空气流量测量装置制造方法及图纸

为了提供一种提高了湿度检测元件的耐污损性并实现了高精度的流量检测的空气流量控制装置，空气流量控制装置具有：检测空气的流量的流量检测元件(11)；检测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件(12)；以及在内部具有对上述流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装件(13)，其中，上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及计量物理量的测量装置，特别涉及计量在内燃机内流动的空气的物理量的空气流量测量装置。
技术介绍
作为计量在内燃机内流动的空气的物理量的空气物理量传感器的结构，例如，能够列举在专利文献1中记载的技术。在专利文献1中记载了该空气物理量传感器具备用于计量空气流量的流量传感器元件和用于计量压力及湿度中任一项的环境传感器元件，并将收纳环境传感器元件的计量室配置于比配置流量传感器的副通路更远离主通路的通路壁的通路中央侧。另外，在专利文献2中记载了一种半导体装置，其在半导体基板上至少形成发热体而构成检测流体的流量的流量检测部，在半导体的同一面侧，流量检测部和检测流体的湿度的湿度检测部以湿度检测部位于流量检测部的上游侧的方式沿流体流动方向排列而形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-151795号公报专利文献2：日本特开2008-157742号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题流量检测元件、湿度检测元件以及压力检测元件是以检测部露出于通路内的方式进行配置，存在当包含于吸入空气中的油、碳、水滴等污损物附着时检测精度变差的可能性。特别是当水滴附着于湿度检测元件时，存在水滴凝结的可能性，存在对检测精度产生影响的可能性。因此，期望湿度检测元件配置于主空气通路内的流速慢的位置。但是，为了提高流量检测元件在低流量下的检测精度，期望其配置于吸入空气流速快的主空气流的中央附近。因此，在对这些物理量进行计量时存在以下课题：关于要探讨的事项，存在对立的事项，难以并存。本专利技术的目的在于提供一种提高了湿度检测元件的耐污损性并实现了高精度的流量检测的空气流量测量装置。用于解决课题的方法为了解决上述问题，若列举其一例，则为一种空气流量测量装置，具有：检测空气流量的流量检测元件；检测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件；以及在内部具有对上述流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装件，其中，上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件内。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种提高了湿度检测元件的耐污损性并实现了高精度的流量检测的空气流量测量装置。附图说明图1(A)是表示本专利技术的一实施例的外观图。图1(B)是表示本专利技术的一实施例的剖视图。图2(A)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图2(B)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图3(A)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图3(B)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图4是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图5是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图6(A)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图6(B)是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图。图7是表示本专利技术的一实施例的电路封装件外观图图8(A)是表示本专利技术的一实施例的外观图及剖视图。图8(B)是表示本专利技术的一实施例的外观图及剖视图。具体实施方式下面，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1(A)是表示本专利技术的一实施例的外观图，图1(B)是表示一实施例的剖视图。如图1(A)所示，空气流量测量装置3具备壳部件1和盖部件2。壳部件1具备：凸缘6，用于将空气流量测量装置3固定于构成主通路4的吸气管构成部件5；连接器7，具有用于与外部设备进行电连接的端子；以及计量部8，对流量等物理量进行计量。在计量部8的内部设有副通路9。而且，在计量部8的内部设有电路封装件13，该电路封装件13具备用于对在主通路4流动的空气10的流量进行计量的流量检测元件11、对空气的湿度、压力中的至少一个进行检测的物理量检测元件12以及电容器等的电子部件，并且由环氧树脂进行树脂密封。在电路封装件13内设有对来自流量检测元件的输出信号进行处理的集成电路(未图示。)。为了避免因发动机室内的热影响而引起的检测精度变差，物理量检测元件12需要配置在通路内，与流量检测元件11一同在副通路9内露出在空气中。为了精度良好地检测流量，流量检测元件11优选配置于没有在周围扰乱空气流动的较大的台阶等的部位。因此，在将流量检测元件11和物理量检测元件12配置于同一电路封装件13内并将物理量检测元件12进行树脂密封时，通过在电路封装件13的表面上以平滑的面或制造上需要的较小的台阶进行安装，能够消除或降低在周围扰乱空气的流动的较大的台阶等的影响，其结果，能够提高流量检测精度。而且，通过配置在同一电路封装件13内，能够将搭载流量检测元件11和物理量检测元件12、电容器等电子部件的框架、基板构成为一个部件，因此能够实现小型化，降低部件数。接下来，使用图2(A)、图2(B)对电路封装件13的结构详细地进行说明。配置于电路封装件13的流量检测元件11配置在半导体元件的裸芯片上，物理量检测元件12安装有塑料封装部件。另外，两方的检测元件的检测部露出在空气中。在电路封装件13的树脂成型时，若与成型模具碰触时的应力大，则存在半导体元件的裸芯片产生龟裂的可能性。特别是在配置有多个检测元件的情况下，根据电路封装件13的尺寸、形状，导致各检测元件产生龟裂的应力不同，存在树脂封装成型时的制造管理值变窄的问题。因此，通过将物理量检测元件12做成塑料部件，能够降低电路封装件13树脂成型时的龟裂的产生率，能够提供低价的空气流量测量装置。流量检测元件11的流量特性受到副通路结构的影响，因此在与副通路组合后的状态下进行特性调整的情况较多，然而物理量检测元件12的输出特性能够以单体进行特性调整，在以单体进行调整后配置到电路封装件13内，由此具有能够提高生产效率的优点。如图3(A)、图3(B)所示，流量检测元件11和物理量检测元件12在电路封装件13内的相互的配置关系是配置为相对于在主通路流动的空气10的流动方向成为垂直方向。流量检测元件11需要从高流量到低流量的范围检测空气的流量。特别是在低流量域进行计量时，从流量检测元件11对流量的灵敏度的问题考虑，优选将流量检测元件11配置于流速快的位置。另一方面，物理量检测元件12需要保护检测部远离包含在吸入空气中的粉尘、碳等污损物，优选配置在流速缓慢的位置。将流量检测元件11和物理量检测元件12配置为相对于空气10的流动方向而垂直的方向，由此能够设置在各检测元件的流速差。换言之，通过将流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气流量测量装置，具有：检测空气的流量的流量检测元件；检测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件；以及在内部具有对上述流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装件，上述空气流量测量装置的特征在于，上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.31 JP 2013-2261321.一种空气流量测量装置，具有：检测空气的流量的流量检测元件；检
测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件；以及在内部具有对上述
流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装
件，上述空气流量测量装置的特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件
内。
2.根据权利要求1所述的空气流量测量装置，其特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件中的至少一个由塑料封装部件
构成。
3.根据权利要求1所述的空气流量测量装置，其特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件以相对于在主通路流动的空气
的流动方向为垂直方向的方式配置在上述电路封装件内。
4.根据权利要求1所述的空...

【专利技术属性】
技术研发人员：余语孝之，星加浩昭，三木崇裕，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP