在此以其全部内容通过参引结合到本文中。
本专利技术涉及一种用最优缓冲空间构造和调度单臂多组合设备的方法。
技术介绍
说明书中引用了以下参考文献。这些参考文献的公开以其全部内容用过参引结合到本文中。参考文献列表W.K.Chan、J.G.Yi和S.W.Ding的“OptimalSchedulingofMulti-clusterToolswithConstantRobotMovingTimes,PartI:Two-ClusterAnalysis”，自动化科学与工程的IEEE会刊，2011a，编号pp.5-16，第8卷。W.K.Chan、J.G.Yi、S.W.Ding和D.Z.Song的“OptimalSchedulingofMulti-clusterToolswithConstantRobotMovingTimes,PartII:Tree-LikeTopologyConfigurations”，自动化科学与工程的IEEE会刊，2011b，编号pp.17-28，第8卷。M.Dawande、C.Sriskandarajah和S.Sethi的“Onthroughputmaximizationinconstanttravel-timeroboticcells”,制造和服务操作杂志，2002，编号no.4,296-312，第4卷。S.W.Ding、J.G.Yi和M.T.Zhang的“MulticlusterToolsScheduling:anIntegratedEventGraphandNetworkModelApproach”，半导体制造的IEEE会刊，2006，编号pp.339–351，第19卷。I.Drobouchevitch、S.P.Sethi和C.Sriskandarajah的“SchedulingDualGripperRoboticCells:One-unitCycles”，欧洲运筹学杂志，2006，编号pp.598–631，第171卷。D.Jevtic的“MethodandApparatusforManagingSchedulingaMultipleClusterTool”，欧洲专利，2001，第1,132,792(A2)号。D.Jevtic和S.Venkatesh的“MethodandApparatusforSchedulingWaferProcessingwithinaMultipleChamberSemiconductorWaferProcessingToolHavingaMultipleBladeRobot”，美国专利，2001，第6,224,638号。J.-H.Kim、T.-E.Lee、H.-Y.Lee和D.-B.Park的“Schedulinganalysisoftimed-constraineddual-armedclustertools”，半导体制造的IEEE会刊，2003，编号no.3,521-534，第16卷。T.-E.Lee、H.-Y.Lee和Y.-H.Shin的“Workloadbalancingandschedulingofasingle-armedclustertool”，2004年出版的澳大利亚黄金海岸APIEMS会议的第5期学报，1-15页。T.-E.Lee和S.-H.Park的“Anextendedeventgraphwithnegativeplacesandtokensfortimedwindowconstraints”，自动化科学与工程的IEEE会刊，2005，编号no.4,319-332，第2卷。M.-J.Lopez和S.-C.Wood的“Systemsofmultipleclustertools-configuration,reliability,andperformance：，半导体制造的IEEE会刊，2003，编号no.2,170-178，第16卷。T.L.Perkinson、R.S.Gyurcsik和P.K.MacLarty的“Single-waferclustertoolperformance:Ananalysisoftheeffectsofredundantchambersandrevisitationssequencesonthroughput”，半导体制造的IEEE会刊，1996，编号9,384-400，第9卷。T.L.Perkinson、P.K.MacLarty、R.S.Gyurcsik和R.K.Cavin三世的“Single-waferclustertoolperformance:Ananalysisofthroughput”，半导体制造的IEEE会刊，1994，编号369-373，第7卷。S.Rostami、B.Hamidzadeh和D.Camporese的“Anoptimalperiodicschedulerfordual-armrobotsinclustertoolswithresidencyconstraints”，机器人与自动化的IEEE会刊，2001，编号609-618，第17卷。S.Venkatesh、R.Davenport、P.Foxhoven和J.Nulman的“Asteadystatethroughputanalysisofclustertools:Dual-bladeversussingle-bladerobots”，半导体制造的IEEE会刊，1997，编号pp.418–424，第10卷。N.Q.Wu的“NecessaryandSufficientConditionsforDeadlock-freeOperationinFlexibleManufacturingSystemUsingaColoredPetriNetModel”，系统、人类与控制论的IEEE会刊，1999，编号pp.192-204，第29卷，C部分。N.Q.Wu、C.B.Chu、F.Chu和M.C.Zhou的“APetrinetmethodforschedulabilityand调度问题sinsingle-armclustertoolswithwaferresidencytimeconstraints”，半导体制造的IEEE会刊，2008a，编号pp.224–237，第21卷。N.Q.Wu、F.Chu、C.Chu和M.Zhou的“PetriNet-BasedSchedulingofSingle-ArmClusterToolsW本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种通过最优缓冲空间构造调度单臂多组合设备的计算机实现方法，包括：通过处理器，获得晶圆加工时间、机器人晶圆装载和卸载时间以及机器人移动时间；通过处理器，基于所述晶圆加工时间、所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器人移动时间，计算用于完成晶圆的最短时间；通过处理器，基于所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器人移动时间，计算机器人周期时间；通过处理器，基于从用于完成晶圆的所述最短时间和所述机器人周期时间之中选择的最大值，确定基本周期；通过处理器，根据以下步骤确定组合设备的类型：如果所述基本周期为用于完成晶圆的所述最短时间的值，则所述组合工具的类型为加工受限的；否则，所述组合设备的类型为传送受限的；通过处理器，基于具有所述基本周期的最大值的组合设备的类型，确定所述多组合设备为加工受限的还是传送受限的；通过处理器，基于所述基本周期的最大值，确定周期时间的下限；通过处理器，基于petri网模型，确定用于调度和缓冲空间构造的算法；以及通过处理器，基于所述算法，计算机器人等待时间；通过处理器，基于所述算法和周期时间的所述下限，计算晶圆逗留时间；通过处理器，基于所述晶圆逗留时间和所述机器人等待时间，确定用于缓冲模型的缓冲空间；以及通过处理器，基于用于缓冲模型的所述缓冲空间以及周期时间的所述下限，获得调度。...
【技术特征摘要】
2015.01.12 US 62/102,108;2015.03.05 US 14/639,1371.一种通过最优缓冲空间构造调度单臂多组合设备的计算机实现方法，包括：
通过处理器，获得晶圆加工时间、机器人晶圆装载和卸载时间以及机器人移动时间；
通过处理器，基于所述晶圆加工时间、所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器
人移动时间，计算用于完成晶圆的最短时间；
通过处理器，基于所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器人移动时间，计算机
器人周期时间；
通过处理器，基于从用于完成晶圆的所述最短时间和所述机器人周期时间之中选择的
最大值，确定基本周期；
通过处理器，根据以下步骤确定组合设备的类型：
如果所述基本周期为用于完成晶圆的所述最短时间的值，则所述组合工具的类型为加
工受限的；
否则，所述组合设备的类型为传送受限的；
通过处理器，基于具有所述基本周期的最大值的组合设备的类型，确定所述多组合设
备为加工受限的还是传送受限的；
通过处理器，基于所述基本周期的最大值，确定周期时间的下限；
通过处理器，基于petri网模型，确定用于调度和缓冲空间构造的算法；以及
通过处理器，基于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：白丽平，伍乃骐，李志武，周孟初，
申请(专利权)人：澳门科技大学，
类型：发明
国别省市：中国澳门;82
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