本实用新型专利技术公开了一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、潜水泵和滚轮，所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的内部底面上固定有潜水泵；所述研磨装置本体的下端四周设置有四个滚轮。该实用新型专利技术的有益效果是节约资源，移动使用便捷，工作效率高和研磨抛光效果好。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体研磨装置
，具体涉及一种可移动的节约型半导体研磨装置。
技术介绍
在半导体制造中，需要对初步生产出来的半导体晶圆进行表面抛光，所以需要使用到半导体研磨装置，半导体研磨装置中设置有给半导体晶圆研磨抛光处提供研磨液的装置，减小研磨抛光时的机械磨损，提高研磨抛光效果。目前的半导体研磨装置，不能对使用的研磨液进行回收再利用，使得浪费资源和移动使用不便捷。因此，专利技术一种可移动的节约型半导体研磨装置显得非常必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可移动的节约型半导体研磨装置，以解决上述
技术介绍
中提出目前的半导体研磨装置，不能对使用的研磨液进行回收再利用，使得浪费资源和移动使用不便捷的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体、第一电动机、研磨液储存桶、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、钢化玻璃窗、安全防护门、第二研磨石、折页、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、输液管、潜水泵、铰接轴、滚轮、滴定管和开关阀门，所述研磨装置本体的左上端与第一电动机固定连接；所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的右上端与第二电动机固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的中上端与研磨液储存桶固定连接；所述研磨液储存桶的下端与滴定管的上端连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接；所述研磨装置本体的右端设置有安全防护门；所述安全防护门通过折页与研磨装置本体铰接；所述安全防护门的中间与钢化玻璃窗固定连接；所述研磨装置本体的内部底面上固定有潜水泵；所述潜水泵的出液口与输液管的一端固定连接；所述输液管的另一端与研磨液储存桶的上端连接；所述研磨装置本体的下端四周设置有四个滚轮；所述滚轮通过铰接轴与研磨装置本体固定连接。进一步，所述滴定管上设置有开关阀门。进一步，所述滚轮是一种万向轮，并且外侧设置有耐磨橡胶套。进一步，所述安全防护门的一端设置有手拉环，并且安全防护门与研磨装置本体的接触处设置有密封橡胶垫圈。本技术的技术效果和优点：该可移动的节约型半导体研磨装置，通过设置第一电动机带动第一研磨石和第二电动机带动第二研磨石对研磨载料台上的半导体晶圆进行研磨抛光，并且第三电动机带动研磨载料台转动配合第一电动机和第二电动机的工作，使得研磨抛光效果好，并且设置第一研磨石和第二研磨石，可以同时进行工作，使得生产效果高；通过设置第一电动伸缩杆带动第一研磨石自动升降和第二电动伸缩杆带动第二研磨石自动升降，代替原来的手动操作或气动操作，使得使用便捷和灵敏度高；通过在研磨装置本体内设置潜水泵可以将装置内散落到研磨装置本体内底部未被利用的研磨液，输送到研磨液储存桶里进行循环再利用，使得节约材料；通过在研磨装置本体的下端四周设置有四个滚轮使得装置，移动使用便捷。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1-研磨装置本体；2-第一电动机；3-研磨液储存桶；4-第一电动伸缩杆；5-第一研磨石；6-研磨载料台；7-第三电动机；8-钢化玻璃窗；9-安全防护门；10-第二研磨石；11-折页；12-第二电动伸缩杆；13-轴承；14-第二电动机；15-输液管；16-潜水泵；17-铰接轴；18-滚轮；19-滴定管；20-开关阀门。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1所示的一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体1、第一电动机2、研磨液储存桶3、第一电动伸缩杆4、第一研磨石5、研磨载料台6、第三电动机7、钢化玻璃窗8、安全防护门9、第二研磨石10、折页11、第二电动伸缩杆12、轴承13、第二电动机14、输液管15、潜水泵16、铰接轴17、滚轮18、滴定管19和开关阀门20，所述研磨装置本体1的左上端与第一电动机2固定连接；所述第一电动机2的转动端通过轴承13与第一电动伸缩杆4的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆4的伸缩杆端部与第一研磨石5的中间固定连接；所述研磨装置本体1的右上端与第二电动机14固定连接；所述第二电动机14的转动端通过轴承13与第二电动伸缩杆12的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆12的伸缩杆端部与第二研磨石10的中间固定连接；所述研磨装置本体1的中上端与研磨液储存桶3固定连接；所述研磨液储存桶3的下端与滴定管19的上端连接；所述研磨装置本体1的内部下端与第三电动机7固定连接；所述第三电动机7的转动端通过轴承13与研磨载料台6中间固定连接；所述研磨装置本体1的右端设置有安全防护门9；所述安全防护门9通过折页11与研磨装置本体1铰接；所述安全防护门9的中间与钢化玻璃窗8固定连接；所述研磨装置本体1的内部底面上固定有潜水泵16；所述潜水泵16的出液口与输液管15的一端固定连接；所述输液管15的另一端与研磨液储存桶3的上端连接；所述研磨装置本体1的下端四周设置有四个滚轮18；所述滚轮18通过铰接轴17与研磨装置本体1固定连接。进一步，所述滴定管19上设置有开关阀门20。进一步，所述滚轮18是一种万向轮，并且外侧设置有耐磨橡胶套。进一步，所述安全防护门9的一端设置有手拉环，并且安全防护门9与研磨装置本体1的接触处设置有密封橡胶垫圈。工作原理：该可移动的节约型半导体研磨装置，通过设置第一电动机2带动第一研磨石5和第二电动机14带动第二研磨石10对研磨载料台6上的半导体晶圆进行研磨抛光，并且第三电动机7带动研磨载料台6转动配合第一电动机2和第二电动机14的工作，使得研磨抛光效果好，并且设置第一研磨石5和第二研磨石10，可以同时进行工作，使得生产效果高；通过设置第一电动伸缩杆4带动第一研磨石5自动升降和第二电动伸缩杆12带动第二研磨石10自动升降，代替原来的手动操作或气动操作，使得使用便捷和灵敏度高；通过在研磨装置本体1内设置潜水泵16可以将装置内散落到研磨装置本体1内底部未被利用的研磨液，输送到研磨液储存桶3里进行循环再利用，使得节约材料；通过在研磨装置本体1的下端四周设置有四个滚轮18使得装置，移动使用便捷。利用本技术所述技术方案，或本领域的技术人员在本技术技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、输液管（15）、潜水泵（16）、铰接轴（17）、滚轮（18）、滴定管（19）和开关阀门（20），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（19）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的内部下端与第三电动机（7）固定连接；所述第三电动机（7）的转动端通过轴承（13）与研磨载料台（6）中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右端设置有安全防护门（9）；所述安全防护门（9）通过折页（11）与研磨装置本体（1）铰接；所述安全防护门（9）的中间与钢化玻璃窗（8）固定连接；所述研磨装置本体（1）的内部底面上固定有潜水泵（16）；所述潜水泵（16）的出液口与输液管（15）的一端固定连接；所述输液管（15）的另一端与研磨液储存桶（3）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的下端四周设置有四个滚轮（18）；所述滚轮（18）通过铰接轴（17）与研磨装置本体（1）固定连接。...
【技术特征摘要】
1.一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、输液管（15）、潜水泵（16）、铰接轴（17）、滚轮（18）、滴定管（19）和开关阀门（20），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（19）的上端连接；所述研磨装置本体（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：卓廷厚，
申请(专利权)人：厦门芯光润泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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