抽真空设备及其在线补油装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种在线补油装置，包括：用于检测机械泵内的泵油量的第一液位计；位于所述机械泵上方的补油箱；一端与所述机械泵连通，另一端与所述补油箱连通的油管；设置于所述油管内，用于控制所述油管导通或截止的阀门；与所述第一液位计和所述阀门电连接的控制器，所述控制器接收到所述第一液位计的泵油量下限值信号时，控制所述阀门打开；接收到所述第一液位计的泵油量上限值信号时，控制所述阀门关闭。本实用新型专利技术中的在线补油装置能够自动地、及时地为机械泵补油，从而确保了机械泵的稳定运行。本实用新型专利技术还提供了一种具有上述在线补油装置的抽真空设备。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学气相沉积领域，更具体地说，涉及一种抽真空设备及其在线补油装置。
技术介绍
化学气相沉积需要在真空状态下进行，因此需要抽真空设备将反应釜内的气体抽出，以维持反应釜内的真空状态。传统的抽真空设备为真空机械泵。在机械泵抽真空的过程中，气体在经过机械泵时常常会带走一些泵油。随着反应的进行，机械泵内的泵油会逐渐减少，当泵油减少到一定程度后，机械泵就无法正常运行。但是，由于反应釜内需要维持真空状态，此时不能关停机械泵，因此也就无法对机械泵进行补油。因此，如何设计一种在线补油装置，该装置能够自动地、及时地为机械泵补油，从而确保机械泵的稳定运行，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种在线补油装置，该装置能够自动地、及时地为机械泵补油，从而确保机械泵的稳定运行。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：一种在线补油装置，包括：用于检测机械泵内的泵油量的第一液位计；位于所述机械泵上方的补油箱；一端与所述机械泵连通，另一端与所述补油箱连通的油管；设置于所述油管内，用于控制所述油管导通或截止的阀门；与所述第一液位计和所述阀门电连接的控制器，所述控制器接收到所述第一液位计的泵油量下限值信号时，控制所述阀门打开；接收到所述第一液位计的泵油量上限值信号时，控制所述阀门关闭。优选地，所述油管内还设置有单向阀，所述单向阀使所述油管从所述补油箱到所述机械泵的方向导通、从所述机械泵到所述补油箱的方向截止。优选地，还包括：用于检测所述补油箱内的油量的第二液位计；报警器，所述控制器还与所述第二液位计和所述报警器电连接，所述控制器在接收到所述第二液位计的油量下限值信号时，控制所述报警器报警。优选地，所述报警器为声光报警器。优选地，所述阀门为气动阀。本技术还提供了一种抽真空设备，包括机械泵和在线补油装置，所述在线补油装置为上述任意一种在线补油装置。优选地，还包括与所述机械泵的进气口连通的泵前过滤器。优选地，还包括与所述机械泵的出气口连通的油雾分离器。从上述技术方案可以看出，第一液位计用于检测机械泵内的泵油量，并将泵油量信号发送给控制器，当机械泵内的泵油量到达规定的下限值，控制器接收到第一液位计的泵油量下限值信号后，控制器控制阀门打开，油管导通，补油箱内的油在重力的作用下自动流入机械泵内；在补油的过程中，当机械泵内的泵油量到达规定的上限值，控制器接收到第一液位计的泵油量上限值信号后，控制器控制阀门关闭，油管截止，补油过程结束。很明显，本技术中的在线补油装置能够自动地、及时地为机械泵补油，从而确保了机械泵的稳定运行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的方案，下面将对实施例中描述所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一具体实施例提供的抽真空设备的结构示意图。其中，1为第一液位计、2为补油箱、3为油管、4为气动阀、5为单向阀、6为泵前过滤器、7为油雾分离器、8为机械泵。具体实施方式本技术提供了一种在线补油装置，该装置能够自动地、及时地为机械泵补油，从而确保机械泵的稳定运行。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参考附图1，在本技术一具体实施例中，在线补油装置包括第一液位计1、补油箱2、油管3、阀门以及控制器。在本技术一具体实施例中，将上述中的阀门优选为气动阀4，气动阀4工作灵敏、可靠。其中，第一液位计1用于检测机械泵8内的泵油量。补油箱2设置于机械泵8的上方，其目的是使补油箱2内的油在自身重力的作用下自动流入到机械泵8内。油管3用于连通机械泵8和补油箱2。油管3的一端与机械泵8连通，另一端与补油箱2连通。本领域技术人员可以理解的是，为了能使补油箱2内的油顺利地流入机械泵8内，油管3与补油箱2的连接点靠近补油箱2的底部设置。气动阀4位于油管3内，用于控制油管3的导通和截止。控制器与气动阀4和第一液位计1电连接。在本实施例中，第一液位计1用于检测机械泵8内的泵油量，并将泵油量信号发送给控制器，当机械泵8内的泵油量到达规定的下限值，控制器接收到第一液位计1的泵油量下限值信号后，控制器控制气动阀4打开，油管3导通，补油箱2内的油在重力的作用下自动流入机械泵8内；在补油的过程中，当机械泵8内的泵油量到达规定的上限值，控制器接收到第一液位计1的泵油量上限值信号后，控制器控制气动阀4关闭，油管3截止，补油过程结束。很明显，本实施例中的在线补油装置能够自动地、及时地为机械泵8补油，从而确保了机械泵8的稳定运行。在本技术一具体实施例中，在油管3内增设了单向阀5，该单向阀5使油管3从补油箱2到机械泵8的方向导通、从机械泵8到补油箱2的方向截止。设置单向阀5的目的是防止机械泵8内的气体进入到补油箱2内。在本技术一具体实施例中，还包括第二液位计和报警器。第二液位计用于检测补油箱2内的油量，并将油量信号发送给控制器。当补油箱2内的油量到达规定的下限值，控制器接受到第二液位计的油量下限值信号后，控制报警装置报警，提示作业人员向补油箱2内补油。优选地，将报警装置设置为声光报警装置，通过声音和闪光提醒作业人员向补油箱2内补油。本技术还提供了一种抽真空装置，包括机械泵8和在线补油装置，特别地，所述在线补油装置为上述任意一种在线补油装置，上述在线补油装置具有上述效果，具有上述在线补油装置的抽真空装置同样具有上述效果，故本文不再赘述。在本技术一具体实施例中，还包括泵前过滤器6，该泵前过滤器6与机械泵8的进气口连通，用于过滤即将进入机械泵8内的气体中的粉尘颗粒，防止粉尘颗粒进入到机械泵8内破坏机械泵8，同时还防止机械泵油的乳化。在本技术一具体实施例中，增设了油雾分离器7，该油雾分离器7与机械泵8的出气口连通，气体进入到油雾分离器7内，油雾分离器7将气体内的一部分泵油分离出，并使分离出的泵油重新返回到机械泵8内。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线补油装置，其特征在于，包括：用于检测机械泵内的泵油量的第一液位计；位于所述机械泵上方的补油箱；一端与所述机械泵连通，另一端与所述补油箱连通的油管；设置于所述油管内，用于控制所述油管导通或截止的阀门；与所述第一液位计和所述阀门电连接的控制器，所述控制器接收到所述第一液位计的泵油量下限值信号时，控制所述阀门打开；接收到所述第一液位计的泵油量上限值信号时，控制所述阀门关闭。

【技术特征摘要】
1.一种在线补油装置，其特征在于，包括：用于检测机械泵内的泵油量的第一液位计；位于所述机械泵上方的补油箱；一端与所述机械泵连通，另一端与所述补油箱连通的油管；设置于所述油管内，用于控制所述油管导通或截止的阀门；与所述第一液位计和所述阀门电连接的控制器，所述控制器接收到所述第一液位计的泵油量下限值信号时，控制所述阀门打开；接收到所述第一液位计的泵油量上限值信号时，控制所述阀门关闭。2.根据权利要求1所述的在线补油装置，其特征在于，所述油管内还设置有单向阀，所述单向阀使所述油管从所述补油箱到所述机械泵的方向导通、从所述机械泵到所述补油箱的方向截止。3.根据权利要求1所述的在线补油装置，其特征在于，还包括：用于检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刘，于金凤，
申请(专利权)人：广东先导稀材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44