改进型电子级化学品供应桶放置平台制造技术

本实用新型专利技术涉及化学品供应设备技术领域，具体地说是一种改进型电子级化学品供应桶放置平台，包括滚轮平台主体(3)、滚轮(5)、顶升滚轮(6)及电子称主体(1)，滚轮平台主体(3)上端连接有端盖(4)，端盖(4)之间安装有滚轮轴(10)，滚轮(5)、顶升滚轮(6)通过滚轮轴(10)安装在主体滚轮平台(1)上，顶升滚轮(6)通过连杆(7)连接顶升套筒(8)，顶升套筒(8)内安装有伸缩弹簧(9)，顶升套筒(8)通过伸缩弹簧(9)联动连杆(7)向上顶升，电子称主体(1)设置于滚轮平台主体(3)下方；本实用新型专利技术减少了供应桶内药液残留，减少残余化学品处理费用，减少环境污染，利于节能减排，减少了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
[
]本技术涉及化学品供应设备
，具体地说是一种改进型电子级化学品供应桶放置平台。[
技术介绍
]在大规模集成电路(IC)制造中，高纯电子级化学品是重要的生产原料。随着IC制程精度的不断提高对制程所需高纯电子级化学品品质需求的也在不断提高，导致价格不断上升。目前电子级化学品供应平台多数采用水平放置结构，供应桶内残余溶液较多，且不方便化学药液桶进行搬运。而对电子级化学品供应设备中桶内化学品残余量的控制可以减少IC制造厂商的成本，同时可以减少残余化学品处理费用，减少环境污染，利于节能减排，且放置平台要方便化学品药液搬运，同时具有防腐蚀和高洁净的特性。且对化学品桶内溶液实时监控并联动顶升机构，可以配合供应系统可以做出合理的换液时间，满足系统运行正常，利于厂商生产管理。针对目前高纯电子级化学品供应桶供应平台多数采用水平放置结构，供应桶内残余溶液较多，且不方便化学药液桶进行搬运，废液的增大，使得处理成本上升和能源的浪费。为能方便操作，减少排放和节约成本是本行业正在极力寻求的解决方法。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种改进型电子级化学品供应桶放置平台，减少了供应桶内药液残留，减少残余化学品处理费用，减少环境污染，利于节能减排，减少了生产成本。为实现上述目的设计一种改进型电子级化学品供应桶放置平台，包括滚轮平台主体3、滚轮5、顶升滚轮6及电子称主体1，所述滚轮平台主体3通过连接架11固接为一体，所述滚轮平台主体3上端连接有端盖4，所述端盖4之间安装有滚轮轴10，所述滚轮5、顶升滚轮6通过滚轮轴10安装在主体滚轮平台1上，所述顶升滚轮6通过连杆7连接顶升套筒8，所述顶升套筒8内安装有伸缩弹簧9，所述顶升套筒8通过伸缩弹簧9联动连杆7向上顶升，所述电子称主体1设置于滚轮平台主体3下方。所述电子称主体1通过线路连接电子称表头2，所述电子称表头2通过线路连接PLC控制箱15。所述PLC控制箱15前端面上设有触摸屏16。所述电子称主体1外包覆聚丙烯PP板。所述滚轮平台主体3、端盖4、滚轮5均采用防腐蚀聚丙烯PP制成。所述滚轮轴10采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯PE制成。所述顶升套筒8采用聚丙烯管制成。所述伸缩弹簧9外包覆有PFA。所述滚轮轴10采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯PE制成。所述滚轮平台主体3上放置有酸桶12，所述酸桶12内设有汲取管13，所述汲取管13上端连接酸桶接头组合14，所述酸桶接头组合14与泵相连。本技术同现有技术相比，具有如下优点：(1)整体结构可与之前平台互换，方便改造且结构可靠性高，同时采用电子称通过电子称表头和PLC联动，使得整个系统更稳定和安全；(2)滚轮平台主体、端盖及滚轮等零件采用防腐蚀聚丙烯(PP)制造，通过连接架进行连接,具有强度高，耐腐蚀的特点，适用与各种强酸等腐蚀性强的化学品供应设备中；(3)滚轮轴采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯(PE)方式制作，具有耐腐蚀，强度高，摩擦力小的特点，减少搬运时阻力和微粒子的产生，方便操作，满足高纯电子级化学品使用环境；(4)顶升套筒采用聚丙烯管制作，内部包含有伸缩弹簧(外包覆PFA)，当供应桶内药液减少到一定重量时，顶升套筒利用伸缩弹簧自动向上顶升，使得标准200L酸桶自动倾斜导致DIP-TUBE处于最低位置，通过酸桶接头组合在PUMP的抽液作用下尽可能的减少供应桶内化学品药液残留；(5)减少了供应桶内药液残留，减少残余化学品处理费用，减少环境污染，利于节能减排，减少生产成本；[附图说明]图1是本技术的结构示意图一；图2是本技术的结构示意图二；图3是本技术上放置有酸桶的结构示意图；图4是图3顶升后的结构示意图；图5是图3的立体结构示意图；图6是图3与PLC控制箱连接的结构示意图；图中：1、电子称主体2、电子称表头3、滚轮平台主体4、端盖5、滚轮6、顶升滚轮7、连杆8、顶升套筒9、伸缩弹簧10、滚轮轴11、连接架12、酸桶13、汲取管14、酸桶接头组合15、PLC控制箱16、触摸屏。[具体实施方式]下面结合附图对本技术作以下进一步说明：如附图所示，本技术包括：滚轮平台主体3、滚轮5、顶升滚轮6及电子称主体1，滚轮平台主体3通过连接架11固接为一体，滚轮平台主体3上端连接有端盖4，端盖4之间安装有滚轮轴10，滚轮5、顶升滚轮6通过滚轮轴10安装在主体滚轮平台1上，顶升滚轮6通过连杆7连接顶升套筒8，顶升套筒8内安装有伸缩弹簧9，顶升套筒8通过伸缩弹簧9联动连杆7向上顶升，电子称主体1设置于滚轮平台主体3下方。其中，电子称主体1通过线路连接电子称表头2，电子称表头2通过线路连接PLC控制箱15，PLC控制箱15前端面上设有触摸屏16；电子称主体1外包覆聚丙烯PP板，滚轮平台主体3、端盖4、滚轮5均采用防腐蚀聚丙烯PP制成，滚轮轴10采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯PE制成，顶升套筒8采用聚丙烯管制成，伸缩弹簧9外包覆有PFA，滚轮轴10采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯PE制成；滚轮平台主体3上放置有酸桶12，酸桶12内设有汲取管13，汲取管13上端连接酸桶接头组合14，酸桶接头组合14与泵相连。当满桶化学品时，顶升滚轮与其他滚轮在同一平面上，随着化学品减少时，顶升滚轮被弹簧顶起，形成角度。本技术的基本原理为：电子称主体外包覆聚丙烯PP板，达到防止无机溶液和气体腐蚀，同时按装电子称表头联动PLC控制系统，实时监控化学品余液的状况。滚轮平台主体和端盖及滚轮等零件采用防腐蚀聚丙烯(PP)制作，具有耐腐蚀的特点，当高纯电子级化学品药液桶搬运到此平台时，利用滚轮方便搬运。滚轮轴采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯(PE)方式制作，具有耐腐蚀，强度高，摩擦力小的特点。顶升滚轮通过连杆连接，高纯电子级化学品药液桶搬运上时高度依次降低，方便搬运。顶升套筒采用聚丙烯管制作，内部包含有伸缩弹簧(外包覆PFA)。当高纯电子级化学品供应桶内药液减少到一定重量时，顶升套筒利用内部伸缩弹簧联动连杆自动向上顶升，使标准200L酸桶倾斜一定角度，使得DIP-TUBE汲取管处于最低液位位置，通过酸桶接头组合在PUMP的抽液作用下尽可能的减少供应桶内化学品药液残留。本技术中，采用电子称通过电子称表头和PLC联动使得系统更稳定和安全；滚轮平台主体和端盖及滚轮等零件采用防腐蚀聚丙烯(PP)制造；滚轮平台主体和端盖中间安装有滚轮轴，滚轮轴采用不锈钢钢轴包覆聚乙烯(PE)方式制作；滚轮通过滚轮轴安装在主体滚轮平台上，滚轮平台主体通过连接架进行固定连接；顶升套筒内安装有伸缩弹簧(外包覆PFA)，顶升套筒与滚轮轴装配，控制顶升滚轮升降，三只顶升滚轮通过连杆连接为一体；顶升滚轮使得标准200L酸桶自动倾斜导致DIP-TUBE处于最低位置达到目的；通过酸桶接头组合在PUMP的抽液作用下尽可能的减少供应桶内化学品药液残留。本技术并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进型电子级化学品供应桶放置平台，其特征在于：包括滚轮平台主体(3)、滚轮(5)、顶升滚轮(6)及电子称主体(1)，所述滚轮平台主体(3)通过连接架(11)固接为一体，所述滚轮平台主体(3)上端连接有端盖(4)，所述端盖(4)之间安装有滚轮轴(10)，所述滚轮(5)、顶升滚轮(6)通过滚轮轴(10)安装在滚轮平台主体(3)上，所述顶升滚轮(6)通过连杆(7)连接顶升套筒(8)，所述顶升套筒(8)内安装有伸缩弹簧(9)，所述顶升套筒(8)通过伸缩弹簧(9)联动连杆(7)向上顶升，所述电子称主体(1)设置于滚轮平台主体(3)下方。

【技术特征摘要】
1.一种改进型电子级化学品供应桶放置平台，其特征在于：包括滚轮平台主体(3)、滚轮(5)、顶升滚轮(6)及电子称主体(1)，所述滚轮平台主体(3)通过连接架(11)固接为一体，所述滚轮平台主体(3)上端连接有端盖(4)，所述端盖(4)之间安装有滚轮轴(10)，所述滚轮(5)、顶升滚轮(6)通过滚轮轴(10)安装在滚轮平台主体(3)上，所述顶升滚轮(6)通过连杆(7)连接顶升套筒(8)，所述顶升套筒(8)内安装有伸缩弹簧(9)，所述顶升套筒(8)通过伸缩弹簧(9)联动连杆(7)向上顶升，所述电子称主体(1)设置于滚轮平台主体(3)下方。2.如权利要求1所述的改进型电子级化学品供应桶放置平台，其特征在于：所述电子称主体(1)通过线路连接电子称表头(2)，所述电子称表头(2)通过线路连接PLC控制箱(15)。3.如权利要求2所述的改进型电子级化学品供应桶放置平台，其特征在于：所述PLC控制箱(15)前端面上设有触摸屏(16)。4.如权利要求2或3所述的改进型电子级化学品供应桶...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡厚福，简建至，林裕哲，简水村，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31