【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及喷墨打印设备的领域,并且更特别地,涉及用于静电致动喷墨打印头的方法和结构以及包括静电致动喷墨打印头的打印机。
技术介绍
按需喷墨技术广泛用于打印工业中。使用按需喷墨技术的打印机典型地使用热喷墨技术或压电技术。尽管它们比热喷墨器制造更昂贵,但是压电喷墨器通常是有利的,例如原因是它们可以使用更多种多样的墨。压电喷墨打印头包括压电元件(即,换能器或PZT)的阵列。形成阵列的一个过程可以包括用粘合剂将掩盖压电层可拆卸地粘结到转移载体,然后切割掩盖压电层以形成多个单独的压电元件。可以使用多次切割锯操作以去除相邻压电元件之间的所有压电材料从而提供每个压电元件之间的正确间隔。压电喷墨打印头典型地还可以包括挠性隔膜,压电元件的阵列附连到所述挠性隔膜。当电压典型地通过与电连接到电源的电极的电连接而施加到压电元件时,压电元件弯曲或偏转,导致隔膜挠曲,通过孔板(即,喷嘴板)中的喷嘴(即,开孔或孔口)从室排出一定量的墨。挠曲还通过开口将墨从主墨储存器吸引到室中以替换排出的墨。压电元件可以由包括铅的散装材料制造。为了减小基于铅的压电致动器对环境的影响,已研究其它喷墨技术。例如,静电致动器包括电极的使用,当通过供应电压供电时,所述电极吸引并且挠曲硅膜片(例如,隔膜)以将来自墨供给的墨吸引到部分地由膜片形成的墨室中。当从电极去除电压时,硅膜片松弛,由此增加墨室中的压力并且从孔板中的喷嘴喷射墨。随着 ...
【技术保护点】
一种用于形成包括静电致动器阵列的喷墨打印头的方法,所述方法包括:在蚀刻停止层的第一表面上形成多个致动器膜片,其中:所述多个致动器膜片的每一个与相邻致动器膜片横向地间隔;所述蚀刻停止层插入操作层和所述多个致动器膜片之间;并且所述操作层附连到所述蚀刻停止层的第二表面;将所述多个致动器膜片附连到打印头驱动组件,其中所述打印头驱动组件包括用于致动所述多个致动器膜片的电路;在将所述多个致动器膜片附连到所述打印头驱动组件之后,去除所述操作层以暴露所述蚀刻停止层的第二表面;以及在去除所述操作层之后,去除所述蚀刻停止层。
【技术特征摘要】
2014.12.05 US 14/5615191.一种用于形成包括静电致动器阵列的喷墨打印头的方法,所述方法
包括:
在蚀刻停止层的第一表面上形成多个致动器膜片,其中:
所述多个致动器膜片的每一个与相邻致动器膜片横向地间隔;
所述蚀刻停止层插入操作层和所述多个致动器膜片之间;并且
所述操作层附连到所述蚀刻停止层的第二表面;
将所述多个致动器膜片附连到打印头驱动组件,其中所述打印头驱动
组件包括用于致动所述多个致动器膜片的电路;
在将所述多个致动器膜片附连到所述打印头驱动组件之后,去除所述
操作层以暴露所述蚀刻停止层的第二表面;以及
在去除所述操作层之后,去除所述蚀刻停止层。
2.根据权利要求1所述的方法,其还包括:
形成附连到所述多个致动器膜片的一个或多个支座层;以及
将在其中包括多个喷嘴的孔板附连到所述一个或多个支座层以形成
多个墨室,其中每个墨室至少部分地由所述致动器膜片的表面、所述一个
或多个支座层的表面和所述孔板的表面限定。
3.根据权利要求1所述的方法,其中:
所述操作层是半导体晶片;并且
所述多个致动器膜片的形成同时形成用于多个喷墨打印头的多个致
动器膜片阵列。
4.根据权利要求1所述的方法,其中所述操作层的去除包括:
使用具有第一蚀刻速率的第一去除过程去除所述操作层的第一厚度;
然后
使用具有比所述第一蚀刻速率慢的第二蚀刻速率的第二去除过程去
除所述操作层的第二厚度以暴露所述蚀刻停止层。
5.一种用于形成包括喷墨打印头的喷墨打印机的方法,所述喷墨打印
头具有静电致动器阵列,所述方法包括:
在蚀刻停止层的第一表面上形成多个致动器膜片,其中:
所述多个致动器膜片的每一个与相邻致动器膜片横向地间隔;
所述蚀刻停止层插入操作层和所述多个致动器膜片之间;并且
所述操作层附连到所述蚀刻停止层的第二表面;
将所述多个致动器膜片附连到打印头驱动组件,其中所述打印头驱动
组件包括用于致动所述多个致动器膜片的电...
【专利技术属性】
技术研发人员:P·J·奈斯特龙,G·D·雷丁,M·A·赛卢拉,
申请(专利权)人:施乐公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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