【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金属量规表面防护领域,具体地,涉及一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法。
技术介绍
金属量规在材料加工领域发挥着极其重要的作用,其主要功用是控制工件外形尺寸,检验加工件是否合格。量规在使用过程中,外表面与工件摩擦接触,多次循环使用,极易造成量规的表面磨损,影响测量精度,使量规快速失效。此外,量规使用过后若不及时处理,在其表面极易产生腐蚀等行为。材料的表面改性技术可以在金属量规表面制备一层高硬度、耐磨损、抗腐蚀的防护涂层,可以显著提高量规的使用寿命。物理气相沉积技术(PhsicalVaporDeposition,简称PVD)在表面防护涂层的制备领域的应用越来广,利用PVD方法制备的涂层厚度为纳米及微米级,微小的涂层厚度对金属成形加工尺寸的影响或是对金属量规测量精度的影响都极其微小,甚至可以忽略不计。就目前市场上的涂层切削刀具而言,其表面涂层厚度约1.5~4.5μm。提高量规表面硬度的同时,减小表面摩擦系数是提高量规使用性能及使用寿命的有效办法。目前高硬度的减磨耐磨涂层主要有TiN、Ti(C,N)、TiAlN、TiAlSiN、DLC等,相比较而言,DLC涂层的摩擦系数最低,具有极好的抗腐蚀性、耐磨性及固态润滑性,且DLC涂层在低温环境下使用的效果更明显。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本专利技术的目的是提供一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法从而制备出双层复合涂层,增强汽轮机转 ...
【技术保护点】
一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法,其特征在于,包括:步骤1,提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉,所述真空炉中设置有Ti靶材;步骤2,将所述无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于所述真空炉内,对所述无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化;步骤3,对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积:调节所述真空炉炉腔温度为180~200℃,向真空炉腔中通入N2气,N2气体流量为150~180sccm,对Ti靶材通电作为蒸发源,通电电流为120~140A,在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150~180V,持续15~20min至所述TiN的厚度为0.5~0.8μm后完成TiN涂层沉积并进入下一步;步骤4,在所述TiN涂层表面进行DLC涂层沉积:停止向真空炉中通入N2气,真空炉腔停止加热,Ti靶材停止通电,设置基体偏压为650~700V,向真空炉腔中通入C2H2,在DLC涂层制备依次进行的三个阶段中C2H2的流量随沉积时间梯度升高,第一阶段C2H2流量为30~40sccm,沉积时间为5~10min,第二阶段C2H2流量为80~90sccm,沉积时间为15~20min,第三阶段 ...
【技术特征摘要】
1.一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法,其特征在于,包括:
步骤1,提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉,所述真空炉中设置有Ti
靶材;
步骤2,将所述无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于所述真空炉内,对所述无涂层的
汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化;
步骤3,对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积:调节所述真
空炉炉腔温度为180~200℃,向真空炉腔中通入N2气,N2气体流量为150~180sccm,
对Ti靶材通电作为蒸发源,通电电流为120~140A,在汽轮机转子轮槽量规上加偏压
为150~180V,持续15~20min至所述TiN的厚度为0.5~0.8μm后完成TiN涂层沉积
并进入下一步;
步骤4,在所述TiN涂层表面进行DLC涂层沉积:停止向真空炉中通入N2气,真
空炉腔停止加热,Ti靶材停止通电,设置基体偏压为650~700V,向真空炉腔中通入
C2H2,在DLC涂层制备依次进行的三个阶段中C2H2的流量随沉积时间梯度升高,
第一阶段C2H2流量为30~40sccm,沉积时间为5~10min,
第二阶段C2H2流量为80~90sccm,沉积时间为15~20min,
第三阶段C2H2流量为130~140sccm,沉积时间为55~60min。
2.根据权利要求1所述的一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法,其
特征在于,步骤2中进行加靶活化的过程具体为:
调节所述真空炉炉腔温度为180~200℃,向真空炉腔中通入Ar气,Ar气流量为
180~200sccm,同时Ti靶材通电作为蒸发源,通电电流...
【专利技术属性】
技术研发人员:张东民,张而耕,姚松骏,恽庞杰,刘铭心,盛育东,冯全华,曹启伟,陈厚良,
申请(专利权)人:上海应用技术学院,上海应术电站配件有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。