光检测装置制造方法及图纸

分光传感器(1A)具备：法布里-珀罗干涉滤波器(10)，设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a)；光检测器(3)，具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a)；配线基板(2)，安装有光检测器(3)；多个隔离物(4)，以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。
技术介绍
已知有具备具有距离可变的第1镜以及第2镜的法布里-珀罗干涉滤波器、检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光的光检测器的光检测装置(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利申请公开2005-106753号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题对于如以上所述那样的光检测装置来说，关于在法布里-珀罗干涉滤波器上的光的透过以及在光检测器上的光的检测，寻求波长分辨率的提高、波长飘移(shift)的抑制、分光特性的提高等。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够谋求波长分辨率的提高、波长飘移的抑制以及分光特性的提高的光检测装置。解决问题的技术手段本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置，其特征在于，具备：法布里-珀罗干涉滤波器，具有距离可变的第1镜以及第2镜并且设置有沿着规定的方向使对应于第1镜与第2镜之间的距离而透过的光通过的开口；光检测器，具有对通过了开口的光进行受光的受光部；配线基板，安装有光检测器；支撑构件，以与开口内的第1空间相连续并且在从规定的方向看的情况下包含第1空间的第2空间被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的方式在配线基板上支撑法布里-珀罗干涉滤波器；光检测器被配置于第2空间内，受光部在从规定的方向看的情况下配置于第2空间中对应于第1空间的区域内。在该光检测装置中，在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间中光检测器的受光部被配置于在法布里-珀罗干涉滤波器上进行设置的开口内的对应于第1空间的区域内。因此，在第1镜以及第2镜上透过取得平行化的区域的光容易到达光检测器的受光部。由此，能够取得波长分辨率的提高。另外，在与第1空间相连续的第2空间内配置光检测器的受光部。因此，从第1镜以及第2镜到光检测器的受光部的距离变长并且以小的入射角入射到法布里-珀罗干涉滤波器的光容易到达光检测器的受光部。由此，能够取得波长分辨率的提高以及波长漂移的抑制。再有，在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间内配置光检测器。因此，除了透过第1镜以及第2镜并通过开口的光之外的杂散光难以到达光检测器的受光部。由此，通过减少杂散光从而能够取得分光特性的提高。在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，光检测器也可以在从规定的方向看的情况下被配置于第2空间中对应于第1空间的区域内。由此，能够取得由光检测器的小型化带来的光检测装置的低成本化。另外，在被形成于法布里-珀罗干涉滤波器与配线基板之间的第2空间内能够配置热敏电阻等温度补偿用部件。即使是在附加了温度补偿用部件等安装部件的情况下也能够取得光检测装置的小型化。本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置也可以进一步具备在第2空间内被安装于配线基板的安装部件，安装部件在从规定的方向看的情况下被配置于第2空间中对应于第1空间的区域外。由此，能够抑制在安装部件上的光的反射等，并且通过减少杂散光从而能够取得分光特性的进一步提高。本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置也可以进一步具备容纳法布里-珀罗干涉滤波器、光检测器、配线基板以及支撑构件并且具有从外部使光入射到法布里-珀罗干涉滤波器的光入射部的封装体，光入射部在从规定的方向看的情况下包含于法布里-珀罗干涉滤波器。由此，能够抑制从光入射部入射到封装体内的光从法布里-珀罗干涉滤波器的周围入射到光检测器的受光部，并且通过减少杂散光从而能够取得分光特性的进一步提高。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种能够取得波长分辨率的提高、波长飘移的抑制以及分光特性的提高的光检测装置。附图说明图1是第1实施方式所涉及的光检测装置的分光传感器的截面图。图2是图1的分光传感器的一部分的分解立体图。图3是沿着图2的III-III线的法布里-珀罗干涉滤波器的截面图。图4是表示图1的分光传感器中的光入射部、法布里-珀罗干涉滤波器以及光检测器的配置关系的图。图5是表示图1的分光传感器的变形例中的光入射部、法布里-珀罗干涉滤波器以及光检测器的配置关系的图。图6是第2实施方式所涉及的光检测装置即分光传感器的截面图。图7是图1以及图6的分光传感器的光检测器的变形例的平面图。图8是图1以及图6的分光传感器的光检测器的变形例的平面图。图9是图1的分光传感器的变形例的平面图。图10是第3实施方式所涉及的光检测装置的一部分的分解立体图。图11是第3实施方式所涉及的光检测装置的法布里-珀罗干涉滤波器的XI-XI线截面图。图12是表示第3实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图13是表示第3实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图14是表示第3实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图15是对应于图14(B)的侧面图。图16是图14(B)中的XVI-XVI线截面图以及其一部分的放大图。图17是表示第3实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图18是第3实施方式所涉及的光检测装置的变形例的平面图。图19是第3实施方式所涉及的光检测装置的变形例的平面图。图20是第3实施方式所涉及的光检测装置的变形例的平面图。图21是第3实施方式所涉及的光检测装置的变形例的平面图。图22是表示第4实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图23是表示第4实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图24是表示第4实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图。图25是表示第4实施方式所涉及的光检测装置的制造工序的平面图以及第4实施方式所涉及的光检测装置的变形例的平面图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的优选的实施方式进行详细的说明。还有，在各个附图中，将相同符号标注于相同或者相当部分，并省略重复的说明。[第1实施方式][分光传感器的结构]如图1以及图2所示，分光传感器(光检测装置)1A具备配线基板2、光检测器3、热敏电阻等温度补偿用元件(安装部件)71、多个隔离物(支撑构件)4、法布里-珀罗干涉滤波器10。法布里-珀罗干涉滤波器10具有距离为可变的第1镜3以及第2镜41。在法布里-珀罗干涉滤波器10，设置有使对应于第1镜31与第2镜41之间的距离而透过的光沿着第1镜31与第2镜41进行相对的相对方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光检测装置，其特征在于：具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，具有使距离可变的第1镜以及第2镜，并且设置有使对应于所述第1镜与所述第2镜之间的距离而透过的光沿着规定的方向通过的开口；光检测器，具有对通过了所述开口的光进行受光的受光部；配线基板，安装有所述光检测器；以及支撑构件，以与所述开口内的第1空间相连续并且在从所述规定的方向看的情况下包含所述第1空间的第2空间被形成于所述法布里‑珀罗干涉滤波器与所述配线基板之间的方式在所述配线基板上支撑所述法布里‑珀罗干涉滤波器，所述光检测器被配置于所述第2空间内，所述受光部在从所述规定的方向看的情况下配置于所述第2空间中对应于所述第1空间的区域内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.31 JP 2013-2272861.一种光检测装置，其特征在于：
具备：
法布里-珀罗干涉滤波器，具有使距离可变的第1镜以及第2镜，
并且设置有使对应于所述第1镜与所述第2镜之间的距离而透过的光
沿着规定的方向通过的开口；
光检测器，具有对通过了所述开口的光进行受光的受光部；
配线基板，安装有所述光检测器；以及
支撑构件，以与所述开口内的第1空间相连续并且在从所述规定
的方向看的情况下包含所述第1空间的第2空间被形成于所述法布里-
珀罗干涉滤波器与所述配线基板之间的方式在所述配线基板上支撑所
述法布里-珀罗干涉滤波器，
所述光检测器被配置于所述第2空间内，
所述受光部在从所述规定的方向看的情况下配置于所述第2空间
中对应于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴山胜己，笠原隆，广瀬真树，川合敏光，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP